物品搬运车制造技术

本发明专利技术涉及物品搬运车，其具备行进部(25)、保持部(30)、升降装置(38)、倾斜度检测装置(58)、倾斜度调整装置(60)、控制倾斜度调整装置(60)的倾斜度控制装置(81)，倾斜度调整装置(60)构成为，对属于多个悬挂带中的一部分的对象带进行作用，通过调整该对象带对保持部(30)的悬挂高度(H)，调整保持部(30)的倾斜度，倾斜度控制装置(81)执行如下下降中调整动作：在升降装置(38)进行的保持部(30)向移载位置的下降中，借助倾斜度检测装置(58)检测保持部(30)的倾斜度，基于倾斜度检测装置(58)的检测结果控制倾斜度调整装置(60)，调整保持部(30)的倾斜度。的倾斜度。的倾斜度。

【技术实现步骤摘要】
物品搬运车


[0001]本专利技术涉及物品搬运车，前述物品搬运车具备沿行进路径行进的行进部、保持物品的保持部、使保持部在悬挂状态下升降的升降装置。

技术介绍

[0002]这样的物品搬运车的一例被日本特开2019
‑
185499号公报(专利文献1)公开。
[0003]专利文献1所公开的物品搬运车具备在设置于顶棚附近的行进路径行进的行进部、保持物品的保持部、使保持部在悬挂状态下升降的升降装置。该升降装置借助由线材、带等构成的悬挂部件将保持部悬挂，通过将悬挂部件缠绕或放出来使保持部在行进位置和移载位置之间升降，前述行进位置是用于沿行进路径行进的位置，前述移载位置是用于将物品在移载对象部位和保持部之间移载的位置。
[0004]但是，多使用带(以下称作“悬挂带”)作为悬挂部件，但在悬挂带的厚度、伸长率上存在由于制造误差等引起的不均。因此，有保持部的倾斜度与悬挂带的缠绕及放出对应地变化的情况。但是，难以与行进位置和移载位置处的保持部的倾斜度的变化对应地适当地调整保持部的姿势。

技术实现思路

[0005]因此，希望实现一种物品搬运车，其在保持部的倾斜度与悬挂带的缠绕及放出对应地变化的情况下也能够适当地调整保持部的姿势。
[0006]鉴于上述内容的物品搬运车的技术方案是一种搬运物品的物品搬运车，其特征在于，具备行进部、保持部、升降装置、倾斜度检测装置、倾斜度调整装置、倾斜度控制装置，前述行进部沿行进路径行进，前述保持部保持前述物品，前述升降装置在借助多个悬挂带将前述保持部悬挂的状态下，通过多个前述悬挂带的缠绕及放出进行前述保持部向行进位置的上升和前述保持部向移载位置的下降，前述行进位置是用于沿前述行进路径行进的位置，前述移载位置是用于将前述物品在移载对象部位和前述保持部之间移载的位置，前述倾斜度检测装置检测前述保持部相对于水平面的倾斜度，前述倾斜度调整装置调整前述保持部的倾斜度，前述倾斜度控制装置控制前述倾斜度调整装置，前述倾斜度调整装置构成为，对属于多个前述悬挂带中的一部分的对象带进行作用，调整该对象带悬挂前述保持部的悬挂高度，由此调整前述保持部的倾斜度，前述倾斜度控制装置执行下降中调整动作，前述下降中调整动作为如下动作：在前述升降装置进行的前述保持部向前述移载位置的下降中，借助前述倾斜度检测装置检测前述保持部的倾斜度，基于前述倾斜度检测装置的检测结果控制前述倾斜度调整装置，调整前述保持部的倾斜度。
[0007]根据本结构，在保持部的下降中进行倾斜度的调整，所以即使是保持部的倾斜度与悬挂带的缠绕及放出对应地变化的情况，也能够适当地调整保持部的姿势。此外，即使是多个移载对象部位沿行进路径存在而移载位置相对于各个移载对象部位的高度不同的情况，也能够与各个移载位置的高度对应地适当地调整保持部的倾斜度。或者，即使是由于悬
挂带的经年变化、使用环境的变化而保持部的倾斜度变化的情况，也能够与该变化对应地适当地调整保持部的姿势。进而，根据本结构，在保持部的下降中进行由倾斜度调整装置进行的保持部的倾斜度的调整，所以能够缩短物品的移载动作所需的时间。
[0008]根据关于参照附图说明的实施方式的以下的记载能够明确物品搬运车的进一步的特征和优点。
附图说明
[0009]图1是表示第1实施方式的物品搬运设备的主视图。
[0010]图2是第1实施方式的物品搬运车的主视图。
[0011]图3是表示第1实施方式的物品搬运车的保持部的立体图。
[0012]图4是表示第1实施方式的倾斜传感器、第1连结部、第2连结部、第3连结部的配置的图。
[0013]图5是第1实施方式的控制框图。
[0014]图6是表示第1实施方式的下降动作的时间图的图。
[0015]图7是表示将第1实施方式的中间区间放大来示出的下降动作的时间图的图。
[0016]图8是表示第1实施方式的下降中调整动作的流程图的图。
[0017]图9是表示第1实施方式的调整消除动作的流程图的图。
[0018]图10是表示第2实施方式的物品搬运车的保持部的立体图。
[0019]图11是表示第3实施方式的物品搬运车的保持部的立体图。
[0020]图12是表示第4实施方式的物品搬运车的保持部的立体图。
[0021]图13是将第5实施方式的调整用凸轮驱动装置放大来表示的主视图。
[0022]图14是第5实施方式的调整用凸轮驱动装置的横剖视图，是表示第1状态的图。
[0023]图15是第5实施方式的调整用凸轮驱动装置的横剖视图，是表示第2状态的图。
[0024]图16是第5实施方式的调整用凸轮驱动装置的横剖视图，是表示第3状态的图。
[0025]图17是第5实施方式的调整用凸轮驱动装置的横剖视图，是表示第4状态的图。
具体实施方式
[0026]关于物品搬运车10的实施方式，例示该物品搬运车10应用于物品搬运设备100的情况来说明。
[0027]如图1所示，物品搬运设备100具备搬运物品W的物品搬运车10、在物品搬运设备100的上部构成物品搬运车10行进的行进路径12的轨道14、在与物品搬运车10之间进行物品W的移载的移载对象部位20。这里，将行进路径12的长边方向设为路径长边方向X，将行进路径12的宽度方向设为宽度方向Y。宽度方向Y是与路径长边方向X及作为铅垂方向的上下方向Z的双方正交的方向。
[0028]在本实施方式中，沿行进路径12存在多个移载对象部位20。支承物品W的支承台22设置于移载对象部位20。支承台22配置成与进行相对于物品W的处理的处理装置24相邻。物品搬运车10例如将进行处理装置24的处理前的物品W从图外的搬运源搬运至支承台22，且将进行处理装置24的处理后的物品W从支承台22搬运至图外的搬运目的地。
[0029]在本实施方式中，物品W是收纳作为处理装置24的处理的对象的处理对象物的容
器，上述的“相对于物品的处理”意味着相对于收纳于物品W的处理对象物的处理。例如，作为物品W，可以是收纳晶圆的晶圆收纳容器(所谓的前端开启式晶圆传送盒：FOUP，Front Opening Unified Pod)，也可以是容纳中间掩模的中间掩模收纳容器(所谓的中间掩模夹)。物品W为前端开启式晶圆传送盒的情况下，处理对象物为晶圆。物品W为中间掩模夹的情况下，处理对象物为中间掩模。移载对象部位20是移载物品搬运车10和物品W的部位，例如，可以是物品W的搬运源，也可以是物品W的搬运目的地。此外，移载对象部位20也可以是与容纳物品W的储料器相邻地配置的支承台22、暂时保持物品W的缓冲器等。此外，存在多个移载对象部位20的情况下，这些支承台22的高度也可以互不相同。
[0030]物品搬运车10具备行进部25、保持部30、升降装置38，前述行进部25沿行进路径12行进，前述保持部30保持物品W。升降装置38在借助多个悬挂带40将保持部30悬挂的状态下，通过多个悬挂带40的缠绕及放出进行保持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物品搬运车，前述物品搬运车搬运物品，其特征在于，具备行进部、保持部、升降装置、倾斜度检测装置、倾斜度调整装置、倾斜度控制装置，前述行进部沿行进路径行进，前述保持部保持前述物品，前述升降装置在借助多个悬挂带将前述保持部悬挂的状态下，通过多个前述悬挂带的缠绕及放出进行前述保持部向行进位置的上升和前述保持部向移载位置的下降，前述行进位置是用于沿前述行进路径行进的位置，前述移载位置是用于将前述物品在移载对象部位和前述保持部之间移载的位置，前述倾斜度检测装置检测前述保持部相对于水平面的倾斜度，前述倾斜度调整装置调整前述保持部的倾斜度，前述倾斜度控制装置控制前述倾斜度调整装置，前述倾斜度调整装置构成为，相对于对象带进行作用，调整该对象带悬挂前述保持部的悬挂高度，由此调整前述保持部的倾斜度，前述对象带是多个前述悬挂带中的一部分，前述倾斜度控制装置执行下降中调整动作，前述下降中调整动作为如下动作：在前述升降装置进行的前述保持部向前述移载位置的下降中，借助前述倾斜度检测装置检测前述保持部的倾斜度，基于前述倾斜度检测装置的检测结果控制前述倾斜度调整装置，调整前述保持部的倾斜度。2.如权利要求1所述的物品搬运车，其特征在于，将向前述移载位置的下降中的前述保持部的最高速度设为最高下降速度，前述倾斜度控制装置在前述下降中调整动作中，在使前述保持部以测定用速度下降的测定区间借助前述倾斜度检测装置多次检测前述保持部的倾斜度，基于该多次的检测结果调整前述保持部的倾斜度，前述测定用速度为比前述最高下降速度低的恒定速度。3.如权利要求2所述的物品搬运车，其特征在于，还具备控制前述升降装置的升降控制装置，前述升降控制装置执行阶段性减速控制，前述阶段性减速控制为如下控制：在以前述最高下降速度下降的最高速区间之后，将向前述移载位置的下降中的前述保持部的下降速度在第1减速区间从前述最高下降速度减速至中间速度，接着在中间区间维持前述中间速度，接着在第2减速区间从前述中间速度减速至停止前速度，接着在停止前区间维持前述停止前速度，在与前述移载位置对应的悬挂高度停止；前述测定区间为前述中间区间内的区间。4.如权利要求1所述的物品搬运车，其特征在于，前述倾斜度控制装置执行调整消除动作，前述调整消除动作为如下动作：在前述保持部向前述行进位置的上升中，或者在前述保持部的上升完成后且在前述行进部的行进开始前，使前述倾斜度调整装置进行的前述下降中调整动作中的前述对象带的调整量恢复原状。5.如权利要求4所述的物品搬运车，其特征在于，前述倾斜度控制装置在前述调整量为规定的阈值以上的情况下执行前述调整消除动作，在前述调整量不足前述阈值的情况下不执行前述调整消除动作。6.如权利要求1所述的物品搬运车，其特征在于，
前述倾斜度检测装置具备在前述保持部安装的倾斜传感器。7.如权利要求6所述的物品...

【专利技术属性】
技术研发人员：衣川知孝，大塚洋，城石景祐，川口浩司，森川靖志，
申请(专利权)人：株式会社大福，
类型：发明
国别省市：