本发明专利技术公开一种存放光刻胶的装置，包括输送架和支撑架，所述输送架的内侧设有输送带，所述支撑架固定安装在输送架的下端外表面，所述输送架的上部设置有若干组用来放置光刻胶容器的固定托架，所述输送架的一端内侧设有用来检测固定托架位置的光电感应器，所述输送架的上端外表面位于固定托架的两侧均设有侧挡板，所述固定托架的两侧外表面均设有限位卡槽，所述侧挡板的侧边固定安装有配合限位卡槽的使用的限位卡板；令其具有多重存取限制结构，使得光刻胶的使用有效遵循物料先进先出原则，由原来人为管理改为智能管控物料，有效避免物料未回温被使用，避免造成机台报警或者物料消耗异常，直观物料安存。直观物料安存。直观物料安存。
【技术实现步骤摘要】
一种存放光刻胶的装置
[0001]本专利技术属于半导体行业
，更具体的是一种存放光刻胶的装置。
技术介绍
[0002]在BUMPING产线从库房(存放在冰箱中0
‑
10℃)领THB
‑
126N(负型光阻)后，暂放在防爆柜中，产线操作人员收到机台需求换胶时，从防爆柜中取光刻胶放入机台中，时常拿未回温的光刻胶或者最近领取光刻胶，从而造成物料领错(MES中物料序列号与实际不同)或者造成光刻胶不能均匀涂在晶圆表面从而机台管路堵塞等机台异常发生。
[0003]专利号CN214987206U的专利文件公开了一种新型用于光刻胶生产的收纳装置，包括收纳筒，所述收纳筒的顶部左端固定设有进料装置，所述进料装置的顶部经过合页连接有进料盖板，所述进料装置的内部设有进料过滤装置，所述进料过滤装置的顶部两端固定焊接有提拉装置，所述进料装置的内侧两端固定焊接有限位块，所述进料过滤装置设于限位块的顶部，所述收纳筒的内侧壁固定设有内钢板，所述收纳筒与内钢板之间填充有岩棉板，方便直接精确收纳光刻胶，过滤净化光刻胶内的杂质，避免光刻胶温度过高造成硬化的问题。
[0004]传统存放光刻胶的装置在使用时存在一定的不足，传统装置无法限制光刻胶的拿取顺序及时间，令使用者时常拿到未回温的光刻胶或者最近领取光刻胶，从而造成物料领错，使得MES中物料序列号与实际不同，或者造成光刻胶不能均匀涂在晶圆表面从而机台管路堵塞等机台异常发生；其次传统装置在使用时，无法灵活适用不同大小的光刻胶容器，使得不同大小的光刻胶容器在输送时容易出现晃动现象，令其无法根据瓶身大小进行任意调节，降低了其适用范围；同时传统装置不具有进料校准结构，在存放光刻胶的装置进行上料操作时，需要人工进行固定托架的位置调整，使得其在上料过程中容易出现卡料现象，功能性单一。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种存放光刻胶的装置，可以解决现有的问题。
[0006]本专利技术解决的问题是：
[0007]1、传统装置无法限制光刻胶的拿取顺序及时间，令使用者时常拿到未回温的光刻胶或者最近领取光刻胶，从而造成物料领错，使得MES中物料序列号与实际不同，或者造成光刻胶不能均匀涂在晶圆表面，从而机台管路堵塞等机台异常发生；
[0008]2、传统装置在使用时，无法灵活适用不同大小的光刻胶容器，使得不同大小的光刻胶容器在输送时容易出现晃动现象，令其无法根据瓶身大小进行任意调节，降低了其适用范围；
[0009]3、传统装置不具有进料校准结构，在存放光刻胶的装置进行上料操作时，需要人工进行固定托架的位置调整，使得其在上料过程中容易出现卡料现象，功能性单一。
[0010]本专利技术的目的可以通过以下技术方案实现：
[0011]一种存放光刻胶的装置，包括输送架和支撑架，所述输送架的内侧设有输送带，所述支撑架固定安装在输送架的下端外表面，所述输送架的上部设置有若干组用来放置光刻胶容器的固定托架，所述输送架的一端内侧设有用来检测固定托架位置的光电感应器，所述输送架的上端外表面位于固定托架的两侧均设有侧挡板，所述固定托架的两侧外表面均设有限位卡槽，所述侧挡板的侧边固定安装有配合限位卡槽的使用的限位卡板，所述输送架的另一端外表面固定安装有进料卡座，所述固定托架的内侧拼接安装有两组抽拉卡框。
[0012]作为本专利技术的进一步技术方案，两组抽拉卡框之间呈上下并排设置，所述抽拉卡框的内侧活动安装有两根第一滑杆和两根第二滑杆，两根第一滑杆和两根第二滑杆之间呈井字形设置，两根第二滑杆设置在两根第一滑杆的下部，利用两组抽拉卡框的设置，使得固定托架内可以放置不同大小的光刻胶容器，使用者通过移动两根第一滑杆和两根第二滑杆，调整两根第一滑杆和两根第二滑杆之间的槽口大小，利用两组抽拉卡框分别对光刻胶容器的上部及下部进行固定。
[0013]作为本专利技术的进一步技术方案，所述抽拉卡框的内侧设有配合两根第一滑杆和两根第二滑杆使用的滑槽，所述抽拉卡框的两侧均设有对接插槽，所述第一滑杆和第二滑杆之间通过固定卡件锁紧固定，抽拉卡框的一端设有两组固定卡头，当两根第一滑杆和两根第二滑杆完成位置调节后，通过固定卡件可以对第一滑杆和第二滑杆之间进行锁紧固定。
[0014]作为本专利技术的进一步技术方案，所述固定卡件包括第一卡套和第二卡套，所述第一卡套固定安装在第二卡套的下端外表面，所述第一卡套和第二卡套之呈十字形设置，所述第一卡套固定安装在第二卡套的下端，第一卡套和第二卡套分别套接在第一滑杆和第二滑杆的外表面，利用第一卡套和第二卡套可以分别锁紧固定第一滑杆和第二滑杆。
[0015]作为本专利技术的进一步技术方案，所述第一卡套和第二卡套的中部均设有柱形槽口，所述第一卡套和第二卡套的外表面均套接有紧固帽，使用者通过转动紧固帽，使得紧固帽卡在第一滑杆和第二滑杆的外表面，从而令第一滑杆和第二滑杆固定在第一卡套和第二卡套上。
[0016]作为本专利技术的进一步技术方案，所述侧挡板的长度大于限位卡板的长度，且侧挡板和限位卡板之间的长度差等于固定托架的长度，利用侧挡板的限位卡板可以对固定托架的存取起到限制作用，因为限位卡板的长度小于侧挡板的长度，使得固定托架在两组侧挡板之间移动时，只有当固定托架移动至输送架的出料端，才可以将固定托架取下，限位卡板在固定托架移动时，卡在固定托架的限位卡槽处，避免使用者错误拿取固定托架。
[0017]作为本专利技术的进一步技术方案，所述侧挡板的下端外表面固定安装有对接卡条，所述限位卡板的侧边活动安装有若干组滚轴，利用滚轴的设置，可以降低限位卡板和固定托架之间的摩擦力，使得固定托架的移动操作更加流畅。
[0018]作为本专利技术的进一步技术方案，所述进料卡座的内侧活动安装有第一顶板和第二顶板，所述第一顶板和第二顶板对称设置，第一顶板、第二顶板和进料卡座之间均通过气动推杆驱动，第一顶板、第二顶板和气动推杆的一端之间通过滑槽对接，进料卡座的上表面活动安装有若干组输料滚杆，利用进料卡座上的第一顶板和第二顶板，可以在固定托架放置操作时，对固定托架进行纠偏调节，避免固定托架出现倾斜状态。
[0019]作为本专利技术的进一步技术方案，所述输送架的下部设置有电控柜和驱动件，所述驱动件设置在电控柜的一侧外表面，所述驱动件包括电机、皮带和张紧轮，所述输送架的一
端内侧设有阻挡板，输送架的侧边安装有电控控制盒，固定托架的上部设有圆形槽口。
[0020]本专利技术的有益效果：
[0021]1、通过设置光电感应器和侧挡板，在该存放光刻胶的装置使用时，令其具有多重存取限制结构，使得光刻胶的使用有效遵循物料先进先出原则，由原来人为管理改为智能管控物料，有效避免物料未回温被使用，避免造成机台报警或者物料消耗异常，直观物料安存，安存低于一定数量时及时报警提醒领料，操作时，将产线领取到的光刻胶在装置的固定托架内，固定托架对装有光刻胶的瓶体起到收纳固定作用，方便其在输送带上移动，每放置一瓶光刻胶材料，输送架的感应探头感知固定托架的数量，使得其在显示屏上显示时间本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种存放光刻胶的装置，包括输送架(3)和支撑架(9)，所述输送架(3)的内侧设有输送带，所述支撑架(9)固定安装在输送架(3)的下端外表面，其特征在于，所述输送架(3)的上部设置有若干组用来放置光刻胶容器的固定托架(5)，所述输送架(3)的一端内侧设有用来检测固定托架(5)位置的光电感应器，所述输送架(3)的上端外表面位于固定托架(5)的两侧均设有侧挡板(6)，所述固定托架(5)的两侧外表面均设有限位卡槽(11)，所述侧挡板(6)的侧边固定安装有配合限位卡槽(11)的使用的限位卡板(22)，所述输送架(3)的另一端外表面固定安装有进料卡座(4)，所述固定托架(5)的内侧拼接安装有两组抽拉卡框(10)。2.根据权利要求1所述的一种存放光刻胶的装置，其特征在于，两组抽拉卡框(10)之间呈上下并排设置，所述抽拉卡框(10)的内侧活动安装有两根第一滑杆(15)和两根第二滑杆(16)，两根第一滑杆(15)和两根第二滑杆(16)之间呈井字形设置，两根第二滑杆(16)设置在两根第一滑杆(15)的下部。3.根据权利要求1所述的一种存放光刻胶的装置，其特征在于，所述抽拉卡框(10)的内侧设有配合两根第一滑杆(15)和两根第二滑杆(16)使用的滑槽，所述抽拉卡框(10)的两侧均设有对接插槽(14)，所述第一滑杆(15)和第二滑杆(16)之间通过固定卡件(13)锁紧固定，抽拉卡框(10)的一端设有两组固定卡头(27)。4.根据权利要求3所述的一种存放光刻胶的装置，其特征在于，所述固定卡件(13)包括第一卡套(18)和第二卡套(19)，所述第一卡套(18)固定安装在第二卡套(19)的下...
【专利技术属性】
技术研发人员：聂长军，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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