本公开提供一种废气处理装置，包括罐体和冷却管，罐体内具有容置空间，罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口，进气口与排气口通过容置空间连通，冷却管从进液口延伸至容置空间内并从出液口伸出，容置空间内设置有过滤部件，冷却管包括冷凝容置空间内气体的冷凝段，冷凝段呈螺旋状绕设在过滤部件上。本公开的废气处理装置，一方面，螺旋状冷凝段增加了与气体的接触面积，提升了冷凝效果；另一方面，基于过滤部件的设置，避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口；从而降低了维护频率，缩短了维护周期和更换频率，进而提升了机台运行时间。行时间。行时间。
【技术实现步骤摘要】
废气处理装置
[0001]本公开涉及半导体制造设备
，具体地，涉及一种废气处理装置。
技术介绍
[0002]在半导体制造过程中，氮化硅沉积工艺时需要经过沉积炉进行过滤，氮化硅工艺产生的副产物为氯化铵，其化学特性为遇冷易凝结，由于目前常规的沉积炉管在日常沉积时，冷却收集装置只是单一的通过设备冷却水(Process cooling water，简称PCW)直流管道循环给气体降温，接触面积小，冷凝效果不佳，导致冷却收集装置的预防性维护(PM)频率较高，影响机台运行时间。并且，随着处理批次增加，副产物会堆积在隔板上，当气流通过炉管时凝结的副产物会跟随气流流动，将排气口堵塞，从而导致沉积炉维护周期短，更换频繁，机台运行时间短。
[0003]随着半导体产业的发展，机台运行时间需求也逐步提高，如何缩短维护时间，提高机台运行时间就成了亟待解决的问题。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，为了至少部分的解决上述问题，本公开提供一种废气处理装置，技术方案如下。
[0005]一种废气处理装置，包括罐体和冷却管，所述罐体内具有容置空间，所述罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口，所述进气口与所述排气口通过所述容置空间连通，所述冷却管从所述进液口延伸至所述容置空间内并从所述出液口伸出，所述容置空间内设置有过滤部件，所述冷却管包括冷凝所述容置空间内气体的冷凝段，所述冷凝段呈螺旋状绕设在所述过滤部件上。
[0006]可选择地，所述容置空间内还设置有喷淋部件，所述喷淋部件具有朝向所述过滤部件喷洒液体的喷淋口。
[0007]可选择地，所述过滤部件包括滤网和滤芯，所述滤网具有环形空间，所述滤芯通过可拆卸结构设置在所述环形空间内，所述冷凝段绕设在所述滤网上并位于所述环形空间外。
[0008]可选择地，所述滤网包括第一网状部和第二网状部，所述第一网状部与所述第二网状部围合形成所述环形空间。
[0009]可选择地，所述罐体包括罐本体和罐盖体，所述罐本体一端上具有开口，所述罐盖体可拆卸的设置在所述开口处，所述排气口、所述进液口和所述出液口皆设置在所述罐盖体上。
[0010]可选择地，所述喷淋部件包括喷淋管，所述喷淋口开设在所述喷淋管上，所述喷淋管通过安装架设置在所述罐盖体上。
[0011]可选择地，所述喷淋管、所述冷却管通过三通接头与所述进液口相通。
[0012]可选择地，所述废气处理装置还包括有控制器和能够检测所述容置空间内压力的
压力检测器，所述喷淋管上设置有开关，所述压力检测器及所述开关分别与所述控制器电连接。
[0013]可选择地，所述罐本体具有与所述开口相对设置的罐底壁，所述罐底壁上连接有排水部件。
[0014]可选择地，所述排水部件包括接水槽和抽水泵，所述罐底壁上开设有连通所述容置空间与所述接水槽的连通孔，所述抽水泵与所述接水槽相连以能够抽取所述接水槽内的液体。
[0015]本公开具有如下有益效果：由于在容置空间内设置过滤部件，且冷却管的冷凝段呈螺旋状绕设在过滤部件上，一方面，螺旋状冷凝段增加了与气体的接触面积，提升了冷凝效果；另一方面，基于过滤部件的设置，避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口；从而降低了维护频率，缩短了维护周期和更换频率，进而提升了机台运行时间。
[0016]以下结合附图，详细说明本公开的优点和特征。
附图说明
[0017]本公开的下列附图在此作为本公开的一部分用于理解本公开。附图中示出了本公开的实施方式及其描述，用来解释本公开的原理。在附图中，
[0018]图1为根据本公开一实施例废气处理装置的结构示意图；
[0019]图2为图1中一实施例的过滤部件的结构示意图；
[0020]图3为图2中一实施例滤网的横剖视图；
[0021]图4为图2中一实施例滤网的侧视图；
[0022]图5为图2中一实施例滤芯的结构示意图。
[0023]图中标号说明：
[0024]1、出液口；2、进液口；3、罐体；4、排气口；5、喷淋部件；6、过滤部件；7、冷凝段；8、接水槽；9、水泵；10、连接部件；11、进气口；12、罐盖体；13、滤芯；14、滤网；141、第一网状部；142、第二网状部；15、安装架。
具体实施方式
[0025]在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本公开。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本公开的可选实施例，本公开可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本公开发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0026]如图1所示，本公开一个实施例中，废气处理装置包括罐体3和冷却管(冷却管图中未标记)，罐体3内具有容置空间，罐体3上设置有进气口11、排气口4、进液口2和出液口1，进气口11与排气口4通过容置空间连通，冷却管从进液口2延伸至容置空间内并从出液口1伸出，容置空间内设置有过滤部件6，冷却管包括冷凝容置空间内气体的冷凝段7，冷凝段7呈螺旋状绕设在过滤部件6上。
[0027]本公开的废气处理装置应用至半导体制造氮化硅沉积工艺时，进气口11与沉积炉连接用于收集氮化硅工艺产生的副产物氯化铵，PCW在冷却管内循环流动，由于冷却管的冷凝段7呈螺旋状绕设在过滤部件6上，一方面，螺旋状冷凝段7增加了与气体(即氯化铵)的接
触面积，提升了冷凝效果；另一方面，基于过滤部件6的设置，避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口4；如此，降低了维护频率，缩短了维护周期和更换频率，进而提升了机台运行时间。
[0028]再一次参阅图1，容置空间内还设置有喷淋部件5，喷淋部件5具有朝向过滤部件6喷洒液体的喷淋口。如此，在气体冷凝后附着在过滤部件6后，可以通过喷淋部件5对可溶于水的副产物进行冲洗，进一步避免了冷凝后副产物跟随气流流动而堵塞排气口4。
[0029]结合参阅图2至图5，过滤部件6包括滤网14和滤芯13，滤网14具有环形空间，滤芯13通过可拆卸结构设置在环形空间内，冷凝段7绕设在滤网14上并位于环形空间外。滤芯13用以过滤粉尘和凝结物、干燥气体、以及使用药剂与部分废气反应，气体冷凝后附着在滤网14上，过滤部件6形成内外两层结构，且滤芯13可更换。
[0030]在本公开的一个实施例中，滤网14包括第一网状部141和第二网状部142，第一网状部141与第二网状部142围合形成环形空间。如此，通过围合结构的滤网14设置，方便快速更换滤芯13。
[0031]再一次参阅图1，罐体3包括罐本体(罐本体图中未标记)和罐盖体12，罐本体一端上具有开口，罐盖体12可拆卸的设置在开口处，排气口4、进液口2和出液口1皆设置在罐盖体12上。如此，不仅方便设置排气口4、进液口2和出液口1，而且更能简化结构。这里，罐盖体12可以是通过螺纹结构与罐本体连接，且罐盖体12上可以设置有螺纹孔，滤芯13通过螺纹结构连接在螺纹孔，以实现滤芯13的可拆卸连接。这里，为了方便更换滤本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，包括罐体(3)和冷却管，所述罐体(3)内具有容置空间，所述罐体(3)上设置有进气口(11)、排气口(4)、进液口(2)和出液口(1)，所述进气口(11)与所述排气口(4)通过所述容置空间连通，所述冷却管从所述进液口(2)延伸至所述容置空间内并从所述出液口(1)伸出，其特征在于，所述容置空间内设置有过滤部件(6)，所述冷却管包括冷凝所述容置空间内气体的冷凝段(7)，所述冷凝段(7)呈螺旋状绕设在所述过滤部件(6)上。2.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述容置空间内还设置有喷淋部件(5)，所述喷淋部件(5)具有朝向所述过滤部件(6)喷洒液体的喷淋口。3.根据权利要求1所述的废气处理装置，其特征在于，所述过滤部件(6)包括滤网(14)和滤芯(13)，所述滤网(14)具有环形空间，所述滤芯(13)通过可拆卸结构设置在所述环形空间内，所述冷凝段(7)绕设在所述滤网(14)上并位于所述环形空间外。4.根据权利要求3所述的废气处理装置，其特征在于，所述滤网(14)包括第一网状部(141)和第二网状部(142)，所述第一网状部(141)与所述第二网状部(142)围合形成所述环形空间。5.根据权利要求2所述的废气...
【专利技术属性】
技术研发人员：佘荣宇，
申请(专利权)人：杭州富芯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
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