机器人以及教示方法技术

本发明专利技术提供一种水平多关节型机器人，该水平多关节型机器人包括机械手臂、手和教示部件。所述手连接在所述机械手臂。所述手能够保持基板。所述教示部件连接在所述机械手臂。所述教示部件不用于基板的搬送。述教示部件不用于基板的搬送。述教示部件不用于基板的搬送。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】机器人以及教示方法


[0001]本专利技术涉及对水平多关节型机器人的教示。

技术介绍

[0002]专利文献1公开了进行晶片搬送机器人的定位(教示)的教示装置。该教示装置包括基板和嵌合部。嵌合部嵌合到晶片搬送机器人包括的末端执行器。当将末端执行器配置为与基板接触时，末端执行器的上表面位置与晶片的下表面一致。当末端执行器嵌合到嵌合部时，执行晶片搬送机器人的末端执行器、臂以及旋转轴的教示。
[0003]专利文献1：日本专利第4601130号公报

技术实现思路

[0004]上述专利文献1的结构由于直接使用作为末端执行器的手进行教示，因此负荷很容易施加在手上，教示时有可能会发生变形、破损等。由于要求搬送晶片的手轻量且小型，因此也难以提高手的机械强度。
[0005]鉴于上述内容，本专利技术的目的在于提供一种对于教示作业的耐久性较好的机器人。
[0006]本专利技术所要解决的课题如上所述，以下，说明用于解决该课题的手段以及其效果。
[0007]根据本专利技术的第一观点，提供以下结构的机器人。即，水平多关节型机器人包括机械手臂、手和教示部件。所述手以上下方向的轴为中心可旋转地连接在所述机械手臂。所述手能够保持基板。所述教示部件以上下方向的轴为中心可旋转地连接在所述机械手臂。所述教示部件不用于基板的搬送。
[0008]根据本专利技术的第二观点，提供一种以下的教示方法，该教示方法是对于通过连接在机械手臂的手来保持基板进行搬送的水平多关节型机器人的教示方法。即，在该教示方法中，使用连接在所述机械手臂的、不用于基板的搬送的教示部件进行教示。
[0009]因此，能够使用机器人侧包括的教示部件来实现对机器人的自动教示。由于使用作为与手不同的部件的教示部件来进行教示，因此能够防止手的破损等。
[0010](专利技术效果)
[0011]根据本专利技术，能够提供一种对于教示作业的耐久性较好的机器人。
附图说明
[0012]图1是表示本专利技术的一实施方式所涉及的机器人系统的整体结构的立体图。
[0013]图2是表示机器人的结构的立体图。
[0014]图3是表示机器人系统的一部分的结构的方块图。
[0015]图4是表示教示部件被设置在教示台的样子的立体图。
[0016]图5是说明旋转驱动教示部件的马达的伺服控制的方块图。
具体实施方式
[0017]其次，参照附图，对所公开的实施方式进行说明。图1是表示本专利技术的一实施方式所涉及的机器人系统100的结构的立体图。图2是表示机器人1的结构的立体图。图3是表示机器人系统100的一部分的结构的方块图。图4是表示教示部件12被设置在教示台84的样子的立体图。
[0018]图1所示的机器人系统100是在无尘室等作业空间内使机器人1进行作业的系统。
[0019]机器人系统100包括机器人1、控制器5和教示台8。
[0020]机器人1例如作为晶片移载机器人发挥作用，该晶片移载机器人用于搬送保管在保管容器3中的晶片(基板)2。在本实施方式中，机器人1通过SCARA型水平多关节机器人实现。SCARA是Selective Compliance Assembly Robot Arm(选择顺应性关节机械手臂)的简称。
[0021]如图2所示，机器人1包括手(保持部)11、教示部件12和机械手臂13。
[0022]手11是末端执行器的一种，通常形成为在俯视时V字形或U字形。手11被机械手臂13(具体为后述的第二连杆18)的前端支撑着。手11以沿上下方向延伸的第三轴a3作为中心相对于第二连杆18可旋转。
[0023]手11作为边缘抓握型手构成。在手11中分叉的每一个前端部分设置有边缘引导6。在手11的手腕附近设置有按压部件7。按压部件7通过内置在手11的手腕部的省略图示的致动器(例如，气压缸)朝向手11的前端方向移动。
[0024]通过在将晶片2放置在手11的上表面侧的状态下使按压部件7向前端侧位移，能够在边缘引导6与按压部件7之间夹着晶片进行保持。
[0025]教示部件12形成为板状。教示部件12其厚度方向朝向上下方向配置着。教示部件12被机械手臂13(第二连杆18)的前端支撑着。教示部件12以所述第三轴a3为中心相对于第二连杆18可旋转。
[0026]在本实施方式中，教示部件12形成为圆板状。不过，俯视时的教示部件12的形状是任意的。如图1中的点划线所示，教示部件12的外周面能够接触到教示台8包括的教示用销82。后面将对教示台8的详细结构进行说明。在本实施方式中，教示部件12的圆板状部分的直径与作为搬送对象的晶片2的直径相等。不过，教示部件12的圆板状部分的直径既可以大于晶片2的直径，也可以小于晶片2的直径。
[0027]教示部件12不以晶片2的搬送为目的。因此，边缘引导6以及按压部件7等没有被设置在教示部件12。
[0028]机械手臂13主要包括基座15、升降轴16、多个连杆(这里为第一连杆17以及第二连杆18)。
[0029]基座15被固定在例如构成无尘室的天花板面。基座15作为支撑升降轴16的基底部件发挥作用。
[0030]升降轴16相对于基座15在上下方向移动。通过该升降，能够改变第一连杆17、第二连杆18、手11以及教示部件12的高度。
[0031]在基座15设置有马达M1和编码器E1。马达M1经由例如省略图示的螺丝机构驱动升降轴16。编码器E1检测升降轴16的上下方向的位置。
[0032]第一连杆17被升降轴16的下部支撑着。第一连杆17以上下方向延伸的第一轴a1为
中心相对于升降轴16旋转。因此，能够在水平面内改变第一连杆17的姿势。
[0033]在第一连杆17设置有马达M2和编码器E2。马达M2驱动第一连杆17相对于升降轴16旋转。编码器E2检测第一连杆17相对于升降轴16的角度。
[0034]第二连杆18被第一连杆17的前端支撑着。第二连杆18以上下方向延伸的第二轴a2为中心相对于第一连杆17旋转。因此，能够在水平面内改变第二连杆18的姿势。
[0035]在第一连杆17设置有马达M3和编码器E3。马达M3驱动第二连杆18相对于第一连杆17旋转。编码器E3检测第二连杆18相对于第一连杆17的角度。
[0036]在第二连杆18设置有马达M4和编码器E4。马达M4驱动手11相对于第二连杆18旋转。编码器E4检测手11相对于第二连杆18的角度。
[0037]在第二连杆18设置有马达M5和编码器E5。马达M5驱动教示部件12相对于第二连杆18旋转。编码器E5检测教示部件12相对于第二连杆18的角度。
[0038]马达M1～M5是使机器人1的各个部动作的致动器。马达M1～M5作为伺服马达构成，该伺服马达是电动马达的一种。通过驱动马达M1～M5，能够将手11以及教示部件12的位置以及姿势改变为各种各样。如图3所示，马达M1～M5与控制器5电连接。马达M1～M5的每一个以反映从本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种水平多关节型机器人，其特征在于：所述水平多关节型机器人包括机械手臂、手和教示部件，所述手以上下方向的轴为中心可旋转地连接在所述机械手臂，能够保持基板，所述教示部件以上下方向的轴为中心可旋转地连接在所述机械手臂，不被用于基板的搬送。2.根据权利要求1所述的机器人，其特征在于：所述教示部件用于对该机器人进行教示。3.根据权利要求2所述的机器人，其特征在于：所述机械手臂包括连杆和传感器，该传感器对所述连杆以及所述教示部件中的至少任意之一的姿势进行检测，根据所述教示部件接触到相对于所述机器人的设置面而固定设置的定位部件时的所述传感器的检测结果，来对该机器人进行教示。4.根据权利要求1到权利要求3中任意一项所述的机器人，其特征在于：当由所述手搬送所述基板时，所述教示部件成为俯视时至少一部...

【专利技术属性】
技术研发人员：金崎和马，中矢敦史，松冈淳一，
申请(专利权)人：川崎重工业株式会社，
类型：发明
国别省市：