一种装配工装制造技术

本申请提供了一种装配工装，包括支撑平台，可拆卸的固定在支撑平台上的掩膜标准板，环绕掩膜标准板四周均匀设置有若干个与支撑平台可拆卸连接的限位块，所述相邻限位块之间存在间隙，所述间隙用于固定外接的形变矫正机构。本申请提供的装配工装，零部件少，结构简单，加工制造难度适中，通过调整掩膜板标准板以及限位块的尺寸位置，可适配多种实际情况下的工况，有效节省装配调试时间，使用过程灵活。使用过程灵活。使用过程灵活。

【技术实现步骤摘要】
一种装配工装


[0001]本申请属于工装安装领域，具体涉及一种装配工装。

技术介绍

[0002]目前在多种光刻机设备中，常常会采用掩膜形变校正结构，例如铰链，压力传感装置等，对掩膜进行微小形变校正。在实际应用过程中，掩膜形变校正结构对于掩膜的矫正都是微米级的微小变性矫正，且形变矫正结构设计紧凑，安装形变矫正机构时，如果偏移太多可能就会导致与其他结构产生干涉。
[0003]因此在进行掩膜形变校正结构装配时，对于形变矫正机构装配的精度要求极高，难度较大，常常几十微米的偏差就会导致结构无法满足使用性能，在不借助工装进行协助装配时会花费大量时间反复检测、装配、调试，有时也只能勉强达到使用性能，如果采用高精度的工装结构进行装配，可以有效提高装配精度，同时也能节省装配调试时间。

技术实现思路

[0004]基于现有技术中存在的技术问题，本申请提供了一种装配工装，本装配工装可以有效节省装配调试时间，并且保证使用过程中掩膜受力一致，不会产生掩膜形变，可满足装配工装的精密装配要求。
[0005]为实现上述技术效果，本申请采用的技术方案是，
[0006]本申请提供一种装配工装，包括，
[0007]支撑平台，
[0008]可拆卸的固定在支撑平台上的掩膜标准板，所述掩膜标准板为方形；
[0009]环绕掩膜标准板四周均匀设置有若干个与支撑平台可拆卸连接的限位块，所述相邻限位块之间存在间隙，所述间隙用于固定外接的形变矫正机构。
[0010]本申请中提到的形变矫正机构为一种通用的机构，可产生或者传递矫正力，例如通过自身形变产生矫正力，或者外加电机从而进行力的传递。形变矫正机构与掩膜标准板以及后替换的掩膜板接触，可向掩膜板施力，从而达到矫正掩膜板形变的目的。
[0011]作为一种优选方案，所述形变矫正机构为铰链。
[0012]作为一种优选方案，所述相邻限位块之间的间隙宽度相同。
[0013]作为一种优选方案，所述限位块的中轴线与掩膜标准板的边缘垂直。
[0014]作为一种优选方案，所述掩膜标准板对向设置的限位块数量相同。
[0015]作为一种优选方案，所述掩膜标准板各边周向均匀设置的限位块数量相同。
[0016]进一步的，所述限位块数量为20个，沿着所述方形掩膜标准板各边均匀设置5个限位块，各边可固定4个形变矫正机构，共计可固定16个形变矫正机构。
[0017]作为一种优选方案，所述掩膜标准板的侧面、上下表面的表面精度为3~10微米。
[0018]作为一种优选方案，所述掩膜标准板的上下表面的平行度为6
‑
20微米，所述掩膜标准板的侧面和上下表面的垂直度为6
‑
20微米。
[0019]作为一种优选方案，所述限位块的形状为长方体。
[0020]进一步的，所述限位块的尺寸为长为40
‑
45毫米。
[0021]作为一种优选方案，所述限位块的上下表面的平行度为5~18微米，所述限位块的侧面和上下表面的垂直度为5~18微米。
[0022]作为一种优选方案，所述相邻限位块的侧面的平行度≤6微米。
[0023]作为一种优选方案，所述支撑平台的上端面的平面度≤3微米，水平度≤4
″
。
[0024]作为一种优选方案，所述限位块上设置有螺孔，所述限位块和支撑平台通过螺钉进行固定。
[0025]作为一种优选方案，所述装配工装还包括若干个高度调节部件，所述高度调节部件安装在所述支撑平台下端面，用于调节支撑平台的高度。
[0026]优选的，所述高度调节部件为调整地脚，所述高度调节部件的个数为4个，均匀分布在支撑平台的下端面。
[0027]本申请的技术优点为：
[0028]1、本申请提供的工装结构，零部件少，结构简单，加工制造难度适中，通过调整掩膜板标准板以及限位块的尺寸位置，可适配多种实际情况下的工况，有效节省装配调试时间，使用过程灵活；
[0029]2、本申请可保证使用的形变矫正机构的尺寸一致性更好，掩膜板四周受力更加一致均匀；
[0030]3、通过高精度的装配，能够精确完成掩膜形变校正的功能，该工装结构能够提升整体设备使用性能，可以更加有效的达到设计时预期的功能。
附图说明
[0031]图1为本申请的一个实施例中提供的装配工装的结构示意图；
[0032]图2为本申请的一个实施例中提供的掩膜标准板的结构示意图；
[0033]图3为本申请的一个实施例中提供的限位块的结构示意图；
[0034]图4为实际工况中装配工装的装配示意图。
[0035]图中： 1
‑
掩膜标准板；2
‑
限位块，3
‑
支撑平台，4
‑
高度调节部件；5
‑
形变矫正机构。
具体实施方式
[0036]下面将详细描述本申请的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本申请的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本申请进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅意在解释本申请，而不是限定本申请。对于本领域技术人员来说，本申请可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本申请的示例来提供对本申请更好的理解。
[0037]如图1所示，本申请提供了一种装配工装，包括支撑平台3，
[0038]可拆卸的固定在支撑平台3上的掩膜标准板1，所述掩膜标准板1为方形；
[0039]环绕掩膜标准板1四周均匀设置有若干个与支撑平台3可拆卸连接的限位块2，所述相邻限位块2之间存在间隙，所述间隙用于固定外接的形变矫正机构5。
[0040]本申请中提到的形变矫正机构5为一种通用的机构，可产生或者传递矫正力，例如
通过自身形变产生矫正力，或者外加电机从而进行力的传递。形变矫正机构5与掩膜标准板1以及后替换的掩膜板接触，可向掩膜板施力，从而达到矫正掩膜板形变的目的。
[0041]本申请中，采用的掩膜标准板1为实际使用的掩膜板的一种模型，先通过掩膜标准板1进行装配工装的定位后，后续换成实际使用的掩膜板即可。掩膜标准板1的长与宽根据实际使用掩膜的尺寸进行加工制造，图2提供了一个具体实施例中掩膜标准板1的外形尺寸长、宽，长宽用尺寸A、B表示，A、B尺寸公差根据所选用的力传感器识别精度进行设计，一般较实际使用掩膜的尺寸小12
‑
20微米，这样能够保证实际掩膜装上去后，能够有一定的预紧力，起到更好的固定效果。
[0042]本申请中限位块2尺寸需要根据形变矫正机构5的尺寸以及掩膜板的尺寸进行尺寸设计，图3提供了一个具体实施例中限位块2的构造。
[0043]在本申请的一个具体实施例中，如图4所示，所述形变矫正机构5为铰链。铰链机构为成熟的机械器件，规格多，精度较高，总装可拆装，在本方案中可起到较好矫本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种装配工装，其特征在于，所述装配工装包括，支撑平台，可拆卸的固定在支撑平台上的掩膜标准板，所述掩膜标准板为方形；环绕掩膜标准板四周均匀设置有若干个与支撑平台可拆卸连接的限位块，相邻所述限位块之间存在间隙，所述间隙用于固定外接的形变矫正机构。2.根据权利要求1所述的装配工装，其特征在于：相邻所述限位块之间的间隙宽度相同。3.根据权利要求1所述的装配工装，其特征在于：所述限位块的中轴线与掩膜标准板的边缘垂直。4.根据权利要求1所述的装配工装，其特征在于：所述掩膜标准板对向设置的限位块数量相同。5.根据权利要求4所述的装配工装，其特征在于：所述掩膜标准板各边周向均匀设置的限位块数量相同。6.根据权利要求5所述的装配工装，其特征在于：所述限位块数量为20个，沿着所述掩膜标准板各边均匀设置5个限位块。7.根据权利要求1所述的装配工装，其特征在于：所述掩...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗先刚，刘毅，刘明刚，
申请(专利权)人：天府兴隆湖实验室，
类型：新型
国别省市：