本实用新型专利技术涉及扫描电镜技术领域，尤其涉及一种高分辨率扫描电镜辅助装置，本实用新型专利技术的创新点是：固定设有智能照明灯，进而实现调整光照的不同位置且不同高度的精准调节，进一步对于检测产品的自动寻找最佳的光照角度，进一步使其扫描的图像更加清楚，本实用新型专利技术是通过固定设有柔性的夹持机架进而根据样品室内不同尺寸且不同型号的样品台进行精准地固定，进而实现适用于不同形状的样品台，进而作为辅助装置更加便于拆卸与安装，进一步繁琐的安装步骤进行简单化，内设有转动的动力轴，进而实现对于材料的多个角度与不同位置多组检测，进而使其检测的结果更加准确与稳定。而使其检测的结果更加准确与稳定。而使其检测的结果更加准确与稳定。
【技术实现步骤摘要】
一种高分辨率扫描电镜辅助装置
[0001]本技术涉及扫描电镜
，具体为一种高分辨率扫描电镜辅助装置。
技术介绍
[0002]扫描电子显微镜是通过用聚焦电子束扫描样品的表面而产生样品表面的图像。它由电子光学系统、信号收集及显示系统、真空系统和电源系统组成，应用于生物、医学、材料和化学等领域。
[0003]现有的高分辨率扫描电镜的技术中，大多数都是直接放在上面，而且内部的光照都是固定的，进而无法实现对于不同角度与不同方位的调节，而且采集图像时无法对于不同面的采集，进而图像采样效果比较差，公开号：CN207233695U的专利中，能满足存放不同检测的材料，但是无法实现对于不同角度与不同方位光照的精准调节，进而图像的清晰度较低。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种高分辨率扫描电镜辅助装置，用于克服现有技术中的上述缺陷。
[0005]根据本技术的一种高分辨率扫描电镜辅助装置，包括主箱体，所述主箱体上端面固定设有导向机架，所述导向机架上端面固定设有保护盖，所述导向机架内设有导向腔，所述主箱体上端面固定设有限位机架，所述限位机架呈环形，所述导向机架内圆面转动设有啮合齿轮，所述啮合齿轮与所述导向机架内圆面相互啮合，所述啮合齿轮内圆面固定设有转动轴，所述转动轴外圆面固定设有导向轴承，所述导向轴承外圆面与所述限位机架转动配合，所述转动轴上端面固定设有转动机架，所述转动机架上端面内转动设有螺旋轴，所述螺旋轴外圆面固定设有能伸缩运动的气动升降杆，所述气动升降杆另一端固定设有光照机架，所述光照机架下端面固定设有智能照明灯。
[0006]优选的，所述主箱体左端面内转动设有均匀分布的四组滑动轴，所述滑动轴外圆面设有能左右移动的滑动滑块。
[0007]优选的，所述滑动滑块下端面固定设有固定机架，所述固定机架右端面上设有能伸缩运动的固定弹簧。
[0008]优选的，所述固定弹簧另一端面固定设有柔性的夹持机架。
[0009]优选的，所述主箱体上端面转动设有左右对称且均匀分布的升降轴，所述升降轴外圆面设有能上下运动的升降滑块。
[0010]优选的，所述升降滑块右端面上转动设有动力轴，所述动力轴外圆面固定设有电磁铁，所述电磁铁右端面上设有能伸缩运动的磁力伸缩杆。
[0011]优选的，所述磁力伸缩杆另一端面固定设有永磁铁，所述永磁铁与所述电磁铁磁力配合，所述永磁铁右端面上固定设有泡沫机架。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点是：
[0013]1.本技术是通过螺旋轴外圆面固定设有能伸缩运动的气动升降杆，气动升降杆另一端固定设有光照机架，光照机架下端面固定设有智能照明灯，进而实现调整光照的不同位置且不同高度的精准调节，进一步对于检测产品的自动寻找最佳的光照角度，进一步使其扫描的图像更加清楚，进而提高扫描电镜的工作效率与工作的质量，进一步保证了图像最佳的清晰度。
[0014]2.本技术是通过滑动滑块下端面固定设有固定机架，固定机架右端面上设有能伸缩运动的固定弹簧，固定弹簧另一端面固定设有柔性的夹持机架进而根据样品室内不同尺寸且不同型号的样品台进行精准地固定，进而实现适用于不同形状的样品台，进而作为辅助装置更加便于拆卸与安装，进一步繁琐的安装步骤进行简单化，内设有转动的动力轴，进而实现对于材料的多个角度与不同位置多组检测，进而使其检测的结果更加准确与稳定。
附图说明
[0015]图1是本技术的侧视图；
[0016]图2是本技术的侧视图；
[0017]图3是本技术的下视图；
[0018]图4是本技术的一种高分辨率扫描电镜辅助装置整体结构示意图；
[0019]图5是本专利技术图4中智能照明灯部件处的外观示意图；
[0020]图6是本专利技术图4中转动轴部件处的外观示意图；
[0021]图7是本专利技术图4中滑动滑块部件处的外观示意图；
[0022]图8是本专利技术图2中升降滑块部件处的外观示意图。
[0023]图中：
[0024]11、主箱体；12、导向机架；13、保护盖；14、导向腔；15、限位机架；16、转动轴；17、啮合齿轮；18、导向轴承；19、转动机架；20、螺旋轴；21、气动升降杆；22、光照机架；23、智能照明灯；24、滑动轴；25、滑动滑块；26、固定机架；27、固定弹簧；28、夹持机架；29、升降轴；30、升降滑块；31、动力轴；32、电磁铁；33、磁力伸缩杆；34、永磁铁；35、泡沫机架。
具体实施方式
[0025]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本技术，而不能理解为对本实用新
[0026]型的限制。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0028]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两
个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0029]实施例一
[0030]参阅图1
‑
图8，为本技术第一个实施例，该实施例提供了一种高分辨率扫描电镜辅助装置的实施例，包括主箱体11，所述主箱体11上端面固定设有导向机架12，所述导向机架12上端面固定设有保护盖13，所述导向机架12内设有导向腔14，所述主箱体11上端面固定设有限位机架15，所述限位机架15呈环形，所述导向机架12内圆面转动设有啮合齿轮17，所述啮合齿轮17与所述导向机架12内圆面相互啮合，所述啮合齿轮17内圆面固定设有转动轴16，所述转动轴16外圆面固定设有导向轴承18，所述导向轴承18外圆面与所述限位机架15转动配合，所述转动轴16上端面固定设有转动机架19，所述转动机架19上端面内转动设有螺旋轴20，所述螺旋轴20外圆面固定设有能伸缩运动的气动升降杆21，所述气动升降杆21另一端固定设有光照机架22，所述光照机架22下端面固定设有智能照明灯23。
[0031]通过转动轴16开始转动，进而带动啮合齿轮17开始转动，进而带动啮合齿轮17与导向机架12内圆面相互啮合转动，进而带动转动机架19开始环形运动，进而带动智能照明灯23环形移动，进而实现调整光照的不同位置，进一步对于检测产品的自动寻找最佳的光照角度，进一步使其扫描的图像更加清楚，进而提高扫描电本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种高分辨率扫描电镜辅助装置，包括主箱体(11)，其特征在于：所述主箱体(11)上端面固定设有导向机架(12)，所述导向机架(12)上端面固定设有保护盖(13)，所述导向机架(12)内设有导向腔(14)，所述主箱体(11)上端面固定设有限位机架(15)，所述导向机架(12)内圆面转动设有啮合齿轮(17)，所述啮合齿轮(17)与所述导向机架(12)内圆面相互啮合，所述啮合齿轮(17)内圆面固定设有转动轴(16)，所述转动轴(16)外圆面固定设有导向轴承(18)；所述导向轴承(18)外圆面与所述限位机架(15)转动配合，所述转动轴(16)上端面固定设有转动机架(19)，所述转动机架(19)上端面内转动设有螺旋轴(20)，所述螺旋轴(20)外圆面固定设有能伸缩运动的气动升降杆(21)，所述气动升降杆(21)另一端固定设有光照机架(22)，所述光照机架(22)下端面固定设有智能照明灯(23)。2.根据权利要求1所述的一种高分辨率扫描电镜辅助装置，其特征在于：所述主箱体(11)左端面内转动设有均匀分布的四组滑动轴(24)，所述滑动轴(24)外圆面设有能左右移动的滑动滑块(25)。3.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄德坤，
申请(专利权)人：南京利源芯科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：
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