本实用新型专利技术的实施例提供了一种取放料装置和加工设备。取放料装置包括：支撑机构；取放料组件，取放料组件设置在支撑机构上，取放料组件用于取放物料；缓冲件，缓冲件的上端连接至支撑机构，缓冲件的下端连接至取放料组件，缓冲件设置为在取放料组件出现异常而突然下落时对取放料组件进行缓冲。缓冲件会对取放料组件施加相反的缓冲力，从而可以抑制取放料组件下落。这样，取放料组件会慢慢下落，甚至不下落。而且在取放料装置应用至的设备重新启动时，取放料组件以及取放料组件上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)不会和其他部件发生碰撞。因此，取放料装置的安全性较好。取放料装置的安全性较好。取放料装置的安全性较好。
【技术实现步骤摘要】
取放料装置和加工设备
[0001]本技术涉及物料加工
，具体地，涉及一种取放料装置和一种具有其的加工设备。
技术介绍
[0002]在以半导体器件(例如晶圆)为例的物料加工领域，半导体器件的切割工序是很重要的一个工序。通常的切割方式有两种，一种是刀轮切割，一种是激光切割。以激光切割(业内也称之为隐形切割，简称隐切)为例，主要是将激光光束聚集在待加工物料内部形成炸点，通过精确控制聚焦物镜与待加工物料表面之间的距离，在待加工物料内部形成微裂缝，再通过劈刀或真空裂片分离彼此相邻的晶粒。
[0003]传统的激光加工设备主要包括上料装置、取放料装置、加工装置和下料装置。具体地，搬运装置将上料装置的料盒内的待加工物料搬运到指定位置，取放料装置从指定位置将待加工物料搬运到加工装置的载台上，然后通过加工装置的加工机构对载台上的待加工物料进行切割，以形成已加工物料。取放料装置将已加工物料放至下料装置上。然后取放料装置继续取料，加工装置继续加工，如此往复。
[0004]然而传统的取放料装置在取放料的过程中，一旦出现异常(例如断电等情况)发生，取放料装置以及物料会突然下落，并且在在重新上电时，工作人员如果没有发现，取放料装置可能会和设备的其他部件发生碰撞，这样就会导致部件和物料损坏。因此取放料装置存在较大的安全隐患。
技术实现思路
[0005]为了至少部分地解决现有技术中存在的问题，根据本技术的一个方面，提供了一种取放料装置。取放料装置包括：支撑机构；取放料组件，所述取放料组件设置在所述支撑机构上，所述取放料组件用于取放物料；以及缓冲件，所述缓冲件的上端连接至所述支撑机构，所述缓冲件的下端连接至所述取放料组件，所述缓冲件构造为在所述取放料组件出现异常而突然下落时对所述取放料组件进行缓冲。
[0006]示例性地，所述缓冲件包括拉伸弹性件，所述拉伸弹性件沿竖直方向处于拉伸状态。
[0007]示例性地，所述支撑机构包括横梁、连接至所述横梁的气缸安装板和连接至所述气缸安装板的气缸，所述取放料组件连接至所述气缸的活塞杆，所述气缸用于驱动所述取放料组件沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。
[0008]示例性地，所述取放料组件包括吸盘，所述吸盘包括支架和连接至所述支架的端部的吸嘴，所述气缸的活塞杆连接至所述支架，所述气缸安装板上设置有上连接件，所述支架上设置有下连接件，所述缓冲件的上端连接至所述上连接件，所述缓冲件的下端连接至所述下连接件。
[0009]示例性地，所述缓冲件构造为在所述气缸的气路结构发生故障时将所述取放料组
件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述取放料组件保持在所述缩回位置。
[0010]示例性地，所述取放料装置还包括取放料主体和连接至所述取放料主体的取放料升降机构，所述支撑机构位于所述取放料主体上，所述取放料升降机构用于驱动所述取放料主体沿竖直方向移动。
[0011]示例性地，所述取放料组件为两个，每个取放料组件的取放料组件与所述支撑机构之间均连接有所述缓冲件。
[0012]示例性地，所述取放料装置还包括旋转驱动机构，所述旋转驱动机构连接至所述支撑机构，所述支撑机构在所述旋转驱动机构的驱动下带动所述取放料组件沿弧形轨迹移动。
[0013]示例性地，所述旋转驱动机构包括旋转驱动件，所述支撑机构包括支撑轴和横梁，所述支撑轴的上端连接至所述旋转驱动件，所述支撑轴的下端连接至所述横梁，所述支撑轴在所述旋转驱动件的驱动下带动所述横梁绕所述支撑轴的竖直轴线旋转，所述取放料组件连接至所述横梁的端部。
[0014]示例性地，所述取放料装置还包括取放料主体，所述旋转驱动件设置在所述取放料主体上，所述支撑轴和所述取放料主体之间通过轴向力支撑件连接。
[0015]根据本技术的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括如上任一种所述的取放料装置。
[0016]本技术实施例提供的取放料装置由于设置有缓冲件，缓冲件会对取放料组件施加相反的缓冲力，从而可以抑制取放料组件下落。这样，取放料组件会慢慢下落，甚至不下落。因此，取放料组件、取放料组件上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)和/或取放料组件下方的其他部件不会因下落速度过快造成损坏。而且在取放料装置应用至的设备重新启动时，取放料组件以及取放料组件上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)不会和其他部件发生碰撞。如此，取放料组件以及取放料组件上拾取的物料(如果已经拾取的情况下)可以处于安全位置，从而可以避开其他部件，进而可以避免出现设备重新启动时可能造成的碰撞现象。因此，取放料装置的安全性较好。
[0017]在
技术实现思路
中引入了一系列简化形式的概念，这将在具体实施方式部分中进一步详细说明。本
技术实现思路
部分并不意味着要试图限定出所要求保护的技术方案的关键特征和必要技术特征，更不意味着试图确定所要求保护的技术方案的保护范围。
[0018]以下结合附图，详细说明本技术的优点和特征。
附图说明
[0019]本技术的下列附图在此作为本技术的一部分用于理解本技术。附图中示出了本技术的实施方式及其描述，用来解释本技术的原理。在附图中，
[0020]图1为根据本技术的一个示例性实施例的加工设备的立体图；
[0021]图2为图1中示出的定位装置、取放料装置和加工装置的立体图；以及
[0022]图3为图2中示出的取放料装置的立体图。
[0023]其中，上述附图包括以下附图标记：
[0024]100、取放料装置；200、支撑机构；210、横梁；220、气缸安装板；230、气缸；241、上连接件；242、下连接件；250、支撑轴；300、取放料组件；310、吸盘；311、支架；312、吸嘴；400、缓
冲件；500、旋转驱动机构；510、旋转驱动件；600、取放料主体；700、轴向力支撑件安装座；900、加工设备；910、上下料装置；920、搬运装置；930、防掉落装置；940、定位装置；950、加工装置。
具体实施方式
[0025]在下文的描述中，提供了大量的细节以便能够彻底地理解本技术。然而，本领域技术人员可以了解，如下描述仅示例性地示出了本技术的优选实施例，本技术可以无需一个或多个这样的细节而得以实施。此外，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行详细描述。
[0026]根据本技术的一个方面，提供了一种取放料装置。该取放料装置可以应用至任意合适的设备中，包括但不限于加工设备或者移载设备。因此，根据本技术的另一个方面，还提供了一种加工设备。加工设备包括但不限于激光加工设备。加工设备可以对物料进行上料、加工、下料以及其他处理。所述物料包括但不限于晶圆。下面结合具体实施例对本技术实施例的取放料装置和加工设备进行详细描述。
[0027]如图2
‑
3所示，取放料装置100可以包括支撑机构200、取放料组件300以及缓冲件本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种取放料装置，其特征在于，包括：支撑机构；取放料组件，所述取放料组件设置在所述支撑机构上，所述取放料组件用于取放物料；以及缓冲件，所述缓冲件的上端连接至所述支撑机构，所述缓冲件的下端连接至所述取放料组件，所述缓冲件构造为在所述取放料组件出现异常而突然下落时对所述取放料组件进行缓冲。2.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述缓冲件包括拉伸弹性件，所述拉伸弹性件沿竖直方向处于拉伸状态。3.如权利要求1所述的取放料装置，其特征在于，所述支撑机构包括横梁、连接至所述横梁的气缸安装板和连接至所述气缸安装板的气缸，所述取放料组件连接至所述气缸的活塞杆，所述气缸用于驱动所述取放料组件沿竖直方向在伸出位置和缩回位置之间移动。4.如权利要求3所述的取放料装置，其特征在于，所述取放料组件包括吸盘，所述吸盘包括支架和连接至所述支架的端部的吸嘴，所述气缸的活塞杆连接至所述支架，所述气缸安装板上设置有上连接件，所述支架上设置有下连接件，所述缓冲件的上端连接至所述上连接件，所述缓冲件的下端连接至所述下连接件。5.如权利要求3所述的取放料装置，其特征在于，所述缓冲件构造为在所述气缸的气路结构发生故障时将所述取放料组件拉回或靠近所述缩回位置或者使所述取放料组件保持在所述缩回位置。6.如权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：胡发富，陈先文，
申请(专利权)人：深圳镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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