升降式双腔晶圆单片腐蚀机制造技术

本实用新型专利技术提供一种升降式双腔晶圆单片腐蚀机，包括腐蚀槽；所述腐蚀槽内设计有左右并列的双腔结构，所述腐蚀槽外部包裹有可以左右滑动的外壳，所述外壳的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽上部表面的封闭板，所述封闭板随所述外壳滑动在所述腐蚀槽上部滑动，所述外壳的左右侧分别装配有放置平台，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框放置在所述放置平台上部，所述外壳顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块。该设备就可以同时对两个腐蚀框内的晶圆进行蚀刻加工，效率更高，腐蚀槽与封闭板外部再形成一个气体隔离区域，进一步防止气体逸散到外部；进一步保证车间工作人员的安全。一步保证车间工作人员的安全。一步保证车间工作人员的安全。

【技术实现步骤摘要】
升降式双腔晶圆单片腐蚀机


[0001]本技术涉及晶圆腐蚀设备
，具体涉及升降式双腔晶圆单片腐蚀机。

技术介绍

[0002]晶圆的腐蚀加工是先将金属沉淀在晶圆上，然后利用腐蚀液与晶圆上沉积金属之间的化学反应将金属层溶解，从而达到在晶圆上刻蚀图形的目的。传统的晶圆腐蚀加工设备通常采用单独的腐蚀槽，在其内放置入腐蚀溶液，将晶圆放置腐蚀容器中，然后将用来放置晶圆的腐蚀容器放置入腐蚀槽内，等待腐蚀溶液完成腐蚀过程。但是晶圆腐蚀加工设备的腐蚀槽采用单腔体的结构，放置的晶圆数量较小，生产效率较低，同时腐蚀容器连同晶圆放置到腐蚀槽内液体内时，需要通过吊装结构将腐蚀容器吊起放置到腐蚀槽中，如专利202021100534.9中公布的一种晶圆腐蚀用具所使用的大体结构一样，因此腐蚀设备通常需要车间专门配备起吊设备，放置过程操作也较为不便。另外由于晶圆腐蚀加工时使用的溶液中含有铬酸等重金属溶液，容易产生烟雾有较大污染性，腐蚀槽需要密闭，但是在每次开启腐蚀槽时污染气体仍然会逸散到加工车间，对工人造成危害。

技术实现思路

[0003]针对以上问题，本技术提供一种自身带有起吊结构，腐蚀槽内具有双腔体，封闭性能更好污染更低的升降式双腔晶圆单片腐蚀机。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：该升降式双腔晶圆单片腐蚀机包括腐蚀槽，所述腐蚀槽内装配有腐蚀加工晶圆的腐蚀液体；所述腐蚀槽内设计有左右并列的双腔结构，所述腐蚀槽外部包裹有可以左右滑动的外壳，所述腐蚀槽的前后装配有左右方向的轨道，所述外壳通过前后的轨道左右滑动装配，所述外壳的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽上部表面的封闭板，所述封闭板随所述外壳滑动在所述腐蚀槽上部滑动，所述外壳的左右侧分别装配有放置平台，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框放置在所述放置平台上部，所述腐蚀框采用镂空结构，所述外壳顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块，所述外壳两侧分别固定有左右伸出的吊架，所述吊架的端部装配有转向轮，所述卷料模块上卷绳的通过转向轮垂向放置平台上的腐蚀框，所述腐蚀框的上部设计有挂取结构，所述卷绳垂下的端部装配有和挂取结构适配的挂钩；所述外壳上部的中间装配有负压模块，所述负压模块的底部进气口连通所述外壳内部。
[0005]作为优选，左右所述放置平台的左右外侧分别装配有固定在地面的拉索模块，左右所述拉索模块的拉绳分别与外壳后部左右侧相连。
[0006]作为优选，所述腐蚀槽、放置平台为长方形状，所述腐蚀槽、放置平台的宽度相同。
[0007]作为优选，所述腐蚀槽上部平面高于所述放置平台上平面，所述外壳的左右侧分别装配有卷帘门，所述卷帘门的下部左右侧设计有便于放置平台通过的门洞。
[0008]作为优选，所述腐蚀槽上部平面与放置平台上平面齐平。
[0009]作为优选，所述腐蚀框为四方形状，所述挂取结构包括腐蚀框上部四角位置铰接
的硬质杆，4个所述硬质杆上部连接在一点，所述硬质杆连接位置的上部设计有方便挂钩挂取的结构。
[0010]作为优选，所述外壳前面装配有透明材料制作的观察窗，所述封闭板采用透明材料制作。
[0011]作为优选，所述外壳前后侧装配的轨道截面为三角形状，所述外壳前后面的底部分别装配有两个以上的滚轮，所述外壳通过滚轮放置在前后所述轨道上。
[0012]作为优选，所述外壳的左右侧方别设计有铰接的勾件，所述腐蚀框的一侧装配有防晃连接块，当所述腐蚀框被向上吊取时，所述勾件钩紧在所述防晃连接块上。
[0013]本技术的有益效果在于：本升降式双腔晶圆单片腐蚀机工作时，现将待腐蚀的晶圆通过腐蚀框放置在所述放置平台上，然后控制所述卷料模块运动使得卷绳端部的挂钩挂取所述腐蚀框，并将腐蚀框吊离所述放置平台上表面，然后外壳沿前后轨道整体移动，带动腐蚀框及其内部晶圆到达腐蚀槽一侧腔体上部，这时壳体内部的封闭板同步滑动使得，腐蚀槽一侧腔体上部打开，在通过卷料模块将腐蚀框及其内部晶圆放入到腐蚀槽的腐蚀液体内。然后将挂钩脱离，外壳重新运动到原来位置。
[0014]在该腐蚀机中，腐蚀槽内设计有两个并列的腔体，这样该腐蚀槽就可以同时对两个腐蚀框内的晶圆进行蚀刻加工，效率更高，而且在所述外壳向一侧移动打开一个腐蚀腔时，外壳内的封闭板仍然封闭在腐蚀槽另一个腔的上方，这样所述腐蚀槽打开面积较小。而外壳的设计不仅起到滑动载体的作用，同时安装的卷料模块以及吊架可以方便的对放置平台上的腐蚀框进行吊取，通过壳体的整体移动，将腐蚀框连同晶圆片移动到腐蚀槽的敞开腔体上，壳体的移动和封闭板对一个腔体的打开同时完成，整体结构设计更加的简单。另外当壳体整体移动到腐蚀槽外部时，壳体内部与放置平台侧边构成一个包裹腐蚀槽的腔体，通过负压模块可以对该腔体内气体进行抽取，使得该腔体内有毒气体被抽取出去，从而在腐蚀槽与封闭板外部再形成一个气体隔离区域，进一步防止气体逸散到外部；而且壳体在移动过程中可以保持抽气状态将腐蚀槽内少量有毒气体及时抽走，减少将晶圆片放置到腐蚀槽内时的有毒气体以上，进一步保证车间工作人员的安全。
附图说明
[0015]图1是实施例1中升降式双腔晶圆单片腐蚀机在放置平台取料时的正向结构示意图。
[0016]图2是实施例1中升降式双腔晶圆单片腐蚀机在将腐蚀框放入腐蚀槽时正向的结构示意图。
[0017]图3是图1中升降式双腔晶圆单片腐蚀机的左视结构示意图。
[0018]图4是实施例2中升降式双腔晶圆单片腐蚀机在放置平台取料时的正向结构示意图。
具体实施方式
[0019]下面结合实施例对本技术进一步说明：
[0020]在本专利中，所使用的方向性词语，其关系均为基于附图1和图4所示图形的方位或位置关系，仅是为了简化描述本申请，而不是指示装置或元件必须具有的特定方位，因此
不能理解为对本申请的限制。
[0021]实施例1
[0022]在本实施例中，如图1、图2和图3所示，本升降式双腔晶圆单片腐蚀机包括腐蚀槽1，所述腐蚀槽1内装配有腐蚀加工晶圆的腐蚀液体；所述腐蚀槽1可以采用传统晶圆腐蚀设备的结构，在此不做详细叙述。所述腐蚀槽1内设计有左右并列的双腔结构，所述腐蚀槽1内的双腔体可以相互连通也可以各自独立。所述腐蚀槽1外部包裹有可以左右滑动的外壳2，所述腐蚀槽1的前后装配有左右方向的轨道21，所述外壳2通过前后的轨道21左右滑动装配，所述外壳2的前后面分别与所述轨道21对应滑动装配。所述外壳2的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽1上部表面的封闭板22，所述腐蚀槽1的上部表面以及封闭板22的下部表面光滑设计，所述封闭板22随所述外壳2滑动在所述腐蚀槽1上部滑动，当所述外壳2覆盖在所述腐蚀槽1外部时，所述封闭板22恰好将所述腐蚀槽1密封覆盖。所述外壳2的左右侧分别装配有放置平台3，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框4放置在所述放置平台3上部，所述腐蚀框4采用镂空结构，所述外壳2顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块5，所述卷料模块5采用卷绳机结构。所述外壳2两侧分别固定有左右伸出的吊架51，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种升降式双腔晶圆单片腐蚀机，它包括腐蚀槽(1)，所述腐蚀槽(1)内装配有腐蚀加工晶圆的腐蚀液体；所述腐蚀槽(1)内设计有左右并列的双腔结构，其特征在于：所述腐蚀槽(1)外部包裹有可以左右滑动的外壳(2)，所述腐蚀槽(1)的前后装配有左右方向的轨道(21)，所述外壳(2)通过前后的轨道(21)左右滑动装配，所述外壳(2)的中间设计有覆盖在所述腐蚀槽(1)上部表面的封闭板(22)，所述封闭板(22)随所述外壳(2)滑动在所述腐蚀槽(1)上部滑动，所述外壳(2)的左右侧分别装配有放置平台(3)，待腐蚀加工的晶圆通过腐蚀框(4)放置在所述放置平台(3)上部，所述腐蚀框(4)采用镂空结构，所述外壳(2)顶部靠左右两边位置分别固定有卷料模块(5)，所述外壳(2)两侧分别固定有左右伸出的吊架(51)，所述吊架(51)的端部装配有转向轮，所述卷料模块(5)上卷绳的通过转向轮垂向放置平台(3)上的腐蚀框(4)，所述腐蚀框(4)的上部设计有挂取结构，所述卷绳垂下的端部装配有和挂取结构适配的挂钩(52)；所述外壳(2)上部的中间装配有负压模块(23)，所述负压模块(23)的底部进气口连通所述外壳(2)内部。2.根据权利要求1所述的升降式双腔晶圆单片腐蚀机，其特征在于：左右所述放置平台(3)的左右外侧分别装配有固定在地面的拉索模块(6)，左右所述拉索模块(6)的拉绳分别与外壳(2)后部左右侧相连。3.根据权利要求1所述的升降式双腔晶圆单片腐蚀机，其特征在于：所述腐蚀槽(1)、放置平台(3)为长方形状，所述腐蚀槽(1)、放置平台(3)的宽度相同。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾麒文，洪成都，
申请(专利权)人：苏州桔云科技有限公司，
类型：新型
国别省市：