泄漏检测系统及其制造和使用方法技术方案

一种泄漏检测传感器，该泄露检测传感器包括：介电基板，该介电基板包括电路板材料；以及多个电路，该多个电路与该基板连通，其中该多个电路位于该基板的不同侧上。个电路位于该基板的不同侧上。个电路位于该基板的不同侧上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】泄漏检测系统及其制造和使用方法


[0001]本公开涉及一种泄漏检测系统及其制造和使用方法。

技术介绍

[0002]许多工业和商业应用涉及流体的使用，该流体可用于例如处理步骤、制造功能(诸如掩膜或蚀刻)或温度控制。考虑到不利的环境或生物效应，一些流体可能是特别有害的或需要特别关注。其他流体可能是特别有价值的，因此泄漏导致用户损失。其他流体可能具有纯度要求，并且泄漏将面临外部污染的风险，这可能毁坏它们相应的流体系统。
[0003]许多行业需要新的方式来以更可持续且经济的方式有效且准确地监测有害或有价值流体的泄漏。
附图说明
[0004]实施方案通过示例的方式示出，并且不旨在限于附图。
[0005]图1包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的透视图。
[0006]图2包括根据实施方案的设置在连接流体部件之间的流体界面上的多个示例性泄漏检测系统的侧正视图。
[0007]图3包括根据一个实施方案的包括感测元件的传感器的示意图。
[0008]图4包括根据一个实施方案的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0009]图5包括根据另一实施方案的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0010]图6包括根据另一实施方案的包括感测元件的传感器的横截面正视图。
[0011]图7包括根据另一实施方案的包括感测元件的传感器的示意图。
[0012]图8包括根据一个实施方案的包括感测元件传感器的传感器的横截面正视图。
[0013]图9包括根据一个实施方案的包括处于干燥条件下的感测元件的另一传感器的示意图。
[0014]图10包括根据一个实施方案的处于潮湿条件下的图9的传感器的示意图。
[0015]图11包括根据一个实施方案的包括具有电路的感测元件的另一传感器的示意图。
[0016]图12包括根据一个实施方案的包括具有电路的感测元件的另一传感器的示意图。
[0017]图13包括根据一个实施方案的包括具有两个检测元件的感测元件的传感器的横截面正视图。
[0018]图14包括根据一个实施方案的具有联接到流体导管上的多个传感器的流体导管的透视图，每个传感器具有不同的附接元件。
[0019]图15包括根据一个实施方案的泄漏检测系统的透视图。
[0020]图16包括根据一个实施方案的附接元件的透视图。
[0021]图17包括根据一个实施方案的泄漏检测阵列的透视图。
[0022]图18A包括在根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统中使用的基板的底视图。
[0023]图18B包括在根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统中使用的基板的底部透视
图。
[0024]图18C包括在根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统中使用的基板的侧视图。
[0025]图19A包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的顶部透视图。
[0026]图19B包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的侧透视图。
[0027]图19C包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的侧横截面视图。
[0028]图19D包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的底视图。
[0029]图19E包括根据一个实施方案的示例性泄漏检测系统的侧透视图。
具体实施方式
[0030]提供以下结合附图的描述以帮助理解本文所公开的教导内容。以下讨论将集中于教导内容的具体实施方式和实施方案。提供该焦点以帮助描述教导内容，并且不应将其解释为对教导内容的范围或适用性的限制。然而，基于如所公开的教导内容，可以使用其他实施方案。
[0031]术语“包含(comprises、comprising)”、“包括(includes、including)”、“具有(has、having)”或它们的任何其他变型形式旨在涵盖非排他性的包括。例如，包括一系列特征的方法、制品或装置不必仅限于那些特征，而是可包括未明确列出的或此类方法、制品或装置固有的其他特征。此外，除非明确相反地陈述，否则“或”是指包含性的或，而不是排他性的或。例如，条件A或B由以下任一项满足：A为真(或存在)且B为假(或不存在)，A为假(或不存在)且B为真(或存在)，以及A和B两者均为真(或存在)。
[0032]另外，使用“一个”或“一种”来描述本文所述的元件和部件。这样做仅仅是为了方便和给出本专利技术范围的一般意义。该描述应被理解为包括一个、至少一个或单数，也包括复数，或反之亦然，除非清楚地表明其另有含义。例如，当在本文中描述单个项目时，可以使用多于一个项目来代替单个项目。类似地，在本文中描述多于一个项目的情况下，单个项目可替代该多于一个项目。
[0033]除非另外定义，否则本文使用的所有技术和科学术语具有与本专利技术所属领域的普通技术人员通常理解的相同的含义。材料、方法和示例仅是示例性的，而不旨在是限制性的。就本文未描述的程度而言，关于具体材料和处理动作的许多细节是常规的，并且可在流体输送领域内的教科书和其他来源中找到。
[0034]根据本文所述的实施方案中的一个或多个实施方案的泄漏检测系统通常可包括至少一个传感器、联接到传感器的通信设备、以及适于将泄漏检测系统操作地联接到用于监测流体泄漏的区域的附接元件。在一个实施方案中，泄漏检测系统可与流体部件上的流体界面相邻设置。根据某些实施方案，流体部件可包括接头，由此流体可从流体界面泄漏，该接头可例如管接头、管联接件、管、管弯头、歧管、弯管、阀、泵、调节器、集液器、压力容器、罐、过滤器外壳、排气管线、真空冷凝容器、接缝或焊接线、喷嘴或喷雾器、螺纹端口、取样阀、流体入口或出口或任何其他类似接头。在另一实施方案中，传感器可以具有第一状态，该第一状态具有干燥时的第一条件和湿润时的第二条件。在一个实施方案中，传感器可以具有适于监测传感器的可操作性的第二状态。在一个实施方案中，传感器可以具有适于监测传感器的电池寿命的量度的第三状态。在一个实施方案中，传感器可以具有适于监测传感器的信号强度的第四状态。信号强度可以是传感器与通信设备的网关通信信号(例如，通
信设备是否“听到”传感器)。通信设备可通过无线协议或有线连接将条件(第一、第二、第三或第四)传输到通信集线器或接收设备，该通信集线器或接收设备适于将正被监测的区域的条件传送给可对泄漏作出响应的用户或系统。在一个具体实施方案中，附接元件可以是可移除的、可重复使用的或两者。即，附接元件可以与正被监测的流体部件或流体部件的区域或表面选择性地接合，并且与其选择性地脱离。在一个实施方案中，传感器可以具有连接到位于基板的不同侧上的多个电路的介电基板。
[0035]根据某些实施方案，如本文所述的泄漏检测系统可定位成监测跨越若干不同技术专业的流体部件上的泄漏。例如，根据本文所述的一个或多个实施方案的泄漏检测系统可用于：电子设备制造，诸如半导体和超导体工业；医疗设备，诸如流体输送管线和泵；管联接件，诸如在油气工业、饮用水和下水道系统中存在的那些管联接件；航空航本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种泄漏检测传感器，所述泄漏检测传感器包括：介电基板，所述介电基板包括电路板材料；以及多个电路，所述多个电路与所述基板连通，其中所述多个电路位于所述基板的不同侧上。2.一种流体系统，所述流体系统包括：具有流体的流体部件；以及至少一个泄漏检测传感器，所述至少一个泄漏检测传感器操作地联接到所述流体部件，所述泄漏检测传感器包括：介电基板，所述介电基板包括电路板材料；以及多个电路，所述多个电路与所述基板连通，其中所述多个电路位于所述基板的不同侧上。3.一种泄漏检测方法，所述泄漏检测方法包括：提供至少一个泄漏检测传感器，所述泄漏检测传感器包括：介电基板，所述介电基板包括电路板材料；以及多个电路，所述多个电路与所述基板连通，其中所述多个电路位于所述基板的不同侧上；以及将所述至少一个泄漏检测传感器操作地联接到所述流体部件，以用于监测流体泄漏。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的泄漏检测传感器、流体系统或方法，其中所述多个电路各自包括导电迹线，所述导电迹线连接到从所述迹线延伸的多个引脚。5.根据权利要求1
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3中任一项所述的泄漏检测传感器、流体系统或方法，其中所述多个电路包括电源。6.根据权利要求1
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3中任一项所述的泄漏检测传感器、流体系统或方法，其中第一电路位于所述基板的第一表面上，并且第二电路位于与所述基板的所述第一表面相对的所述基板的第二表面上。7.根据权利要求1
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3中任一项所述的泄漏检测传感器、流体系统或方法，其中所述泄漏检测传感器还包括外壳，所述外壳包括至少部分地隔离所述多个电路的非导电材料。8.根据权利要求1
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3中任一项所述的泄...

【专利技术属性】
技术研发人员：JP，
申请(专利权)人：美国圣戈班性能塑料公司，
类型：发明
国别省市：