一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线制造技术

本发明专利技术公开了一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其包含直线分布式多真空腔室镀膜系统、自动输送系统、平移载板工装系统；直线分布式多真空腔室镀膜系统包含多个呈直线排布的真空腔室，相邻两真空腔室之间设置有真空隔离门；自动输送系统包含自动上料载台、自动下料载台、及均设置在自动上料载台、自动下料载台之间的回流输送线和复合动力输送线；所述直线分布式多真空腔室镀膜系统两端分别连接自动上料载台和自动下料载台；所述复合动力输送线设置有传动切换装置驱动平移载板工装系统的移动或转动。其能实现公转镀膜或公自转镀膜，能同时兼容平面工件和3D异形工件的镀膜需求。件的镀膜需求。件的镀膜需求。

【技术实现步骤摘要】
一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线


[0001]本专利技术涉及太阳能电池生产设备及真空镀膜设备领域，尤其涉及一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线。

技术介绍

[0002]真空镀膜广泛应用于电子产品、集成电路、光学仪器、医疗器械、太阳能、建筑用材等领域，市场对真空镀膜设备需求量大，同时对真空镀膜设备工艺稳定性要求也越来越高，设备工艺稳定好能有效提高产品竞争力。目前市场上应用较为广泛的是单真空腔室镀膜设备，真空腔室中间为工件悬挂架，在镀膜过程中工件可公自转，真空腔室内同时设计有轰击靶、离化靶、蒸发电极等多个功能性工艺装置，工件在单一腔室内完成所有镀膜工艺。但现有的单真空腔室镀膜设备存在以下问题：1)各批次工件的上料都需破坏原有腔体内真空氛围，再重新把腔体从大气状态抽真空到镀膜所需真空氛围，设备能耗高且工艺稳定性差；2)相同镀膜产能需多台单真空腔室镀膜设备同时作业，每台均需配有设备操控人员，人力成本高，同时每套单真空腔室镀膜设备都需配有独立的真空系统，综合设备成本高；3)在单一腔室完成所有镀膜工艺，离化靶、轰击靶、溅射源等前后处理及各种镀膜工艺均在同一真空腔室中反应，不同工艺段之间污染大，会影响产品镀膜质量及设备运行的稳定性；4)单真空腔室镀膜设备所有工艺集中在单一腔室中串联完成，设备装载为批次形式，生产节拍受限大，腔室无法设计得过大，装载量有限，镀膜效率低。现有的多真空腔室镀膜产线，载板及工装系统只做平移运动，只适合平面性工件的镀膜，不兼备3D异形工件镀膜功能。因此，现有技术存在不足。/>
技术实现思路

[0003]针对上述问题，本专利技术提供了一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线以提高镀膜设备的工艺稳定性；降低镀膜设备的综合投入及能耗，使设备更加节能；降低各工艺处理之间的污染；提高设备自动化程度，减少设备管理成本和人力成本；让设备兼容3D异形工件镀膜，且能稳定量产；增加设备装载量，提高设备镀膜效率。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用如下技术方案：
[0005]一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其包含直线分布式多真空腔室镀膜系统、自动输送系统、平移载板工装系统；所述直线分布式多真空腔室镀膜系统包含多个呈直线排布的真空腔室，相邻两真空腔室之间设置有真空隔离门；所述自动输送系统包含自动上料载台、自动下料载台、及均设置在自动上料载台、自动下料载台之间的回流输送线和复合动力输送线；所述直线分布式多真空腔室镀膜系统两端分别连接自动上料载台和自动下料载台；所述复合动力输送线设置有传动切换装置驱动平移载板工装系统的移动或转动。
[0006]进一步的，所述回流输送线设置在直线分布式多真空腔室镀膜系统的一侧；所述复合动力输送线穿过直线分布式多真空腔室镀膜系统。
[0007]进一步的，所述平移载板工装系统的转动方式为公转或公自转。
[0008]进一步的，所述直线分布式多真空腔室镀膜系统包含进料腔室、清洗腔室、前处理腔室、镀膜腔室、后处理腔室、出料腔室；所述镀膜腔室为一个或多个。
[0009]进一步的，所述前处理腔室和后处理腔室均设置有离化靶和硅油系统。
[0010]进一步的，所述清洗腔室设置有轰击靶，用于对工件进行离子轰击清洗以进一步提高基材表面活性利于薄膜沉积。
[0011]进一步的，所述镀膜腔室设置有溅射源，所述溅射源采用侧面安装或卧式安装；用于工件表面的薄膜溅射。
[0012]进一步的，所述溅射源的镀膜方式为蒸发、溅射、多弧、(PE)ALD、(PE)CVD、(后)反应PVD中的一种或多种。
[0013]进一步的，所述平移载板工装系统依次包含内齿轮、外齿轮、自转转轴、第一轴承座、转台、支承轴承、第二轴承座、公转动力输入轴、载台、固定轴、连接杆、连接圆板、行车轮、转动轮、及一个或多个工件悬挂杆。
[0014]进一步的，所述工件悬挂杆直接设置在转台上，随转台转动而公转；或所述工件悬挂杆插入自转转轴，随转台转动而公转，同时随自转转轴转动而自转。
[0015]和现有技术相比，本专利技术提供的兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线具有如下有益效果：
[0016](1)设计有直线分布式真空腔体系统，各真空腔室间设计有真空隔离门，除进料腔室和出料腔室上下料时需破坏真空氛围，其它工艺腔室均能保持原有真空氛围，能更好保证工艺稳定性，设备也更加节能；
[0017](2)自动连续式真空镀膜产线相比单真空腔室镀膜设备产线自动化程度更高，所需设备操控人员大大减少，人力成本大幅降低；能够实现连续生产镀膜，设备更加高效，同产能配置投入减低，场地面积节约；
[0018](3)采用直线分布式多真空腔室系统，离化靶、轰击靶、溅射源等前后处理及各种镀膜工艺均在不同真空腔室中反应，各工艺段相互污染减少，提高了工件镀膜质量；
[0019](4)镀膜平移载板工装系统设计有两种运动模式，平移+公转模式适合平面性工件单面/双面镀膜，同时满足单件大尺寸的异性工件镀膜，平移+公自转模式能很好兼容各种3D异形工件的镀膜，全方位旋转，使镀膜更加均匀，提高产品镀膜质量。
附图说明
[0020]构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0021]图1为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实施例的结构示意主视图。
[0022]图2为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实施例的结构示意俯视图。
[0023]图3为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实施例的平移载板工装系统的结构示意图。
[0024]图4为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实
施例的平移载板工装系统的主视图。
[0025]图5为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实施例的3D异型工件在公自转模式下镀膜旋转示意(图4的A
‑
A'剖视图)。
[0026]图6为本专利技术提供的一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线一实施例的平面性工件在公转模式镀膜旋转示意(更换工件悬挂杆后图4的A
‑
A'剖视图)。
[0027]附图中：1、进料腔室，2、清洗腔室，3、前处理
‑
镀硅油腔室，4、镀膜腔室，5、后处理
‑
镀硅油腔室，6、出料腔室，7、自动上料载台，8、自动下料载台，9、第一真空隔离门，10、第二真空隔离门，11、第三真空隔离门，12、第四真空隔离门，13、第五真空隔离门，14、第六真空隔离门，15、第七真空隔离门，16、轰击靶，17、离化靶一，18、硅油系统一，19、溅射源，20、离化靶二，21、硅油系统二，22、平移载板工装系统，23、内齿轮，24、外齿轮，25、自转转轴，26、轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其特征在于：所述兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线包含直线分布式多真空腔室镀膜系统、自动输送系统、平移载板工装系统；所述直线分布式多真空腔室镀膜系统包含多个呈直线排布的真空腔室，相邻两真空腔室之间设置有真空隔离门；所述自动输送系统包含自动上料载台、自动下料载台、及均设置在自动上料载台、自动下料载台之间的回流输送线和复合动力输送线；所述直线分布式多真空腔室镀膜系统两端分别连接自动上料载台和自动下料载台；所述复合动力输送线设置有传动切换装置驱动平移载板工装系统的移动或转动。2.根据权利要求1所述兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其特征还在于：所述回流输送线设置在直线分布式多真空腔室镀膜系统的一侧；所述复合动力输送线穿过直线分布式多真空腔室镀膜系统。3.根据权利要求1所述兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其特征还在于：所述平移载板工装系统的转动方式为公转或公自转。4.根据权利要求1所述兼具3D异型工件公自转的自动连续式真空镀膜产线，其特征还在于：所述直线分布式多真空腔室镀膜系统包含进料腔室、清洗腔室、前处理腔室、镀膜腔室、后处理腔室、出料腔室；所述镀膜腔室为一个或多个。5.根据权利要求4所述兼具3...

【专利技术属性】
技术研发人员：曲永鹏，刘杰波，林海弈，
申请(专利权)人：福建金石能源有限公司，
类型：发明
国别省市：