一种单片清洗溅镀治具的装置及方法制造方法及图纸

技术编号:38339797 阅读:15 留言:0更新日期:2023-08-02 09:20
本发明专利技术公开了一种单片清洗溅镀治具的装置,涉及石英晶体生产技术领域,包括清洗机构,所述清洗机构包括两个挡板,两个所述挡板的相对一侧之间安装有梯形块,所述梯形块的顶部开设有凹型槽,每组所述安装架之间均转动连接有滚动毛刷,所述凹型槽的内部设置有分流器,每个所述弧形管的输出端均安装有喷头,其中一个所述挡板的一侧安装有两个相对称的电机。本发明专利技术通过设置清洗机构,可以将溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污清理掉,并可以将溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污和滚动毛刷表面银屑、脏污给完全清洗掉,防止二次污染,有效地提高了单片清洗溅镀治具的装置使用效率。置使用效率。置使用效率。

【技术实现步骤摘要】
一种单片清洗溅镀治具的装置及方法


[0001]本专利技术涉及石英晶体生产
,具体为一种单片清洗溅镀治具的装置及方法。

技术介绍

[0002]随着5G技术、物联网、云计算、人工智能、大数据等技术的发展,对电子信息产业的技术升级与迭代提出更高的要求。随着国家“新基建”战略落地,在5G通讯技术、人工智能、大数据中心、工业互联网等高端智能电子终端逐步走向高精密化,宽温,对于石英晶体元器件的发展趋势也向、低缺陷、表贴化、集成化和小型化工作范围方向发展。然而随着石英晶片越往小型化发展过程中,溅镀治具的洁净度成为影响的石英晶体谐振器频率的稳定和精准的关键因素,也将制约石英晶体谐振器往小型化发展过程的重大难题,在石英晶体谐振器生产制作过程中,溅镀工序起到将银离子均匀的按照治具形状附着到晶片表面,其中治具本身也会将附着上一层银离子,而关于治具表面的银离子的清理是溅镀工序的质量保证,目前常见的清洁方式超声波清洗法。
[0003]现有的单片清洗溅镀治具的装置虽然用超声波方式可以对溅镀治具进行清洗操作,但是超声波清洗只能清洗掉小部分的易脱落的表面的溅镀银层,而对于溅镀治具特别是拐角处易堆积的银层无法彻底清洁,从而导致溅镀的银层的形状变形,最终将导致石英晶体谐振器频率精密稳定性较差这点越往小型化发展,缺点越发凸显,继而降低单片清洗溅镀治具的装置使用效率。
[0004]因此,需要提出新型的一种单片清洗溅镀治具的装置及方法,以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种单片清洗溅镀治具的装置及方法,以解决上述
技术介绍
提出的现有的部分清洗装置不能对溅镀治具拐角处易堆积的银层彻底清洁,从而导致溅镀的银层的形状变形,最终将导致石英晶体谐振器频率精密稳定性较差这点越往小型化发展,缺点越发凸显,继而降低单片清洗溅镀治具的装置使用效率的问题。
[0006]为实现上述目的,本专利技术提供如下技术方案:一种单片清洗溅镀治具的装置,包括清洗机构,所述清洗机构包括两个挡板,两个所述挡板的相对一侧之间安装有梯形块,所述梯形块的顶部开设有凹型槽,所述凹型槽的内壁顶部安装有两组相对称的安装架,且每组安装架的数量为两个,其中一个所述挡板的一侧开设有两个相对称的圆柱孔,两个所述圆柱孔的内部均通过轴承转动连接有转杆,两个所述转杆的外表面均固定有主动齿轮,每组所述安装架之间均转动连接有滚动毛刷,每个所述滚动毛刷的一端均安装有从动齿轮,其中一个所述挡板的一侧靠近顶部位置开设有进水孔,另一个所述挡板的另一侧靠近中间位置开设有高位溢流孔,另一个所述挡板的另一侧靠近底部位置开设有排水孔,所述凹型槽的内部设置有分流器,所述分流器的外壁等距分布固定贯穿有两组弧形管,且每组弧形管
的数量为若干,每个所述弧形管的输出端均安装有喷头,其中一个所述挡板的一侧安装有两个相对称的电机。
[0007]优选的,两组所述安装架的相背一面分别滑动嵌设在凹型槽的内壁正表面和内壁后表面,两个所述主动齿轮的齿牙均通过链条分别与两个从动齿轮的齿牙相啮合,所述分离器的一端滑动嵌设在另一个挡板的一侧,两个所述电机的输出端分别与两个转杆的一端相安装。
[0008]优选的,所述进水孔的内部固定有第一进水管,所述第一进水管的输出端与分流器的输入端相连接,所述高位溢流孔的内部固定有第一出水管,所述排水孔的内部固定有第二出水管。
[0009]优选的,所述清洗机构的底部设置有过滤机构,所述过滤机构包括弧形三通管,所述弧形三通管的两个输入端分别与第一出水管的输出端、第二出水管的输出端相连接,所述梯形块的底部安装有壳体,所述弧形三通管的输出端固定贯穿壳体的外壁,所述壳体的内壁顶部安装有水泵。
[0010]优选的,所述壳体的一侧靠近底部位置固定贯穿有第二进水管,所述第二进水管的输出端与水泵的输入端相连接,所述壳体的内部设置有三个多孔放置台,下方所述多孔放置台的内部设置有第一过滤层,中方所述多孔放置台的内部设置有第二过滤层,上方所述多孔放置台的内部设置有第三过滤层。
[0011]优选的,上方所述多孔放置台的顶部安装有矩形格板,所述矩形格板的外表面固定套接有密封环,所述密封环的外壁与壳体的内壁相接触,所述矩形格板的顶部固定有两个空心块,所述水泵的输出端安装有第三出水管,所述壳体的内壁正表面和内壁后表面均固定有限位块,两个所述限位块的内部之间设置有多孔板,所述多孔板的底部与壳体的内壁的底部相接触。
[0012]优选的,所述梯形块的底部斜面固定有四个支撑柱,所述梯形块的正表面安装有控制器,所述控制器分别与两个电机电性连接,所述控制器与水泵电性连接。
[0013]优选的,所述凹型槽的内壁顶部开设有四组安装孔,且每组所述安装孔的数量为两个,所述壳体的正表面开设有两个观察孔,每个所述观察孔的内部均固定有透明玻璃。
[0014]一种单片清洗溅镀治具的装置的使用方法,包括以下步骤:
[0015]S1、当需要对溅镀治具进行清洗时,此时先利用控制器同步启动两个电机,并让启动的两个电机通过转杆、主动齿轮、从动齿轮、四个安装架和两个链条的配合下,让两个滚动毛刷进行相向转动,对溅镀治具表面以及边缘拐弯处的银屑和脏污进行清理掉;
[0016]S2、接着利用外接水管来的水、第一进水管和分流器和喷头的配合,将溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污和滚动毛刷表面银屑、脏污给完全清洗掉,之后通过第一过滤层、第二过滤层和第三过滤层的配合下,将污水中的银屑和脏污给过滤掉;
[0017]S3、在接着利用控制器启动水泵,让启动的水泵通过第二进水管和第三出水管的配合,将壳体内部被过滤后的水重新回到凹型槽的内部,当溅镀治具完成清洗操作后,利用控制器关闭两个电机和水泵即可。
[0018]与现有技术相比,本专利技术的有益效果是:
[0019]1、通过设置清洗机构,可以将溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污清理掉,并可以将溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污和滚动毛刷表面银屑、脏污
给完全去除掉,有效地提高了单片清洗溅镀治具的装置使用效率,在电机的作用下,可以带动与之连接的转杆发生转动,同时通过主动齿轮、链条、一组安装架和从动齿轮的配合下,即可带动所对应的滚动毛刷发生转动,在第二出水管的作用下,可以将清洗完溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污和滚动毛刷表面银屑、脏污的水给凹型槽的内部被导流走;
[0020]2、通过设置过滤机构、支撑柱、控制器、安装孔、观察孔和透明玻璃,可以对清洗溅镀治具表面以及边缘拐弯处堆积的银屑、脏污和滚动毛刷表面银屑、脏污产生的污水给过滤掉,从而实现水循环操作,即进一步地提高了单片清洗溅镀治具的装置使用效率,在水泵、第二进水管和第三出水管的配合下,可以将壳体内部储存的被过滤后的水给吸走,导流到第一进水管的内部,在多孔板和限位块的配合下,可以防止多孔放置台在壳体的内部发生左右前后移动,在第一过滤层、第二过滤层和第三过滤层的配合下,可以将水中混有的银屑和脏污给过滤掉,在控制器的作用下,可以控制水本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单片清洗溅镀治具的装置,其特征在于:包括清洗机构(1),所述清洗机构(1)包括两个挡板(101),两个所述挡板(101)的相对一侧之间安装有梯形块(102),所述梯形块(102)的顶部开设有凹型槽(103),所述凹型槽(103)的内壁顶部安装有两组相对称的安装架(104),且每组安装架(104)的数量为两个,其中一个所述挡板(101)的一侧开设有两个相对称的圆柱孔(105),两个所述圆柱孔(105)的内部均通过轴承转动连接有转杆(118),两个所述转杆(118)的外表面均固定有主动齿轮(106),每组所述安装架(104)之间均转动连接有滚动毛刷(107),每个所述滚动毛刷(107)的一端均安装有从动齿轮(108),其中一个所述挡板(101)的一侧靠近顶部位置开设有进水孔(109),另一个所述挡板(101)的另一侧靠近中间位置开设有高位溢流孔(110),另一个所述挡板(101)的另一侧靠近底部位置开设有排水孔(111),所述凹型槽(103)的内部设置有分流器(119),所述分流器(119)的外壁等距分布固定贯穿有两组弧形管(113),且每组弧形管(113)的数量为若干,每个所述弧形管(113)的输出端均安装有喷头(114),其中一个所述挡板(101)的一侧安装有两个相对称的电机(117)。2.根据权利要求1所述的单片清洗溅镀治具的装置,其特征在于:两组所述安装架(104)的相背一面分别滑动嵌设在凹型槽(103)的内壁正表面和内壁后表面,两个所述主动齿轮(106)的齿牙均通过链条分别与两个从动齿轮(108)的齿牙相啮合,所述分离器(119)的一端滑动嵌设在另一个挡板(101)的一侧,两个所述电机(117)的输出端分别与两个转杆(118)的一端相安装。3.根据权利要求1所述的单片清洗溅镀治具的装置,其特征在于:所述进水孔(109)的内部固定有第一进水管(112),所述第一进水管(112)的输出端与分流器(119)的输入端相连接,所述高位溢流孔(110)的内部固定有第一出水管(115),所述排水孔(111)的内部固定有第二出水管(116)。4.根据权利要求1所述的单片清洗溅镀治具的装置,其特征在于:所述清洗机构(1)的底部设置有过滤机构(2),所述过滤机构(2)包括弧形三通管(201),所述弧形三通管(201)的两个输入端分别与第一出水管(115)的输出端、第二出水管(116)的输出端相连接,所述梯形块(102)的底部安装有壳体(202),所述弧形三通管(201)的输出端固定贯穿壳体(202)的外壁,所述壳体(202)的内壁顶部安装有水泵(203)。5.根据权利要求1所述的单片清洗溅镀治具的装置,其特征在于:所述壳体(202)的一侧靠近底部位置固定贯穿有第二进水管(204),所述第二进水管(204)的输出端与水...

【专利技术属性】
技术研发人员:李凯柯晨帆石佳霖郭雄伟施俊生林土全黄文俊
申请(专利权)人:东晶电子金华有限公司
类型:发明
国别省市:

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