在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构技术

涉及一种在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构，该方法的S1提供了一种多联阀结构，包括共用阀座、设置在共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀。该方法还包括：S2以滴漏切换阀的全通供给模式与滴漏模式的在线切换、S3以阀道约束方式第一次调节该滴漏在线预定义阀,在线预定义滴漏开度、S4基于该在线预定义滴漏开度的对照,在线重定义该滴漏切换阀的滴漏开度、S5以阀道释放方式第二次调节该滴漏在线预定义阀,该滴漏在线预定义阀不再对多联阀有开度约束或是只能缩小定义多联阀的全通供给开度。本方法与对应结构实现了免拆阀免旁通在生产线上阀滴漏开度的调整。通在生产线上阀滴漏开度的调整。通在生产线上阀滴漏开度的调整。

【技术实现步骤摘要】
在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构


[0001]本专利技术涉及滴漏阀的
，尤其是涉及一种在线调整阀滴漏开度的方法与多联阀结构，其中一种具体应用是半导体生产设备的超纯水补水和溢流。

技术介绍

[0002]现有的流体开关阀的主要目的都是在实现可开关的供给流体的功能，在阀关闭时要阻止流体的滴漏，一般正常的改善措施都是为了防止滴漏。但是，近来还有一种被要求反向设计的滴漏阀的市场需求，希望在阀关闭时能进行稳定的流体滴漏、阀开通时能进行大流量的流体补充。具体比如但不是用于限定的市场需求，应用于半导体晶圆单片清洗机的应用，供给机体的流道管路上需要装设滴漏阀，开与关分别用于控制电子超纯水槽的大量补水和溢流。
[0003]应用于自来水管路终端控制的全开与全关的简单应用领域中，技术专利号CN2042140U公开了一种防止流体滴（溢）漏的控制阀，采用双滑阀串联结构，主阀的闭合元件沿阀座直线滑移开启或关闭流体通道，副阀随主阀相应动作，自行调节流量，同时限定主阀芯位置。当流体管路中没有压力时，主阀芯利用其自身力解脱副阀限位，自动关闭流体通道，具有防滴漏和失压保护功能。控制阀的开关是流体开通与流体关闭防止滴漏的两种模式。现有相关技术中，没有考虑到在阀关闭时希望稳定保持在阀滴漏阶段的市场需求。
[0004]应用于花盆浇水的控制滴漏的开与关的简单应用领域中，专利技术专利公开号CN104145787A公开了一种滴漏，包括容器、盖、针体、阀门，盖旋接在容器的出口上，针体包括带有通孔的且固定在盖上的插针、旋接在插针尾部的固定套、固定套内孔设置有止面，插针尾部位于盖内侧，阀门设置在插针尾部与固定套止面间，容器的底部设置有通气孔。现有相关技术中，滴漏结构是利用自然重力的非阀体开关模式，只具有滴漏开启与滴漏关闭两种模式以及在滴漏开启与滴漏关闭之间的可调非稳定的模式。
[0005]在生产线上动态调整阀滴漏与阀大流道供给的切换，容易想得到的是生产机台上各装设一个重力滴漏与一个流体开关阀，进行旁通切换，但是这样结构会有一个滴漏入口与一个大流量流体入口，且占据较大设备空间。如何以一个滴漏阀的结构体进行大流量流体供给与滴漏开启的快速切换以及在生产线上不停机、免拆阀、免旁通进行阀滴漏开度的稳定调整，是目前遭遇到的技术难关。另外，本领域技术人员容易想得到的技术是对滴漏流量进行时时线上监测，即增加了生产线上的一个监测点，过程需要持续耗电，并且滴漏流通量与大流量流通量的差距值颇大，不利于滴漏流量的微观监测的数值准确化。

技术实现思路

[0006]本专利技术的主要目的一是提供一种在线调整阀滴漏开度的方法，主要进步在于解决了使用大流量切换与滴漏模式切换的多联阀在生产线上不停机、免拆阀、免旁通进行阀滴漏开度的稳定调整的技术问题，不需要时时监测滴漏流量，大流量流通量也不会造成滴漏流量的微观监测的数值准确度。
[0007]本专利技术的主要目的二是提供一种多联阀结构，能够应用于实施在线调整阀滴漏开度的方法。
[0008]本专利技术的主要目的一是通过以下技术方案得以实现的：提出一种在线调整阀滴漏开度的方法，包括以下步骤：S1、提供多联阀结构，所述多联阀结构包括共用阀座、设置在所述共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀之间为流道串连的关系；S2、在所述滴漏在线预定义阀处于阀开通状态下，以所述滴漏切换阀的开启与关闭方式，实现所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换，所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第一在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；S3、在所述滴漏切换阀开启阶段或关闭阶段下，第一次调节所述滴漏在线预定义阀，以所述滴漏在线预定义阀的开度在线重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时，所述第二在线滴漏开度小于所述第一在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于开启阶段时，所述第二在线滴漏开度大于或小于所述第一在线滴漏开度；S4、在所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度处于所述第二在线滴漏开度的状态，调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，所述滴漏切换阀调整后的关闭阶段具有第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值；S5、第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度，使处于接近或大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第三在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度。
[0009]此一基础方法实施例的实施原理为，利用S2以滴漏切换阀的全通供给模式与滴漏模式的在线切换、S3以阀道约束方式第一次调节该滴漏在线预定义阀,在线预定义滴漏开度、S4基于该在线预定义滴漏开度的对照,在线重定义该滴漏切换阀的滴漏开度、S5以阀道释放方式第二次调节该滴漏在线预定义阀,该滴漏在线预定义阀不再对多联阀有开度约束或是只能缩小定义多联阀的全通供给开度,本方法实现了免拆阀免旁通在生产线上阀滴漏开度的调整。
[0010]本专利技术在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，所述滴漏在线预定义阀的第二次调节状态提供所述多联阀结构的第二在线全通供给开度，所述第二在线全通供给开度小于由所述滴漏切换阀开启提供的所述第一在线全通供给开度。
[0011]通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，第二在线全通供给开度，作为该多联阀的开启开度，以修正并取代所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，故所述滴漏在线预定义阀除了具有在线预定义滴漏开度的作用，还具有缩小化重定义该多联阀的全通供给开度的功能。
[0012]本专利技术在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，由所述滴漏切换阀的开关切换分别在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度。
[0013]通过采用上述方法的优选技术特点，利用步骤S5中所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，使得所述滴漏切换阀的开关切换过程中，所述滴漏在线预定义阀不影响由所述滴漏切换阀在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度的切换，所述滴漏在线预定义阀而能有更好的耐用度。
[0014]本专利技术在较佳示例中可以进一步配置为：在步骤S4中，所述多联阀结构处于由所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度至由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第三在线滴漏开度的滴漏模拟变化；在步骤S3中，当在所述滴漏切换阀处于关闭阶段，所述多联阀结构处于处于由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第一在线滴漏开度至所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度的滴漏调节连续变化；或者，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，包括：S1、提供多联阀结构，所述多联阀结构包括共用阀座、设置在所述共用阀座上的滴漏切换阀与滴漏在线预定义阀，所述滴漏切换阀与所述滴漏在线预定义阀之间为流道串连的关系；S2、在所述滴漏在线预定义阀处于阀开通状态下，以所述滴漏切换阀的开启与关闭方式，实现所述多联阀结构的全通供给模式与滴漏模式的在线切换，所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第一在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；S3、在所述滴漏切换阀开启阶段或关闭阶段下，第一次调节所述滴漏在线预定义阀，以所述滴漏在线预定义阀的开度在线重新定义出所述多联阀结构的第二在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于关闭阶段时，所述第二在线滴漏开度小于所述第一在线滴漏开度；在所述滴漏切换阀处于开启阶段时，所述第二在线滴漏开度大于或小于所述第一在线滴漏开度；S4、在所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度处于所述第二在线滴漏开度的状态，调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，使所述滴漏切换阀调整后的关闭阶段具有第三在线滴漏开度，所述第三在线滴漏开度与所述第二在线滴漏开度的差值小于所述第三在线滴漏开度与所述第一在线滴漏开度的差值；S5、第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度，使处于接近或大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度；所述滴漏切换阀的关闭阶段提供所述多联阀结构的第三在线滴漏开度，所述滴漏切换阀的开启阶段提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度。2.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度处于接近且小于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，所述滴漏在线预定义阀的第二次调节状态提供所述多联阀结构的第二在线全通供给开度，所述第二在线全通供给开度小于由所述滴漏切换阀开启提供的所述第一在线全通供给开度。3.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S5中，当第二次调节所述滴漏在线预定义阀的调节开度大于所述多联阀结构的第一在线全通供给开度，由所述滴漏切换阀的开关切换分别在线提供所述多联阀结构的第一在线全通供给开度与第三在线滴漏开度。4.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S4中，所述多联阀结构处于由所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度至由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第三在线滴漏开度的滴漏模拟变化；在步骤S3中，当在所述滴漏切换阀处于关闭阶段，所述多联阀结构处于处于由所述滴漏切换阀的关闭在线提供的第一在线滴漏开度至所述滴漏在线预定义阀的开度在线提供的所述第二在线滴漏开度的滴漏调节连续变化；或者，所述多联阀结构不受所述滴漏切换阀的开启在线提供的第一在线全通供给开度的影响，预先调节所述滴漏在线预定义阀的开度在线模拟所述第一在线滴漏开度,待所述滴漏切换阀切换到开启阶段，再调节所述滴漏在线预定义阀的开度至所述第二在线滴漏开度的滴漏连续调节变化。5.根据权利要求1所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S4中，以设
置在所述滴漏切换阀的阀体上的滴漏调整件来调整所述滴漏切换阀的关闭阶段，所述滴漏调整件具有能垫高所述滴漏切换阀的切换阀杆下限移动的厚度或相对于切换阀杆的高度位置。6.根据权利要求5所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，在步骤S1中，所述滴漏在线预定义阀具有调节旋帽；在步骤S4中，所述滴漏在线预定义阀的第一次调节开度对应指向所述调节旋帽的调节刻度，由所述调节旋帽的调节刻度确定所述滴漏调整件的厚度尺寸或是所述滴漏调整件相对于切换阀杆的高度位置。7.根据权利要求6所述的在线调整阀滴漏开度的方法，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张婕，文超阳，陶峰，
申请(专利权)人：科讯工业制造深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：