一种低成本的硅片吸盘单元结构制造技术

本申请涉及太阳能硅片加工技术领域，尤其是一种低成本的硅片吸盘单元结构。一种低成本的硅片吸盘单元结构，包括吸盘底座和吸盘片体，所述吸盘片体包括吸嘴组件，所述吸嘴组件包括陶瓷吸嘴和连接于陶瓷吸嘴的吸管组件，所述吸管组件一端连通于陶瓷吸嘴，另一端连通于吸盘底座；所述吸管组件包括吸管主体、吸管胶封接头和螺纹连接头，吸管主体一端的吸管胶封接头胶接且密封连通于陶瓷吸嘴，所述吸管主体另一端连接螺纹连接头，螺纹连接头与吸盘底座密封且螺纹连通。本申请所制备的硅片吸盘单元片成本相对较低且也便于批量化加工生产。片成本相对较低且也便于批量化加工生产。片成本相对较低且也便于批量化加工生产。

【技术实现步骤摘要】
一种低成本的硅片吸盘单元结构


[0001]本申请涉及太阳能硅片加工
，尤其是涉及一种低成本的硅片吸盘单元结构。

技术介绍

[0002]在太阳能硅片的生产加工过程中，会涉及到PECVD镀膜工段，PECVD镀膜工段对太阳能硅片电池有着较大的影响，经过PECVD镀膜工段处理后太阳能硅片电池的太阳能转化率有所提高改善。
[0003]在PECVD镀膜工序加工过程中，需要用到石墨舟。石墨舟作为硅片加工载体可把需要定位或定型的原材料和零部件一起放于其石墨舟中对转运的硅片进行高温烧结成型。具体工作原理如下：将未镀膜的硅片通过硅片批量吸取装置放在石墨舟片的卡点上，每个石墨舟片上可放固定数量的硅片，然后将石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备的墙体内，采用PECVD工艺进行放电镀膜，镀膜结束后，取出石墨舟，通过硅片批量吸取装置将硅片从石墨舟上卸取下来。
[0004]现有技术中石墨舟硅片批量吸取装置包括硅片吸盘和吸盘紧固基座，硅片吸盘设置于吸盘紧固基座。参考图1和图2，硅片吸盘中包括吸盘底座1和吸盘片体10，吸盘片体10包括吸嘴组件100，所述吸嘴组件100包括陶瓷吸嘴2和连接于陶瓷吸嘴2的吸管组件3，陶瓷吸嘴2需要机加工形成有螺纹连接孔，成本在3.8
‑
4.0元/件；吸管组件3一端连通于陶瓷吸嘴2，另一端连通于吸盘底座1。其中，吸管组件3包括吸管主体31和两个吸管螺纹接头32，所采用的吸管螺纹接头主要采用的SMC的M3吸管螺纹接头，吸管主体31一端的吸管螺纹接头螺纹密封连接于陶瓷吸嘴2的螺纹连接孔，吸管主体31另一端的吸管螺纹接头螺纹密封连接于吸盘底座1顶部开设的螺纹连接孔。
[0005]目前，现有技术中的陶瓷吸嘴需要机加工形成螺纹连接孔且吸管螺纹接头的采购价格相对较贵，为了避免划伤硅片需对采购对吸管螺纹接头中的紧固螺帽进行二次加工缩小尺寸以满足客户需求。综上所述，硅片吸盘单元结构的整体生产成本较高。为此，本申请提供一种低成本的硅片吸盘单元结构。

技术实现思路

[0006]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种低成本的硅片吸盘单元结构。
[0007]本申请提供的一种低成本的硅片吸盘单元结构，是通过以下方案得以实现：
[0008]一种低成本的硅片吸盘单元结构，包括吸盘底座和吸盘片体，所述吸盘片体包括吸嘴组件，所述吸嘴组件包括陶瓷吸嘴和连接于陶瓷吸嘴的吸管组件，所述吸管组件一端连通于陶瓷吸嘴，另一端连通于吸盘底座；所述吸管组件包括吸管主体、吸管胶封接头和螺纹连接头，吸管主体一端的吸管胶封接头胶接且密封连通于陶瓷吸嘴，所述吸管主体另一端连接螺纹连接头，螺纹连接头与吸盘底座密封且螺纹连通。
[0009]本申请中采用胶接方式实现陶瓷吸嘴与吸盘底座、吸管主体的密封连通，无需再
对陶瓷吸嘴进行机加工形成螺纹连接孔，也无需要对吸管螺纹接头中的紧固螺帽进行二次加工缩小尺寸，即无需紧固螺帽采用常规的垫片即可。以硅片吸盘单元结构为例，可缩减10
‑
12元的生产成本。以常规石墨舟硅片批量吸取装置为例，包含的硅片吸盘单元结构数量在25
‑
32片，则缩减成本在250
‑
384元。综上所述，本申请所制备的硅片吸盘单元片成本相对较低，便于降低整体石墨舟硅片批量吸取装置的生产成本，提升企业竞争力且便于批量化加工生产。
[0010]优选的，所述陶瓷吸嘴一体形成有第一通孔；所述第一通孔的直径比吸管胶封接头的外径大0.01
‑
0.50mm。
[0011]通过采用上述技术方案，可保证陶瓷吸嘴与吸管组件的连接稳定性。
[0012]优选的，所述吸盘底座顶部形成有气道B；所述气道B与螺纹连接头螺纹连接。
[0013]通过采用上述技术方案，可保证吸管组件与吸盘底座的连接稳定性。
[0014]优选的，所述吸管胶封接头胶接用的胶水为环氧灌封胶、聚氨酯灌封胶、硅橡胶灌封胶中的一种。
[0015]通过采用上述技术方案，可保证吸管组件与吸管组件、吸盘底座的连接稳定性，且便于批量化加工生产。
[0016]优选的，所述吸盘底座内部沿自身长度方向形成有气道A；所述吸盘底座顶部开设的气道B与气道A相连通；所述吸盘底座底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔；所述吸盘底座底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的定位孔组；单个所述定位孔组中至少包含有两个定位孔；定位孔组中的两个定位孔分别位于吸盘底座底面宽度方向的周侧；所述定位孔不与气道A相连通；单个所述定位孔设置有用于校准硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度的调位螺钉。
[0017]通过采用上述技术方案，通过内六角扳手调整调位螺钉，进而可较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率，提升整体的硅片电池的生产效率。
[0018]优选的，所述吸盘片体一体加工形成于吸盘底座，所述吸盘片体和所述吸盘底座均为铝合金材质或者模具钢材质。
[0019]通过采用上述技术方案，可保证吸盘底座和吸盘底座的机械强度，进而保证整体硅片批量吸取装置的机械强度，且所制备的硅片批量吸取装置成本相对较低。
[0020]优选的，所述吸盘片体可拆卸连接于吸盘底座，所述吸盘片体为碳纤维材质且所述吸盘底座为铝合金材质。
[0021]通过采用上述技术方案，进一步保证整体硅片批量吸取装置的机械强度，同时进一步降低硅片批量吸取装置的总质量，降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
[0022]优选的，所述调位螺钉和吸盘紧固基座之间垫衬有钢质垫片。
[0023]通过采用上述技术方案，避免调位螺钉的锥头端对吸盘紧固基座上的接触面造成挤压变形，可提升整体校准精度，提升硅片批量吸取装置的使用寿命。
[0024]优选的，所述吸盘底座开设有至少两个贯穿吸盘底座长度方向侧面的通孔A，所述通孔A可降低吸盘底座的整体质量；所述吸盘片体贯穿上下表面开设有多个通孔B；所述通孔B可降低吸盘片体的整体质量。
[0025]通过采用上述技术方案，可降低硅片批量吸取装置的整体质量，节约资源同时降低与硅片批量吸取装置连接的机器人负重，提升整体操作精度，有利于降低能耗，提升硅片电池的质量。
[0026]优选的，所述吸盘片体沿吸盘片体纵轴方向开设有至少三条吸嘴容纳槽；单个所述吸嘴组件位于单个所述吸嘴容纳槽中；单个所述吸嘴组件与单个所述气道B相连通。
[0027]通过采用上述技术方案，可保证所制备的硅片批量吸取装置硅片吸取质量。
[0028]综上所述，本申请具有以下优点：
[0029]1、本申请所制备的硅片吸盘单元片成本相对较低且便于批量化加工生产。
[0030]2、本申请可通过调位螺钉较为快速校准调整硅片吸盘整体与吸盘紧固基座垂直度，保证硅片吸取质量，降低破片概率。
[0031]3、本申请所制备的硅片批量吸取装置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低成本的硅片吸盘单元结构，包括吸盘底座（1）和吸盘片体（10），所述吸盘片体（10）包括吸嘴组件（100），所述吸嘴组件（100）包括陶瓷吸嘴（2）和连接于陶瓷吸嘴（2）的吸管组件（3），所述吸管组件（3）一端连通于陶瓷吸嘴（2），另一端连通于吸盘底座（1）；其特征在于：所述吸管组件（3）包括吸管主体（31）、吸管胶封接头（33）和吸管螺纹接头（32），所述吸管主体（31）一端的吸管胶封接头（33）胶接且密封连通于陶瓷吸嘴（2），所述吸管主体（31）另一端连接吸管螺纹接头（32），吸管螺纹接头（32）与吸盘底座（1）密封且螺纹连通。2.根据权利要求1所述的一种低成本的硅片吸盘单元结构，其特征在于：所述陶瓷吸嘴（2）一体形成有第一通孔（21）；所述第一通孔（21）的直径比吸管胶封接头（33）的外径大0.01
‑
0.50mm。3.根据权利要求1或2所述的一种低成本的硅片吸盘单元结构，其特征在于：所述吸盘底座（1）顶部形成有气道B（12）；所述气道B（12）与吸管螺纹接头（32）螺纹连接。4.根据权利要求2所述的一种低成本的硅片吸盘单元结构，其特征在于：所述吸管胶封接头（33）胶接用的胶水为环氧灌封胶、聚氨酯灌封胶、硅橡胶灌封胶中的一种。5.根据权利要求3所述的一种低成本的硅片吸盘单元结构，其特征在于：所述吸盘底座（1）内部沿自身长度方向形成有气道A（11）；所述吸盘底座（1）顶部开设的气道B（12）与气道A（11）相连通；所述吸盘底座（1）底部开设用于将硅片吸盘整体固定连接于吸盘紧固基座的安装孔（13）；所述吸盘底座（1）底部至少开设有两排用于调整硅片吸盘整体与...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔剑雷，吕群锋，施鲁鸣，胡丹辉，
申请(专利权)人：嘉兴市耐思威精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：