一种槽沉石墨坩埚制造技术

本实用新型专利技术属于坩埚技术领域，尤其涉及一种槽沉石墨坩埚。其包括：基板、插板、锁扣及碳纸；基板上横纵开设有若干道沟槽；若干插板依次排列插入沟槽中形成围挡一面的侧板，若干侧板合围形成承载空间；若干锁扣跨接于相邻两插板上；碳纸铺设于基板表面及插板内侧。本实用新型专利技术用于解决坩埚容易损坏的问题。通过插板的底部插入基板上的沟槽中，插板的顶部通过锁扣依次连接，插板形成的侧板需要承受卸力，通过锁扣依次连接式的插板能够分散改型过程中释放的力，避免了坩埚容易损坏的问题。避免了坩埚容易损坏的问题。避免了坩埚容易损坏的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种槽沉石墨坩埚


[0001]本技术属于坩埚
，尤其涉及一种槽沉石墨坩埚。

技术介绍

[0002]由于石英玻璃材料生产时目前呈现圆柱体成长，且目前暂无大尺寸棒料生产，故采用槽沉工艺改型。
[0003]石英玻璃改型过程中通常采用坩埚放置，但是，石英玻璃改型过程中，会变为流动状态，此时由于应力及膨胀因素等原因，逐渐冷却过程中，流动的材料由于均匀性不良及应力大都集中在边部，应力释放挤压侧板，此时会把底板及侧板撑坏，导致每个坩埚烧个一两次就会损坏。

技术实现思路

[0004]本申请实施例要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种槽沉石墨坩埚，用于解决坩埚容易损坏的问题。
[0005]本申请实施例解决上述技术问题的技术方案如下：一种槽沉石墨坩埚，其包括：
[0006]基板，所述基板上横纵开设有若干道沟槽；
[0007]若干插板，若干所述插板依次排列插入所述沟槽中形成围挡一面的侧板，若干侧板合围形成承载空间；
[0008]若干锁扣，跨接于相邻两所述插板上；
[0009]碳纸，铺设于所述基板表面及所述插板内侧。
[0010]相较于现有技术，以上技术方案具有如下有益效果：
[0011]插板的底部插入基板上的沟槽中，插板的顶部通过锁扣依次连接，插板形成的侧板需要承受卸力，通过锁扣依次连接式的插板能够分散改型过程中释放的力，避免了坩埚容易损坏的问题，坩埚采用石墨材料相对于其他材质便宜、导热性好且能在真空烧结下承受2000度的高温，另外通过将插板插入不同的若干道横纵开设的沟槽中，能够做成不同尺寸的掩膜基版，铺设的碳纸能够避免了坩埚与石英玻璃的粘连。
[0012]进一步地，所述插板顶部设置有若干插孔，所述锁扣底部设置有与所述插孔匹配的插销。
[0013]进一步地，所述基板及其上所述碳纸上分别均匀间隔设置有若干排气孔。
[0014]进一步地，还包括用于填充于所述沟槽中的石墨垫条。
[0015]进一步地，侧面所述碳纸的底部弯折填充于所述插板与所述沟槽之间，其顶部翻折压接于所述锁扣与所述插板之间。
[0016]进一步地，所述碳纸底部包覆于所述插板底部后，于所述插板外侧弯折堆叠填充于所述插板与所述沟槽之间。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术具体实施例的整体结构示意图。
[0019]图2为图1的俯视结构示意图。
[0020]图3为图1中基板的结构示意图。
[0021]图4为本技术中插板与沟槽的连接示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1、基板；2、沟槽；
[0024]3、插板；4、承载空间；
[0025]5、锁扣；6、插孔；7、插销；
[0026]8、碳纸；
[0027]9、排气孔；
[0028]10、多层结构。
具体实施方式
[0029]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0030]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0031]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。在本技术的描述中，“多个”的含义是两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0033]在本申请中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0034]如图1
‑
4所示，本技术实施例所提供的一种槽沉石墨坩埚，其包括：基板、若干插板、若干锁扣及碳纸。
[0035]基板上横纵开设有若干道沟槽，横纵排布的沟槽围成不同大小的区域，若干所述插板依次排列插入所述沟槽中形成围挡一面的侧板，四面侧板合围形成承载空间，锁扣跨
接于相邻两所述插板上，用于固定连接相邻两插板的上方，拐角处插板同样利用锁扣连接固定。
[0036]碳纸铺设于所述基板表面及所述插板内侧，具体地，碳纸分块铺设固定在基板顶面，四块侧板的内壁面上。
[0037]插板的底部插入基板上的沟槽中，插板的顶部通过锁扣依次连接，插板形成的侧板需要承受卸力，通过锁扣依次连接式的插板能够分散改型过程中释放的力，避免了坩埚容易损坏的问题，坩埚采用石墨材料相对于其他材质便宜、导热性好且能在真空烧结下承受2000度的高温，另外通过将插板插入不同的若干道横纵开设的沟槽中，能够做成不同尺寸的掩膜基版，铺设的碳纸能够避免了坩埚与石英玻璃的粘连。
[0038]具体地，所述插板顶部设置有若干插孔，所述锁扣底部设置有与所述插孔匹配的插销。
[0039]通过锁扣上的插销与插板顶部的插孔匹配，能够将相邻两插板连接起来，同时两插板之间还具有一定的冗余间隙能够提供材料冷却释放应力的空间。
[0040]所述基板及其上所述碳纸上分别均匀间隔设置有若干排气孔。通过设置排气口，减少改型材料流动过程中产生气泡，具体起到将气泡中气体及时排放的作用。
[0041]还包括用于填充于所述沟槽中的石墨垫条。
[0042]石墨垫条用于填充在插板未插入的沟槽中，将沟槽垫平，之后在铺上碳纸，避免承载空间中沟槽对改型材料的成型影响。
[0043]本实施例中，侧面所述碳纸的底部弯折填充于所述插板与所述沟槽之间，即插板底部与沟槽之间垫有碳纸，将碳纸下端压在沟槽中固定住，其顶部翻折压接于所述锁扣与所述插板之间，碳纸的顶部通过锁扣与插板固定，将碳纸固定在插板内侧面上。
[0044]另一方面，铺设在基板上的碳纸，碳纸的四边同样可以压接在插板与沟槽中，将碳纸固定住；由于改型的石英玻璃会软化流动，且不会融成水状，碳纸能够将耐高温，同时还能将材料和坩埚隔离开本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种槽沉石墨坩埚，其特征在于，包括：基板，所述基板上横纵开设有若干道沟槽；若干插板，若干所述插板依次排列插入所述沟槽中形成围挡一面的侧板，若干侧板合围形成承载空间；若干锁扣，跨接于相邻两所述插板上；碳纸，铺设于所述基板表面及所述插板内侧。2.根据权利要求1所述的槽沉石墨坩埚，其特征在于，所述插板顶部设置有若干插孔，所述锁扣底部设置有与所述插孔匹配的插销。3.根据权利要求2所述的槽沉石墨坩埚，其特征在于，所述基板及其...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇，林瑞昆，王正帅，李旭，
申请(专利权)人：扬州神光光学科技有限公司，
类型：新型
国别省市：