一种硅片烘干机和制绒清洗系统技术方案

技术编号:38299785 阅读:16 留言:0更新日期:2023-07-29 00:03
本申请提供了一种硅片烘干机和制绒清洗系统,涉及太阳电池的生产设备领域。硅片烘干机包括转移装置、用于烘干硅片的第一烘干室和第二烘干室,第一烘干室、第二烘干室沿水平方向依次设置,转移装置用于将第一烘干室中的硅片转移至第二烘干室;第一烘干室的顶部设置有若干个用于进风的第一进风口,且第一烘干室的底部设置有用于出风的第一出风口;第二烘干室沿水平方向设置有若干个用于进风的第二进风口,且第二烘干室的底部设置有用于出风的第二出风口。本申请实施例中的硅片烘干机能使得硅片在制绒清洗的过程中容易被烘干,而且硅片的表面也不容易发生氧化。表面也不容易发生氧化。表面也不容易发生氧化。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片烘干机和制绒清洗系统


[0001]本申请涉及太阳电池的生产设备领域,具体而言,涉及一种硅片烘干机和制绒清洗系统。

技术介绍

[0002]在使用硅片制备不同类型的太阳电池的过程中,硅片一般都会经历制绒清洗工序,制绒的目的是去除硅片表面损伤层,在硅片表面形成金字塔,减少反射率,提供一个表面清洁的基底。制绒清洗工序的流程一般为:预清洗

去损伤

SC1碱液前清洗

制绒

SC1碱液后清洗

化学抛光

氢氟酸清洗

慢提拉

烘干。
[0003]以异质结太阳电池的硅片清洗制绒过程为例,在制绒清洗过程中,会先在30℃以下的纯水中进行慢提拉以防止产生PL水印,然后在烘干槽中进行烘干。但是现有技术中,将硅片在烘干槽中进行烘干时,温度太低会导致硅片不能被完全烘干;温度太高,在硅片表面有着大量的液态水的情况下,硅片的表面就容易被氧化,影响钝化效果。

技术实现思路

[0004]本申请实施例提供一种硅片烘干机和制绒清洗系统,使得硅片在制绒清洗的过程中容易被烘干,而且表面也不容易发生氧化。
[0005]第一方面,本申请实施例提供了一种硅片烘干机,其包括转移装置、用于烘干硅片的第一烘干室和第二烘干室,第一烘干室、第二烘干室沿水平方向依次设置,转移装置用于将第一烘干室中的硅片转移至第二烘干室;第一烘干室的顶部设置有若干个用于进风的第一进风口,且第一烘干室的底部设置有用于出风的第一出风口;第二烘干室沿水平方向设置有若干个用于进风的第二进风口,且第二烘干室的底部设置有用于出风的第二出风口。
[0006]在上述实现过程中,沿水平方向依次设置第一烘干室、第二烘干室,当要使用硅片烘干机对硅片进行烘干时,硅片会现在第一烘干室中处理,然后经过转移装置转移至第二烘干室。在第一烘干室的顶部设置有第一进风口,底部设置有第一出风口,因此第一烘干室中,风向是从上往下吹的,一旦硅片以竖起的方式进入第一烘干室,其表面的液体就能在风力和重力的作用下快速地向下流动,即使初始温度较低,第一烘干室也能保证硅片表面的大部分液体被烘干。
[0007]在第二烘干室中,沿水平方向设置有第二进风口,底部设置有第二出风口,因此第二烘干室中,风向是从侧面往下吹的,一旦竖起的硅片进入到第二烘干室中,第二烘干室内的风可以最大程度的和硅片表面接触,这样能保证桂皮表面残余的水分被烘干;而且由于硅片已经在第一烘干室内烘干了大部分水分,此时即使第二烘干室中的温度升高,硅片表面也不容易被氧化。
[0008]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第一烘干室包括第一箱体,第一箱体的顶部设置有若干个用于加热的第一加热装置,所有第一进风口沿水平方向均匀分布于第一箱体的顶部,每个第一加热装置位于相邻的第一进风口之间。
[0009]第一箱体能为硅片提供处理空间,第一箱体中的第一加热装置能保证第一烘干室具有烘干的效果,而且由于第一加热装置是在第一箱体的顶部而且位于第一进风口之间的,因此当风从顶部的第一出风口吹入时,可以更好地将热量传递到硅片上。当硅片烘干机工作时,硅片就可以从进口进入第一烘干室,然后从出口离开第一烘干室,方便后续进入到第二烘干室中。另外,由于第一进风口是沿着水平方向均匀分布在第一箱体的顶部的,因此沿水平方向,第一箱体内的每部分都可以被风吹到,有利于快速烘干第一箱体内的硅片。
[0010]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第一箱体沿水平方向的相对两侧分别设置有用于转移硅片的进口和出口,且出口靠近第二烘干室。
[0011]第一箱体的相对两侧分别设置进口和出口,能保证硅片进入到第一箱体内并从第一箱体中转出。
[0012]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,硅片烘干机还包括用于传输硅片的输送装置,输送装置贯穿第一烘干室且经过进口和出口。
[0013]位于第一烘干室内的输送装置能保证硅片在第一烘干室内传输,提升硅片烘干机的自动化率,从而提升工作效率。
[0014]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,输送装置上还设置有用于装载硅片的花篮,花篮镂空设置。
[0015]花篮能装载和固定硅片,保证硅片以特定的角度进入第一烘干室和第二烘干室,而且花篮镂空设置,第一烘干室和第二烘干室中的风能直接作用于花篮中的硅片,保证硅片的烘干效果。
[0016]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第一出风口的数量与第一进风口的数量相同,且每个第一出风口对应设置于每个第一进风口的正下方。
[0017]第一进风口的数量与第一出风口的数量相同,而且每个第一进风口都是位于每个第一出风口的正上方的设置,能保证第一烘干室内的风是从上往下竖直输送的,这样更有利于快速地烘干硅片。
[0018]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第二烘干室包括第二箱体,所有第二进风口均匀分布于第二箱体的相对两侧,且第二箱体的顶部设置有槽盖,槽盖能封闭或开启第二箱体。
[0019]第二箱体中的第二加热装置能保证第二烘干室具有烘干的效果,而且由于第二进风口是均匀分布于第二箱体的相对两侧的,这样风就能从第二烘干室的侧面流入,从底部流出;第二箱体的顶部设置的槽盖能起到开启和封闭第二箱体的作用,当要放入硅片时,槽盖开启,当要烘干硅片时,槽盖关闭。
[0020]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第二箱体的相对两侧均匀分布有若干个第二加热装置,每侧的第二加热装置上下间隔设置,而且每侧的每个第二加热装置位于相邻的第二进风口之间。
[0021]由于第二加热装置是在第二箱体的相对两侧而且位于相邻的第二进风口之间的,因此当风从侧边的第二出风口吹入时,可以更好地将热量传递到硅片上。
[0022]结合第一方面,本申请可选的实施方式中,第二箱体中设置有至少两个用于装载硅片的花篮,第二出风口位于相邻的花篮之间;或第二出风口沿水平方向均与设置在第二箱体的底部。
[0023]第二箱体中的第二出风口位于相邻的花篮之间,或沿水平方向均匀设置在第二箱体的底部,能保证所有的花篮都可以受到风吹的作用,有利于快速烘干第二箱体中的硅片。
[0024]第二方面,本申请实施例提供了一种制绒清洗系统,其包括清洗槽,以及上述的硅片烘干机,清洗槽位于第一烘干室远离第二烘干室的一侧。
[0025]在硅片烘干前,还可以在清洗槽中对硅片进行清洗制绒,以去除硅片表面损伤层,在硅片表面形成金字塔,减少反射率,为提供一个表面清洁的基底。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0027]图1为本申请实施例提供的一种硅片烘干机的结构示意图。
[本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片烘干机,其特征在于,其包括转移装置、用于烘干硅片的第一烘干室和第二烘干室,所述第一烘干室、所述第二烘干室沿水平方向依次设置,所述转移装置用于将所述第一烘干室中的硅片转移至所述第二烘干室;所述第一烘干室的顶部设置有若干个用于进风的第一进风口,且所述第一烘干室的底部设置有用于出风的第一出风口;所述第二烘干室沿水平方向设置有若干个用于进风的第二进风口,且所述第二烘干室的底部设置有用于出风的第二出风口。2.根据权利要求1所述的硅片烘干机,其特征在于,所述第一烘干室包括第一箱体,所述第一箱体的顶部设置有若干个用于加热的第一加热装置,所有所述第一进风口沿水平方向均匀分布于所述第一箱体的顶部,每个所述第一加热装置位于相邻的所述第一进风口之间。3.根据权利要求2所述的硅片烘干机,其特征在于,所述第一箱体沿水平方向的相对两侧分别设置有用于转移硅片的进口和出口,且所述出口靠近所述第二烘干室。4.根据权利要求3所述的硅片烘干机,其特征在于,其还包括用于传输硅片的输送装置,所述输送装置贯穿所述第一烘干室且经过所述进口和所述出口。5.根据权利要求4所述的硅片烘干机,其...

【专利技术属性】
技术研发人员:孙林
申请(专利权)人:通威太阳能金堂有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1