拆装治具制造技术

本申请涉及半导体制备技术领域，本申请实施例提供了一种拆装治具。上述拆装治具中，拆装治具至少包括插入件和承接件，承接件设于插入件沿纵长方向的一端，插入件能够沿纵长方向伸入加热件与基座之间的间隙内，在插入件的带动下，承接件可以移动至拆装位置。在拆卸紧固件时，位于拆装位置的承接件可以承接拆卸的紧固件。在安装紧固件时，承接件可以移载待安装的紧固件至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件进入安装位置。由此，降低了紧固件掉落腔底的风险，便于拆装紧固件。便于拆装紧固件。便于拆装紧固件。

【技术实现步骤摘要】
拆装治具


[0001]本申请涉及半导体制备
，特别是涉及一种安装治具。

技术介绍

[0002]相关技术中，PVD(Physical Vapour Deposition，物理气相沉积)机台的腔室内设有加热件以对晶圆进行加热。加热件上安装有紧固件，紧固件可以用来将目标件安装于加热件上。紧固件通常是陶瓷件，为消耗品，需要进行定期更换。由于加热件与基座之间的空间狭小，难以将紧固件拆装于加热件上。

技术实现思路

[0003]基于此，有必要提供一种拆装治具，以便于拆装紧固件。
[0004]本申请实施例提供了一种一种拆装治具，用于拆装加热件上的紧固件，所述加热件设于腔室内的基座上，所述加热件与所述基座之间形成有间隙，所述加热件上设有用于与所述紧固件相配合的安装孔，所述安装孔与所述间隙相连通；
[0005]所述拆装治具包括：
[0006]插入件，沿纵长方向延伸设置；及
[0007]承接件，设于所述插入件沿所述纵长方向的一端，用于移载或承接所述紧固件；
[0008]其中，所述插入件配置为能够沿所述纵长方向伸入所述间隙内，并带动所述承接件移动至拆装位置；
[0009]所述承接件处于所述拆装位置，所述安装孔在参考面上的正投影位于所述承接件在所述参考面上的正投影内，所述参考面垂直于所述安装孔的轴线方向。
[0010]在其中一个实施例中，所述承接件包括：
[0011]承载部，连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端；及
[0012]两个限位部，两个所述限位部沿第一方向相对设置且位于所述承载部的第一侧；所述承载部的所述第一侧为所述承载部朝向所述插入件沿所述纵长方向的另一端的一侧，所述第一方向与所述纵长方向相交；
[0013]其中，所述承载部和两个所述限位部限定形成用于对所述紧固件限位的限位空间。
[0014]在其中一个实施例中，两个所述限位部连接于所述承载部的所述第一侧；和/或
[0015]两个所述限位部连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端。
[0016]在其中一个实施例中，所述承载部具有用于承载所述紧固件的承载面；
[0017]所述承载面构造为平面。
[0018]在其中一个实施例中，所述承载面与所述纵长方向彼此垂直；和/或
[0019]所述承载面与所述第一方向彼此平行。
[0020]在其中一个实施例中，所述限位部具有用于限位所述紧固件的限位面；
[0021]所述限位面构造为平面。
[0022]在其中一个实施例中，所述限位面与所述第一方向彼此垂直；和/或
[0023]所述限位面与所述纵长方向彼此平行。
[0024]在其中一个实施例中，所述插入件具有设于所述纵长方向一侧的第一表面，所述承接件位于所述第一表面；
[0025]所述第一表面上设有凹部，所述凹部具有沿所述纵长方向相对设置的起始端和终止端，所述起始端连接所述承接件，所述终止端贯穿所述插入件沿所述纵长方向的另一端。
[0026]在其中一个实施例中，所述拆装治具还包括设于所述插入件沿所述纵长方向的另一端的握持件。
[0027]在其中一个实施例中，所述握持件与所述承接件分别位于所述插入件沿所述纵长方向的两侧。
[0028]上述拆装治具中，拆装治具至少包括插入件和承接件，承接件设于插入件沿纵长方向的一端，插入件能够沿纵长方向伸入加热件与基座之间的间隙内，在插入件的带动下，承接件可以移动至拆装位置。在拆卸紧固件时，位于拆装位置的承接件可以承接拆卸的紧固件。在安装紧固件时，承接件可以移载待安装的紧固件至拆装位置，再借助辅助工具移动紧固件进入安装位置。由此，降低了紧固件掉落腔底的风险，便于拆装紧固件。
[0029]本申请实施例的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请实施例的实践了解到。
附图说明
[0030]通过阅读对下文实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在全部附图中，用相同的附图标号表示相同的部件。
[0031]在附图中：
[0032]图1为本申请一实施例中加热件的结构示意图；
[0033]图2为本申请一实施例中加热件与基座配合的结构示意图；
[0034]图3为本申请一实施例中加热件上紧固件和卡接件的装配结构示意图；
[0035]图4为本申请一实施例中拆装治具的结构示意图；
[0036]图5为图4示意出的拆装治具的剖视结构示意图。
[0037]具体实施方式中的附图标号如下：
[0038]加热件10，安装部11，安装槽11a，卡接件x，安装件z，紧固件j，安装工具t，开口k；
[0039]基座20；
[0040]拆装治具100，插入件110，第一表面s1，凹部111，起始端111a，终止端111b，承接件112，承载部112a，承载面m1，第一侧c1，限位部112b，限位面m2，握持件113；
[0041]间隙g；
[0042]纵长方向F1，第一方向F2。
具体实施方式
[0043]为使本申请的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本申请实施例的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理
解本申请实施例。应当理解，此处描述的具体实施例仅仅用以解释本申请，并不用于限定本申请。本申请实施例能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此，本申请实施例不受下面公开的具体实施例的限制。
[0044]可以理解，本申请所使用的术语“第一”、“第二”等可在本文中用于描述各种专业名词，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。但除非特别说明，这些专业名词不受这些术语限制。这些术语仅用于将一个专业名词与另一个专业名词区分。在本申请实施例的描述中，“多个”、“若干”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0045]在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请实施例中的具体含义。
[0046]在本申请实施例的描述中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拆装治具，用于拆装加热件上的紧固件，其特征在于，所述加热件设于腔室内的基座上，所述加热件与所述基座之间形成有间隙，所述加热件上设有用于与所述紧固件相配合的安装孔，所述安装孔与所述间隙相连通；所述拆装治具包括：插入件，沿纵长方向延伸设置；及承接件，设于所述插入件沿所述纵长方向的一端，用于移载或承接所述紧固件；其中，所述插入件配置为能够沿所述纵长方向伸入所述间隙内，并带动所述承接件移动至拆装位置；所述承接件处于所述拆装位置，所述安装孔在参考面上的正投影位于所述承接件在所述参考面上的正投影内，所述参考面垂直于所述安装孔的轴线方向。2.根据权利要求1所述的拆装治具，其特征在于，所述承接件包括：承载部，连接于所述插入件沿所述纵长方向的一端；及两个限位部，两个所述限位部沿第一方向相对设置且位于所述承载部的第一侧；所述承载部的所述第一侧为所述承载部朝向所述插入件沿所述纵长方向的另一端的一侧，所述第一方向与所述纵长方向相交；其中，所述承载部和两个所述限位部限定形成用于对所述紧固件限位的限位空间。3.根据权利要求2所述的拆装治具，其特征在于，两个所述限位部连接于所述承载部的所述第一侧；和/或两个所述限位部连接于所述插入件沿所述纵长方向的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪常刚，
申请(专利权)人：粤芯半导体技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：