舟结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种舟结构，该舟结构包括舟本体和支撑组件，支撑组件成对设置，且设在舟本体相对设置的两侧，每个支撑组件均设有支撑弧面，成对设置的支撑组件的支撑弧面分别止抵于片材的两侧，且与片材线接触。在实际工作过程中，片材的两侧止抵于支撑弧面上，且支撑弧面与片材为线接触，这种接触方式在确保支撑稳定性的情况下，降低支撑组件与片材的接触面积，使得流经片材表面气流更均匀且能覆盖整个片材所需反应的面积，降低了加工过程中片材的边缘出现气流印和舟齿印的几率，从而使得硅片上镀膜或者沉积层厚度更均匀，电池片的方阻值能处于最佳值范围，以提升加工良率。以提升加工良率。以提升加工良率。

【技术实现步骤摘要】
舟结构


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种舟结构。

技术介绍

[0002]半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力并通入工艺气体源的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为石英小舟、石墨舟、小舟或者花篮。
[0003]在现有光伏的设备中，小舟的结构如下图1
‑
图2所示，小舟包括两个端板1和连接于两个端板1之间的多个槽棒2，槽棒2上设有凹槽21，在工作过程中，硅片3需要插入凹槽21中，即现有的小舟通过凹槽21来承放硅片3。
[0004]半导体及泛半导体行业的硅片3加工通常在热场内会通入工艺气体，小舟的原材料通常为石英碳化硅等耐高温耐腐蚀的材料。硅片3承载于槽棒2的凹槽21内，硅片3四周边与凹槽21侧壁接触处通常会出现气流印、舟齿印等问题，给硅片3镀膜或沉积等工艺带来影响，降低了制造良率。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提出一种舟结构，该舟结构与片材的边缘为线接触，降低了加工过程中片材的边缘出现气流印和舟齿印的几率，提升了制造良率。
[0006]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0007]本技术公开了一种舟结构，包括舟本体和支撑组件，所述支撑组件成对设置，且设在所述舟本体相对设置的两侧，每个所述支撑组件均设有支撑弧面，成对设置的所述支撑组件的所述支撑弧面分别止抵于片材的两侧，且与所述片材线接触。
[0008]在一些实施例中，所述支撑组件包括支撑块，且支撑块固定连接于所述舟本体。
[0009]在一些实施例中，所述舟本体上设有安装平面，所述支撑块具有与所述支撑弧面连接的安装面，所述安装面与所述安装平面贴合。
[0010]在一些实施例中，所述舟本体上设有配合槽，所述支撑组件包括偏心轮和轮轴，所述轮轴的两端连接于所述配合槽的两个侧壁，且所述偏心轮安装于所述轮轴。
[0011]在一些具体的实施例中，所述偏心轮上与所述轮轴配合的轴孔在所述偏心轮的周面上形成缺口。
[0012]在一些具体的实施例中，所述支撑组件还包括限位件，所述限位件安装于所述舟本体且用于限位所述偏心轮。
[0013]在一些更具体的实施例中，所述限位件包括限位轴，所述限位轴的两端连接于所述配合槽的两个侧壁，且所述限位轴止抵于所述偏心轮的周面。
[0014]在一些实施例中，所述舟本体包括端板和支撑柱，所述支撑柱成对设置，所述端板连接于所述支撑柱的两端，每个所述支撑柱上均设有沿其高度方向间隔设置的多个支撑组
件。
[0015]在一些实施例中，所述支撑柱上设有把手。
[0016]在一些实施例中，所述端板上设有卡接凸和/或者卡接槽，一个所述舟结构上的卡接凸能够卡接在另一个所述舟结构的卡接槽内。
[0017]本技术的舟结构的有益效果：在实际工作过程中，片材的两侧止抵于支撑弧面上，且支撑弧面与片材为线接触，这种接触方式在确保支撑稳定性的情况下，降低支撑组件与片材的接触面积，使得流经片材表面气流更均匀且能覆盖整个片材所需反应的面积，降低了加工过程中片材的边缘出现气流印和舟齿印的几率，从而使得硅片上镀膜或者沉积层厚度更均匀，电池片的方阻值能处于最佳值范围，以提升加工良率。
[0018]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]图1是现有技术的舟结构的结构示意图；
[0020]图2是图1所示的结构的局部结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例一的舟结构的结构示意图；
[0022]图4是本技术实施例一的舟结构的局部结构示意图；
[0023]图5是本技术实施例一的舟结构的另一方向的结构示意图；
[0024]图6是图5所示的结构的A
‑
A向剖视图；
[0025]图7是图6所示的结构的局部结构示意图；
[0026]图8是本技术实施例二的舟结构的结构示意图；
[0027]图9是本技术实施例二的舟结构的另一方向的结构示意图；
[0028]图10是本技术实施例二的舟结构的局部结构示意图。
[0029]附图标记：
[0030]图1
‑
图2中：
[0031]1、端板；2、槽棒；21、凹槽；3、硅片。
[0032]图3
‑
图10中：
[0033]100、舟本体；110、端板；111、卡接凸；112、卡接槽；120、支撑柱；121、配合槽；122、安装平面；123、把手；
[0034]200、支撑组件；201、支撑弧面；202、安装面；210、偏心轮；211、缺口；220、轮轴；230、限位件；
[0035]300、片材。
具体实施方式
[0036]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0037]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的
方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0038]此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0039]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0040]下面参考图3
‑
图10描述本技术实施例的舟结构的具体结构。
[0041]本技术公开了一种舟结构，如图3及图8所示，本实施例的舟结构包括舟本体100和支撑组件200，支撑组件200成对设置，且设在舟本体100相对设置的两侧，每个支撑组件200均设有支撑弧面201，成对设置的支撑组件200的支撑弧面201分别止抵于片材300的两侧，且与片材300线接触。
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.舟结构，其特征在于，包括舟本体(100)和支撑组件(200)，所述支撑组件(200)成对设置，且设在所述舟本体(100)相对设置的两侧，每个所述支撑组件(200)均设有支撑弧面(201)，成对设置的所述支撑组件(200)的所述支撑弧面(201)分别止抵于片材(300)的两侧，且与所述片材(300)线接触。2.根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述支撑组件(200)包括支撑块，且所述支撑块固定连接于所述舟本体(100)。3.根据权利要求2所述的舟结构，其特征在于，所述舟本体(100)上设有安装平面(122)，所述支撑块具有与所述支撑弧面(201)连接的安装面(202)，所述安装面(202)与所述安装平面(122)贴合。4.根据权利要求1所述的舟结构，其特征在于，所述舟本体(100)上设有配合槽(121)，所述支撑组件(200)包括偏心轮(210)和轮轴(220)，所述轮轴(220)的两端连接于所述配合槽(121)的两个侧壁，且所述偏心轮(210)安装于所述轮轴(220)。5.根据权利要求4所述的舟结构，其特征在于，所述偏心轮(210)上与所述轮轴(220)配合的轴孔在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱太荣，肖阳，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：