本文描述了包括侧储存舱的电子装置处理系统。一个电子装置处理系统具有：侧储存舱，所述侧储存舱具有经配置成接收侧储存容器的第一腔室；具有面板开口的面板；面板经配置成耦接在侧储存容器和设备前端模块之间；在第一腔室中接收的侧储存容器；及排气管道，所述排气管道经配置成耦接至侧储存容器，所述侧储存容器经接收并延伸至第一腔室的外部。器经接收并延伸至第一腔室的外部。器经接收并延伸至第一腔室的外部。
【技术实现步骤摘要】
侧储存舱、设备前端模块及用于处理基板的方法
[0001]本申请是申请日为2018年5月25日、申请号为201880040461.8、专利技术名称为“侧储存舱、设备前端模块及用于处理基板的方法”的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]相关申请
[0003]本申请主张于2017年6月23日所申请且标题为“侧储存舱、设备前端模块及用于处理基板的方法(SIDE STORAGE PODS，EQUIPMENT FRONT END MODULES，AND METHODS FOR PROCESS ING SUBSTRATES)”的美国非临时申请案第15/632,074号的优先权(代理人案号25135/USA)，为了所有目的，所述申请的内容通过引用方式并入本文中。
[0004]本申请与电子装置制造相关；更具体来说，与侧储存舱及用于处理基板的系统及方法相关。
技术介绍
[0005]电子装置制造系统可包括多个处理腔室，所述多个处理腔室被布置成围绕具有传送腔室及一或多个经配置成将基板传送至传送腔室中的装载锁定腔室的主框架外壳。例如，这些系统可采用传送机器人，所述传送机器人可容纳在传送腔室中。传送机器人可为选择性适应关节式机械手臂(SCARA)机器人或类似物，且可适于在各个腔室及一或多个装载锁定腔室之间传送基板。例如，传送机器人可将基板自处理腔室传送至处理腔室、从装载锁定腔室传送至处理腔室，反之亦然。
[0006]半导体部件制造中的基板处理可在多个工具中执行，其中基板在基板载体中的工具(例如，前开式标准舱或FOUP)之间行进。在处理期间将基板暴露于某些环境条件可能会损坏基板。例如，在处理基板期间暴露于湿气可能会在基板上形成酸，这可能会降低在基板上制造的组件的质量或破坏在基板上制造的部件。
[0007]因此，用于在处理期间控制基板的环境条件的改善系统、设备及方法是期望的。
技术实现思路
[0008]在一方面中，提供一种侧储存舱。侧储存舱包括：第一腔室，所述第一腔室经配置成接收侧储存容器；面板，所述面板具有面板第一侧、面板第二侧及在所述面板第一侧和所述面板第二侧之间延伸的面板开口，所述面板第一侧经配置成耦接至所述第一腔室，其中所述面板开口与所述第一腔室相邻，所述面板第二侧经配置成耦接至设备前端模块；侧储存容器，所述侧储存容器在所述第一腔室中接收，所述侧储存容器具有多个垂直间隔开的基板保持件，所述多个垂直间隔开的基板保持件中的每一个经配置成支撑基板；及排气管道，所述排气管道经配置成耦接至所述侧储存容器，所述侧储存容器经接收并延伸至所述第一腔室的外部。
[0009]在另一方面中，提供一种电子装置处理系统。电子装置处理系统包括：设备前端模块，所述设备前端模块包括具有一或多个接口开口的设备前端模块腔室；侧储存舱，所述侧
储存舱具有一或多个腔室，所述一或多个腔室中的每一个经配置成接收侧储存容器，及所述一或多个腔室中的每一个包括：面板开口，所述面板开口位于所述一或多个接口开口的接口开口附近；内门，所述内门具有其中气体流动通过所述接口开口及所述面板开口被启用的开启状态及其中气体流动通过所述接口开口及所述面板开口被禁用的关闭状态；及排气管道，所述排气管道经配置成耦接至在所述一或多个腔室中接收的侧储存容器。
[0010]在又一方面中，提供一种侧储存容器。侧储存容器包括：内部，所述内部经配置成接收一或多个基板；舱开口，其中所述一或多个基板可经由所述舱开口而被接收至所述内部；排气导管，所述排气导管耦接至所述内部；及排气口，所述排气口耦接至所述排气导管；其中所述舱开口经配置成与耦接至所述侧储存容器的面板中的面板开口对齐，及其中内门可在所述面板开口中接收。
[0011]根据本申请的这些及其他实施方式提供了众多其他方面。根据下文实施方式、附加的权利要求书及附图，本申请的实施方式的其他特征及方面将变得更加显而易见。
附图说明
[0012]附图及下文描述内容用于说明目的，且并不必然按比例绘制。附图不意欲以任何方式限制本申请的范围。
[0013]图1示出根据实施方式的包括侧储存舱的电子装置处理系统的示意性俯视图。
[0014]图2A示出根据实施方式的包括耦接到EFEM的侧储存舱的设备前端模块(在下文中称为“EFEM”)的正视图。
[0015]图2B示出根据实施方式的耦接至EFEM的侧储存舱的等轴视图。
[0016]图3A示出根据实施方式的耦接至EFEM的侧储存舱(其中侧储存舱的侧壁被移除)的侧视图。
[0017]图3B示出根据实施方式的耦接至EFEM的侧储存舱(其中侧储存舱的侧壁、顶壁及门被移除)的局部等轴视图。
[0018]图3C示出根据实施方式的经配置成将侧储存容器保持在侧储存舱的腔室内的固定机构的局部等轴视图。
[0019]图4A示出根据实施方式的EFEM与侧储存舱之间的接口的横截面侧视图。
[0020]图4B示出根据实施方式的门与腔室之间的密封件的横截面侧视图。
[0021]图5A示出根据实施方式的平台的俯视平面图，所述平台将侧储存容器保持在侧储存舱的腔室内。
[0022]图5B示出根据实施方式的图5A的平台的侧视图。
[0023]图6示出根据实施方式的排气管道及排气控制装置的示意图。
[0024]图7示出根据实施方式的耦接至EFEM的侧储存舱(其中上部内门处于开启状态而下部内门处于关闭状态)的等轴视图。
具体实施方式
[0025]现在将详细参考在附图中所示出的本申请的示例性实施方式。尽可能地在整个附图中使用相同的元件符号来指示在若干视图中相同或相似的部分。除非另外具体指出，否则本文中所描述的各种实施方式的特征可彼此组合。
[0026]电子装置制造可涉及非常精确的处理，及涉及在各个位置之间快速传输基板。特别地，现有系统可在基板载体和负载锁定之间传送基板，且接着传送至处理腔室中，反之亦然。然而，在处理期间，当基板在等待处理或处理之后可能处于空闲状态时，可能存在一段时间。在这些空闲期间，基板可能暴露于相对高湿度、高氧(O2)水平及/或可能不利地影响基板的其他环境条件。
[0027]根据本申请的一或多个实施方式，提供了经调适以提供改善的基板处理的电子装置处理系统及方法。本文中描述的系统及方法可通过控制基板的环境暴露及(特别是)在耦接至EFEM的侧储存舱内的条件来提供基板处理中的效率及/或处理改善。一或多个侧储存容器经配置成可接收在侧储存舱内及包括在处理周期期间(如，在基板处理之前及/或之后的空闲时段期间)接收基板的基板保持件(例如，架子)。气体可从EFEM流动且流至侧储存容器中，其中所述气体流过基板。因此，基板暴露于EFEM内的气体，所述EFEM可具有某些环境条件(如相对干燥及/或具有相对低的O2水平)。在通过基板之后，气体自侧储存容器排出。
[0028]参照本申请的图1至图7来描述侧储存舱、包括侧储存舱的系统及处理侧储存舱中的基板的方法的示例性实施方式的进一步细节。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种设备前端模块(EFEM)，包括：多个侧壁，所述多个侧壁形成EFEM腔室，所述EFEM腔室被配置为接收来自惰性气体供应的惰性气体，所述多个侧壁包括被配置为附接至面板的面板第二侧的第一侧壁，其中所述面板形成在面板第一侧和所述面板第二侧之间延伸的面板开口，其中所述面板第一侧被配置为附接至侧储存舱；和机器人，所述机器人设置在所述EFEM腔室中，其中所述机器人被配置为将基板从所述EFEM腔室经由所述面板开口传送至所述侧储存舱中，其中排气管道耦接至所述侧储存舱，以将气体从所述侧储存舱排出到所述侧储存舱的外部，其中侧储存容器设置在由所述侧储存舱形成的腔室中，并且其中所述面板第一侧被配置为密封至所述侧储存容器。2.根据权利要求1所述的EFEM，其中所述排气管道耦接至所述侧储存容器。3.根据权利要求2所述的EFEM，其中所述侧储存容器包含垂直堆叠的基板保持件，并且其中所述侧储存容器形成用于接收来自所述EFEM的所述基板的舱开口。4.根据权利要求2所述的EFEM，其中所述侧储存容器被配置为经由所述面板开口接收来自所述EFEM腔室的所述惰性气体，并且其中所述惰性气体的至少一部分将经由所述排气管道从所述侧储存容器排出。5.根据权利要求2所述的EFEM，其中阀耦接至所述排气管道，其中控制器被配置为控制所述惰性气体和所述阀，以控制所述EFEM腔室和所述侧储存容器中的压力，并且其中所述阀被配置为调节来自所述侧储存容器的气流。6.根据权利要求5所述的EFEM，其中所述控制器被配置为根据与所述EFEM腔室相关联的传感器数据来控制所述惰性气体和所述阀。7.一种系统，包括：设备前端模块(EFEM)，所述EFEM包括形成EFEM腔室的多个侧壁，所述EFEM腔室被配置为接收来自惰性气体供应的惰性气体，所述多个侧壁包括第一侧壁；面板，所述面板包括面板第一侧和面板第二侧，所述面板第二侧被配置为附接至所述EFEM的所述第一侧壁，其中所述面板形成在所述面板第一侧和所述面板第二侧之间延伸的面板开口；和侧储存舱，所述侧储存舱被配置为附接至所述面板的所述面板第一侧，以经由所述面板开口接收来自所述EFEM的基板，其中排气管道耦接至所述侧储存舱，以将气体从所述侧储存舱排出到所述侧储存舱的外部，其中侧储存容器设置在由所述侧储存舱形成的腔室中，并且其中所述面板第一侧被配置为密封至所述侧储存容器。8.根据权利要求7所述的系统，其中所述排气管道耦接至所述侧储存容器。9.根据权利要求8所述的系统，其中所述侧储存容器被配置为经由所述面板开口接收来自所述EFEM腔室的所述惰性气体，并且其中所述惰性气体的至少一部分将经由所述排气管道从所述侧储存容器排出。10.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：德文德拉，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：
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