本实用新型专利技术公开了一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,包括依次设置的换热装置和过滤桶,换热装置包括换热壳体,换热壳体内设置换热介质管,换热壳体上分别开设换热进口和换热出口,过滤桶包括呈圆筒状的桶身,桶身的顶部设置过滤进口,桶身的底部设置过滤出口,换热出口与过滤进口通过管道连通,桶身内可拆卸设置若干块由磁性材料制成的过滤网。本实用新型专利技术的目的是提供一种能够更好对切割硅棒的冷却液进行降温作业和过滤作业的装置。液进行降温作业和过滤作业的装置。液进行降温作业和过滤作业的装置。
【技术实现步骤摘要】
一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置
[0001]本技术涉及硅棒切削液循环使用,尤其涉及一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置。
技术介绍
[0002]硅片制成的芯片是有名的“神算子”,有着惊人的运算能力,是现代社会运作的即使。现有的生产硅片的工艺,是将硅棒送入切割机中,由切割机中的金属线不断高速往返转动将硅棒切割呈若干片硅片。在切割过程中,需要向切割位置喷淋冷却液,以达到给硅棒降温以及给切割处润滑的作用,从而保证硅片的生产质量。
[0003]为了节约生产成本,企业通常会循环使用冷却液。但是在切割过程中,会有部分硅棒粉末、硅棒碎片或者断裂的金属线混入冷却液,不经过过滤的冷却液循环使用会影响下一周期硅片的生产质量,为了提高生产质量,企业通常会依次设置过滤装置和降温装置,来对冷却液进行过滤和降温,以方便冷却液的循环使用。
[0004]但是现有的过滤装置和降温装置存在如下问题:1、由于比较细小,即使过滤网的外缘设置密封层,也会存在部分硅棒粉末或者硅棒碎片沿着过滤网的外缘穿越,使其过滤效果不佳;2、由于金属线直径小于过滤网的筛孔,断裂的金属线在特殊姿态下会穿过筛孔;3、降温装置设置在过滤装置后面,当过滤装置不能理想地过滤冷却液时,未能即使过滤的硅棒粉末会在降温装置内沉积并形成硅泥块,硅泥块、硅棒碎片或者金属线会进入循环,影响下一周期硅片的生产质量。
技术实现思路
[0005]技术目的:本技术的目的是提供一种能够更好对切割硅棒的冷却液进行降温作业和过滤作业的装置。
[0006]技术方案:本技术所述的一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,包括依次设置的换热装置和过滤桶,所述换热装置包括换热壳体,所述换热壳体内设置换热介质管,所述换热壳体上分别开设换热进口和换热出口,所述过滤桶包括呈圆筒状的桶身,所述桶身的顶部设置过滤进口,桶身的底部设置过滤出口,所述换热出口与过滤进口通过管道连通,桶身内可拆卸设置若干块由磁性材料制成的过滤网。换热介质(通常是冷水)从换热介质管的一端流入并从另一端流出,从而对切削液进行换热降温。
[0007]进一步地,所述桶身内开设若干个用于放置过滤网的放置槽,所述放置槽的高度大于过滤网的厚度,以便于拆卸和安装过滤网。设置放置槽是尽可能防止硅棒粉末、硅棒碎片沿着过滤网的外缘穿越,尽可能使其只能通过过滤网并被过滤网过滤。
[0008]进一步地,所述桶身由磁性材料制成。桶身由磁性材料制成主要便于工人安装过滤网。
[0009]进一步地,所述过滤网的外缘设置密封层。
[0010]进一步地,所述换热进口设置在换热出口的下方。换热进口设置在换热出口的下
方能够使得切削液更好地换热降温。
[0011]进一步地,所述换热介质管呈直管状或者圆盘管状。
[0012]进一步地,还包括粗滤筒,所述粗滤筒内可拆卸设置粗滤网,所述粗滤筒底部设置粗滤出口,所述粗滤出口与换热进口通过管道连通。粗滤网用于初步过滤颗粒较大的硅棒粉末、硅棒碎片。
[0013]有益效果:本技术与现有技术相比,具有如下优点:1、过滤桶内设置有磁性材料制成的过滤网,能够通过磁性吸附金属线,防止金属线以特殊姿态穿越过滤板;2、通过设置放置槽,增加了硅棒粉末、硅棒碎片沿着过滤网的外缘穿越过滤网的难度,即使有部分硅棒粉末、硅棒碎片穿越也会沉降在放置槽中,在更换过滤网时能够将其清除;3、将过滤桶设置在换热装置后道,先进行降温再进行过滤,既防止长时间过滤高温的冷却液导致过滤网退磁,又能够实现即使换热装置内沉积有硅泥块也会被过滤桶过滤。因此技术能够提供一种能够更好对切割硅棒的冷却液进行降温作业和过滤作业的装置。
附图说明
[0014]图1为第一实施例的立体图。
[0015]图2为第一实施例的剖视图。
[0016]图3为本技术中过滤桶的剖视图。
[0017]图4为第一过滤网的示意图。
[0018]图5为第二实施例的立体图。
[0019]图6为第二实施例的剖视图。
[0020]其中:1、换热装置;11、换热壳体;12、直管换热介质管;13、圆盘换热介质管;2、过滤桶;21、桶身;211、放置槽;22、第一过滤网;23、第二过滤网;24、密封层;3、粗滤筒;31、粗滤网。
具体实施方式
[0021]下面结合附图对本技术的技术方案作进一步说明。
[0022]实施例1
[0023]参见附图1~图4,本技术所示的一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,包括依次设置的换热装置1和过滤桶2,换热装置1包括换热壳体11,换热壳体11内设置直管换热介质管12,换热壳体11上分别开设换热进口和换热出口,换热进口设置在换热出口的下方;过滤桶2包括呈圆筒状的桶身21,桶身21由磁性材料制成,桶身21的顶部设置过滤进口,桶身21的底部设置过滤出口,换热出口与过滤进口通过管道连通,桶身21内开设两道用于放置过滤网的放置槽211,两道放置槽211内分别可拆卸设置磁性材料制成的第一过滤网22和第二过滤网23,放置槽211的高度大于第一过滤网22或第二过滤网23的厚度,第一过滤网22为150目,第二过滤网23为180目,第一过滤网22的外缘和第二过滤网23的外缘均设置有密封层24。
[0024]实施例2
[0025]参见附图3~图5,本技术所示的一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,包括依次设置的粗滤筒3、换热装置1和过滤桶2,粗滤筒3内可拆卸设置150目的粗滤网31,粗滤
筒3底部设置粗滤出口,粗滤出口与换热进口通过管道连通;换热装置1包括换热壳体11,换热壳体11内设置圆盘换热介质管13,换热壳体11上分别开设换热进口和换热出口,换热进口设置在换热出口的下方;过滤桶2包括呈圆筒状的桶身21,桶身21由磁性材料制成,桶身21的顶部设置过滤进口,桶身21的底部设置过滤出口,换热出口与过滤进口通过管道连通,桶身21内开设两道用于放置过滤网的放置槽211,两道放置槽211内分别可拆卸设置磁性材料制成的第一过滤网22和第二过滤网23,放置槽211的高度大于第一过滤网22或第二过滤网23的厚度,第一过滤网22为120目,第二过滤网23为150目,第一过滤网22的外缘和第二过滤网23的外缘均设置有密封层24。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,其特征在于:包括依次设置的换热装置(1)和过滤桶(2),所述换热装置(1)包括换热壳体(11),所述换热壳体(11)内设置换热介质管,所述换热壳体(11)上分别开设换热进口和换热出口,所述过滤桶(2)包括呈圆筒状的桶身(21),所述桶身(21)的顶部设置过滤进口,桶身(21)的底部设置过滤出口,所述换热出口与过滤进口通过管道连通,桶身(21)内可拆卸设置若干块由磁性材料制成的过滤网。2.根据权利要求1所述的一种切割硅棒冷却液的降温过滤装置,其特征在于:所述桶身(21)内开设若干个用于放置过滤网的放置槽(211),所述放置槽(211)的高度大于过滤网的厚度。3.根据权利要求2...
【专利技术属性】
技术研发人员:张祥,
申请(专利权)人:阜宁协鑫光伏科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。