本发明专利技术提供一种能够提高散热性的弹性波装置。本发明专利技术涉及的弹性波装置(10)具备：支承构件(13)，包含支承基板；压电层(14)，设置在支承构件(13)上；以及IDT电极(11)(激励电极)，设置在压电层(14)上。在支承构件(13)设置有空洞部(13c)。空洞部(13c)在俯视下与IDT电极(11)的至少一部分重叠。支承构件(13)具有：开口部(13a)，在压电层(14)侧开口；以及内壁面(13b)，与开口部(13a)连接，且面向空洞部(13c)。还具备：功能膜(15)，设置在内壁面(13b)的至少一部分，在波长为0.2μm以上且1.2μm以下的范围具有电磁波的吸收能力。有电磁波的吸收能力。有电磁波的吸收能力。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】弹性波装置
[0001]本专利技术涉及弹性波装置。
技术介绍
[0002]以往，弹性波装置被广泛用于便携式电话机的滤波器等。在下述的专利文献1公开了利用板波的弹性波装置的一个例子。在该弹性波装置中，在支承体上设置有LiNbO3基板。在支承体设置有贯通孔。在LiNbO3基板中的面对上述贯通孔的部分，在LiNbO3基板设置有IDT(Interdigital Transuducer，叉指换能器)电极。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2013/021948号
技术实现思路
[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在专利文献1记载的弹性波装置中，设置有贯通孔等空洞部，使得在俯视下与IDT电极重叠。在该情况下，LiNbO3基板中的设置有IDT电极的区域不与支承体相接，因此散热性有可能劣化。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够提高散热性的弹性波装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]在本专利技术涉及的弹性波装置的某个广泛的方面中，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，在波长为0.2μm以上且1.2μm以下的范围具有电磁波的吸收能力。
[0011]在本专利技术涉及的弹性波装置的另一个广泛的方面中，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，所述功能膜的辐射率比所述支承构件的所述内壁面的辐射率高。
[0012]在本专利技术涉及的弹性波装置的又一个广泛的方面中，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，所述功能膜包含石墨烯、
碳纳米管或者类金刚石碳。
[0013]专利技术效果
[0014]根据本专利技术涉及的弹性波装置，能够提高散热性。
附图说明
[0015]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0016]图2是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。
[0017]图3是本专利技术的第1实施方式的第1变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0018]图4是本专利技术的第1实施方式的第2变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0019]图5是本专利技术的第1实施方式的第3变形例涉及的弹性波装置的俯视图。
[0020]图6的(a)～图6的(c)是用于说明本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子中的凹部形成工序以及功能膜形成工序的主视剖视图。
[0021]图7的(a)～图7的(c)是用于说明本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子中的功能膜图案化工序、压电基板接合工序以及压电层磨削工序的主视剖视图。
[0022]图8是本专利技术的第2实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0023]图9是本专利技术的第2实施方式的变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0024]图10是本专利技术的第3实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0025]图11是本专利技术的第4实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0026]图12是本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0027]图13的(a)～图13的(e)是用于说明本专利技术的第5实施方式涉及的弹性波装置的制造方法的一个例子的主视剖视图。
[0028]图14是本专利技术的第5实施方式的变形例涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0029]图15是本专利技术的第6实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。
[0030]图16的(a)示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的外观的简图式立体图，图16的(b)是示出压电层上的电极构造的俯视图。
[0031]图17是图16的(a)中的沿着A
‑
A线的部分的剖视图。
[0032]图18的(a)是用于说明在弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图，图18的(b)是用于说明在滤波器装置中的压电膜传播的厚度剪切模式的体波的示意性主视剖视图。
[0033]图19是示出厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
[0034]图20是示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的谐振特性的图。
[0035]图21是示出在将相邻的电极的中心间距离设为p并将压电层的厚度设为d的情况下的d/p和作为谐振器的相对带宽的关系的图。
[0036]图22是利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。
[0037]图23是示出出现了杂散的参考例的弹性波装置的谐振特性的图。
[0038]图24是示出相对带宽和作为杂散的大小的用180度进行了归一化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的图。
[0039]图25是示出d/2p和金属化比MR的关系的图。
[0040]图26是示出使d/p无限接近于0的情况下的相对带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的映射的图。
[0041]图27是用于说明利用兰姆波的弹性波装置的部分切割立体图。
具体实施方式
[0042]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0043]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
[0044]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的弹性波装置的主视剖视图。图2是第1实施方式涉及的弹性波装置的俯视图。另外，图1是沿着图2中的I
‑
I线的剖视图。
[0045]如图1所示，弹性波装置10具有压电性基板12和作为激励电极的IDT电极11。压电性基板12具有支承构件13和压电层14。在本实施方式中，支承构件13仅由支承基板构成。不过，支承构件13例如也可以是包含支承基板以及电介质层的层叠体。在支承构件13设置有空洞部13c。设置有压电层14，使得覆盖支承构件13的空洞部13c。
[0046]压电层14具有第1主面14a以及第2主面14b。第1主面本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种弹性波装置，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，在波长为0.2μm以上且1.2μm以下的范围具有电磁波的吸收能力。2.一种弹性波装置，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，所述功能膜的辐射率比所述支承构件的所述内壁面的辐射率高。3.一种弹性波装置，具备：支承构件，包含支承基板；压电层，设置在所述支承构件上；以及激励电极，设置在所述压电层上，在所述支承构件设置有空洞部，所述空洞部在俯视下与所述激励电极的至少一部分重叠，所述支承构件具有：开口部，在所述压电层侧开口；以及内壁面，与所述开口部连接，且面向所述空洞部，所述弹性波装置还具备：功能膜，设置在所述内壁面的至少一部分，所述功能膜包含石墨烯、碳纳米管或者类金刚石碳。4.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件具有所述支承基板和设置在所述支承基板与所述压电层之间的电介质膜。5.根据权利要求1～3中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述支承构件仅由所述支承基板构成。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的弹性波装置，其中，
所述内壁面具有与所述开口部连接的侧壁面，所述侧壁面包含相对于所述支承构件以及所述压电层层叠的方向倾斜的倾斜部。7.根据权利要求1～6中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述内壁面具有与所述开口部连接的侧壁面，在所述侧壁面设置有凹凸部。8.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述内壁面具有：侧壁面，与所述开口部连接；以及底面，与所述侧壁面连接，且与所述压电层对置。9.根据权利要求1～7中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述空洞部是贯通所述支承构件的贯通孔。10.根据权利要求1～9中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述功能膜覆盖所述内壁面的全部。11.根据权利要求1～10中的任一项所述的弹性波装置，其中，所述激励电极是具有多个电极指的IDT电极。12.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置构成为能够利用板波。13.根据权利要求11所述的弹性波装置，其中，所述弹性波装置构成为能...
【专利技术属性】
技术研发人员：久保新太郎，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：
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