一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座，所述底座的正面固定有五个定位吸盘，所述底座的内部设有用于调节尺寸的调节机构，所述底座的正面设有用于关闭定位吸盘的放开机构，所述调节机构包括固定在底座内部的四个电动推杆，所述电动推杆输出轴的外侧固定有推块，所述推块的左右两侧均固定有滑动连接在底座内部的滑块。该自动调节式晶圆解键合同心校正机构，调节机构通过滑块、橡胶垫、连接块、电动推杆、推块、压力传感器、限位柱、橡胶套筒以及气缸的配合使四个限位柱完成对不同尺寸的晶圆解键合进行固定，同时通过压力传感器使晶圆解键合在与橡胶套筒接触后停止移动，进而避免了晶圆解键合被挤压损坏。进而避免了晶圆解键合被挤压损坏。进而避免了晶圆解键合被挤压损坏。

【技术实现步骤摘要】
一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体为一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构。

技术介绍

[0002]传统的晶圆解键合设备的上料操作主要采用人工操作实现，人工将键合的晶圆放到碳化硅载盘后，需要用手动方式或机械方式对晶圆圆心位置进行同心校准才能进行下一步工艺加工，存在校准难度大、同心度调节精度低等问题，因而设计了能够对同心进行校准的晶圆解键合同心校正机构。
[0003]例中国专利CN216773208U，该技术公开一种晶圆解键合同心校正机构，包括底板、中心吸盘、限位导柱、晶圆限位区域、无痕支撑柱、分散吸盘、针型气缸，所述底板中央设置有中心吸盘，以所述中心吸盘为圆心并围绕所述中心吸盘设置有若干限位导柱，所述限位导柱将底板划分形成晶圆限位区域，在所述晶圆限位区域内设置有若干无痕支撑柱，每个所述限位导柱、无痕支撑柱均独立集成一针型气缸，所述针型气缸镶嵌在底板上，通过上述方式，该技术提供一种晶圆解键合同心校正机构，采用无痕支撑柱保护晶圆，增加限位导柱构建晶圆同心限位区域，改用中心吸盘同心接收载片，在解键合全程保证料件同心度，无需人工干预调节，省时省力效率高。
[0004]上述专利还存在一定的缺陷，上述专利只能对固定尺寸的晶圆解键合进行同心校正，如果有不一样尺寸的晶圆解键合需要进行同心校正时需要制作新的校正装置并针对其尺寸确定好限位杆的距离，从而导致使用成本的增加，同时需要耗费大量的时间。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，具备自动调节同心距离等优点，解决了有不一样尺寸的晶圆解键合需要进行同心校正时需要制作新的校正装置并针对其尺寸确定好限位杆的距离的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座，所述底座的正面固定有五个定位吸盘，所述底座的内部设有用于调节尺寸的调节机构，所述底座的正面设有用于关闭定位吸盘的放开机构；
[0007]所述调节机构包括固定在底座内部的四个电动推杆，所述电动推杆输出轴的外侧固定有推块，所述推块的左右两侧均固定有滑动连接在底座内部的滑块，所述推块的正面固定有滑动连接在底座内部的连接块，所述连接块的正面固定有气缸，所述气缸输出轴的外侧固定有限位柱，所述限位柱的外侧固定有橡胶套筒，所述限位柱靠近定位吸盘的一侧固定有位于橡胶套筒内部的压力传感器，所述底座的内部固定有四个橡胶垫。
[0008]进一步，所述底座的内部开设有供以滑块滑动连接的滑槽，所述底座的正面开设有供以连接块滑动连接的连接槽。
[0009]进一步，所述调节机构以底座的中轴线为对称线左右互相对称，所述底座的内部
开设有供以推块滑动连接的活动槽。
[0010]进一步，所述橡胶套筒靠近定位吸盘的一侧开设有通孔，所述压力传感器位于通孔内部。
[0011]进一步，所述放开机构包括固定在底座正面的第一固定板和第二固定板，所述第一固定板的右侧固定有红外线发射器，所述第二固定板的左侧固定有红外线接收器，所述第二固定板的上表面固定有两个固定块，两个所述固定块相对的一侧之间转动连接有转杆，所述转杆的外侧固定有挡板，两个所述固定块的左侧固定有限位板。
[0012]进一步，所述第一固定板与第二固定板大小相等，所述挡板横截面的形状为L形。
[0013]进一步，两个所述固定块相对的一侧均开设有安装槽，所述安装槽的内部固定有轴承，所述转杆固定在轴承的内部。
[0014]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0015]1、该自动调节式晶圆解键合同心校正机构，在调节机构的作用下通过滑块、橡胶垫、连接块、电动推杆、推块、压力传感器、限位柱、橡胶套筒以及气缸的配合使四个限位柱完成对不同尺寸的晶圆解键合进行固定，同时通过压力传感器使晶圆解键合在与橡胶套筒接触后停止移动，进而避免了晶圆解键合被挤压损坏。
[0016]2、该自动调节式晶圆解键合同心校正机构，在放开机构的作用下通过红外线发射器、第一固定板、挡板、限位板、固定块、转杆、第二固定板以及红外线接收器的配合使工人可以根据需求随时断开对晶圆解键合的固定，从而方便工人随时取出晶圆解键合。
附图说明
[0017]图1为本技术结构示意图；
[0018]图2为本技术调节机构示意图；
[0019]图3为本技术放开机构示意图。
[0020]图中：1调节机构、101滑块、102橡胶垫、103连接块、104电动推杆、105推块、106压力传感器、107限位柱、108橡胶套筒、109气缸、2底座、3放开机构、301红外线发射器、302第一固定板、303挡板、304限位板、305固定块、306转杆、307第二固定板、308红外线接收器、4定位吸盘。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]实施例一：请参阅图1，本实施例中的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座2，底座2的正面固定有五个定位吸盘4，底座2的内部设有用于调节尺寸的调节机构1，底座2的正面设有用于关闭定位吸盘4的放开机构3，文中出现的电器元件均与主控器及电源电连接，主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备，且现有公开的电力连接技术，不在文中赘述。
[0023]实施例二：请参阅图2，在实施例一的基础上，为了自动调节尺寸，本实施例中的调
节机构1包括固定在底座2内部的四个电动推杆104，电动推杆104输出轴的外侧固定有推块105，推块105的左右两侧均固定有滑动连接在底座2内部的滑块101，推块105的正面固定有滑动连接在底座2内部的连接块103，连接块103的正面固定有气缸109，同时启动四个电动推杆104，电动推杆104通过输出轴带动推块105向晶圆解键合靠近，并通过连接块103带动气缸109一起移动，气缸109输出轴的外侧固定有限位柱107，限位柱107的外侧固定有橡胶套筒108，限位柱107靠近定位吸盘4的一侧固定有位于橡胶套筒108内部的压力传感器106，底座2的内部固定有四个橡胶垫102，当限位柱107上的压力传感器106与晶圆解键合接触并受到挤压关闭电动推杆104并启动定位吸盘4固定晶圆解键合。
[0024]本实施例中的，压力传感器106的型号为HBS
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50L，底座2的内部开设有供以滑块101滑动连接的滑槽，底座2的正面开设有供以连接块103滑动连接的连接槽，调节机构1以底座2的中轴线为对称线左右互相对称，底座2的内部开设有供以推块105滑动连接的活动槽，橡胶套筒108靠近定位吸盘4的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，包括底座(2)，其特征在于：所述底座(2)的正面固定有五个定位吸盘(4)，所述底座(2)的内部设有用于调节尺寸的调节机构(1)，所述底座(2)的正面设有用于关闭定位吸盘(4)的放开机构(3)；所述调节机构(1)包括固定在底座(2)内部的四个电动推杆(104)，所述电动推杆(104)输出轴的外侧固定有推块(105)，所述推块(105)的左右两侧均固定有滑动连接在底座(2)内部的滑块(101)，所述推块(105)的正面固定有滑动连接在底座(2)内部的连接块(103)，所述连接块(103)的正面固定有气缸(109)，所述气缸(109)输出轴的外侧固定有限位柱(107)，所述限位柱(107)的外侧固定有橡胶套筒(108)，所述限位柱(107)靠近定位吸盘(4)的一侧固定有位于橡胶套筒(108)内部的压力传感器(106)，所述底座(2)的内部固定有四个橡胶垫(102)。2.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述底座(2)的内部开设有供以滑块(101)滑动连接的滑槽，所述底座(2)的正面开设有供以连接块(103)滑动连接的连接槽。3.根据权利要求1所述的一种自动调节式晶圆解键合同心校正机构，其特征在于：所述调节机构(1)以底座(2)的中轴线为对...

【专利技术属性】
技术研发人员：任凯，何雅彬，许为民，
申请(专利权)人：上海博纳微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：