一种泄漏检测工装制造技术

本实用新型专利技术公开一种泄漏检测工装，属于工装器具技术领域。一种泄漏检测工装，包括工装本体，所述工装本体的一端用于连接待测漏的基座，另一端连通抽真空设备；所述工装本体包括上部连接管、中间连接管和下部锁紧件，所述上部连接管、中间连接管和下部锁紧件之间依次可拆卸连接。本实用新型专利技术能够进行拆装，从而方便安装。安装。安装。

【技术实现步骤摘要】
一种泄漏检测工装


[0001]本技术涉及工装器具
，具体地说，涉及一种泄漏检测工装。

技术介绍

[0002]薄膜晶体管液晶显示器(TFT
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LCD)制造工艺中的镀膜(PECVD)工艺是一种利用化学反应方式，将反应物(气体)生成固态的产物，并沉积在基片表面的薄膜沉积技术，利用了等离子体的活性来促进反应使化学反应能在较低的温度下进行的工艺。
[0003]反应腔室(Process Chamber)控制了在一个玻璃上的化学气相沉积过程的所有工序，而反应腔室(Process Chamber)主要由反应腔盖(Chamber Lid)和反应腔体(Chamber Body)组成。基座(SUSCEPTOR，简称S/S)是反应腔体(Chamber Body)的关键部件之一，其作用为：1、作为平行电容器的下极板；2、作为基板的支撑部件；3、具有加热作用，为反应提供温度条件；4、能上下运动，为反应提供反应间距(Spacing)条件。
[0004]S/S会频繁替换，能持续多久要看每个系统的程序和清洗要求，微粒、电弧击穿、变色的斑点、错误的操作都指示出S/S需要被更换。更换下的S/S会返回供应端进行维修清洗，S/S维修前后必须进行泄漏检测，确保S/S无泄漏，内部密封完好。然而S/S本体除了管部与外部联通外其他部分都是密封的，因此测漏只能通过管部，管部上方会露出很多根加热线等电线，一般现有的一体式的测漏工装不方便安装。

技术实现思路

[0005]1.技术所要解决的技术问题
[0006]针对现有技术中基座泄漏检测用的一体式的测漏工装不方便安装的问题，本技术提供一种泄漏检测工装，能够进行拆装，从而方便安装。
[0007]2.技术方案
[0008]为了实现上述目的，本技术提供一种泄漏检测工装，包括工装本体，所述工装本体的一端用于连接待测漏的基座，另一端连通抽真空设备；所述工装本体包括的上部连接管、中间连接管和下部锁紧件，所述上部连接管、中间连接管和下部锁紧件之间依次可拆卸连接。
[0009]进一步的，所述上部连接管的一端设置有连接孔，另一端与所述中间连接管螺纹连接。
[0010]进一步的，所述连接孔与KF接头连接并通过KF接头与抽真空设备连接。
[0011]进一步的，所述中间连接管与上部连接管连接的一端设置有内螺纹，所述上部连接管的端部对应设置有相匹配的外螺纹；所述中间连接管的端部设置有安装槽，安装槽中安装有第一密封件，当所述上部连接管与中间连接管拧紧时，所述第一密封件将二者连接处密封。
[0012]进一步的，所述中间连接管远离上部连接管的一端与所述下部锁紧件螺纹连接；所述中间连接管与下部锁紧件连接的一端设置有外螺纹，所述下部锁紧件的端部对应设置
有内螺纹，所述中间连接管的端部可旋入下部锁紧件的端部。
[0013]进一步的，所述中间连接管与下部锁紧件连接的端部设置有安装槽，安装槽安装有第二密封件，当工装本体安装在待测漏的基座上时，所述第二密封件将工装本体和基座的连接处密封。
[0014]进一步的，所述中间连接管与下部锁紧件的连接处设置有挡圈，所述挡圈用于支撑第二密封件。
[0015]进一步的，所述中间连接管与下部锁紧件的连接处各自设置有倒角。
[0016]进一步的，所述下部锁紧件的外侧面设置有滚花。
[0017]3.有益效果
[0018]采用本技术提供的技术方案，与已有的公知技术相比，具有如下有益效果：
[0019](1)本技术的一种泄漏检测工装，工装本体将基座与抽真空设备连接从而可以检测基座是否泄漏。工装本体采用分体式的上部连接管、中间连接管和下部锁紧件，并且它们之间依次可拆卸连接，可拆卸的结构使得长度很长的工装本体拆分为多个较短的工装部件结构，在面对基座管部上方会露出很多根加热线等电线的情况时，能够更加方便安装。此外，可拆卸的工装结构也能够对损坏的部件及时替换，不用更换整根工装本体，有利于节约成本。
[0020](2)本技术的一种泄漏检测工装，上部连接管设置的连接孔能够使抽真空设备与工装本体以及基座连通，KF接头是可以应用在真空系统的快拆法兰，能够提高工装本体与抽真空设备的安装效率。上部连接管和中间连接管螺纹连接，一方面能够进行拆卸，另一方面螺纹连接具有良好的密封性，能够防止连接处发生泄漏。上部连接管和中间连接管之间安装第一密封件，能够进一步提高工装本体的密封性。
[0021](3)本技术的一种泄漏检测工装，中间连接件和下部锁紧件之间通过螺纹连接同样能够方便拆卸且提高工装本体的密封性。第二密封件则能够提高工装本体在和基座连接时的密封性能，防止连接部位发生泄漏，避免检测结果误判。挡圈能够起到对第二密封件的支撑作用，从而进一步提高工装本体的密封性。
[0022](4)本技术的一种泄漏检测工装，在中间连接管和下部锁紧件的连接处各自设置倒角，能够便于二者进行对接，提高进一步安装效率。在下部锁紧件的外侧面设置滚花能够增加下部锁紧件的外侧面的摩擦力，有利于对下部锁紧件进行拧紧安装，进一步提高安装效率。
附图说明
[0023]在附图中，尺寸和比例不代表实际产品的尺寸和比例。附图仅仅是说明性的，并且为了清楚起见，省略了某些非必要的元件或特征。
[0024]图1是本技术实施例中的工装本体的整体结构示意图；
[0025]图2是本技术实施例中的上部连接管的结构示意图；
[0026]图3是本技术实施例中的中间连接管的结构示意图；
[0027]图4是本技术实施例中的挡圈的结构示意图；
[0028]图5是本技术实施例中的下部锁紧件的结构示意图；
[0029]图6是本技术实施例中的基座和工装本体的安装结构示意图。
[0030]示意图中的标号说明：
[0031]1、工装本体；101、上部连接管；102、中间连接管；103、挡圈；104、下部锁紧件；105、第一密封件；106、第二密封件；2、基座本体；201、基座体部；202、基座管部；3、连接孔。
具体实施方式
[0032]为进一步了解本技术的内容，结合附图和实施例对本技术作详细描述。这里所描述的仅仅是根据本技术的优选实施方式，本领域技术人员可以在优选实施方式的基础上想到能够实现本技术的其他方式，其他方式同样落入本技术的范围。
[0033]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“中”“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“侧”、“竖直”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0034]实施例
[0035]参照图1
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图5，本实施例提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种泄漏检测工装，其特征在于，包括工装本体(1)，所述工装本体(1)的一端用于连接待测漏的基座，另一端连通抽真空设备；所述工装本体(1)包括上部连接管(101)、中间连接管(102)和下部锁紧件(104)，所述上部连接管(101)、中间连接管(102)和下部锁紧件(104)之间依次可拆卸连接。2.根据权利要求1所述的一种泄漏检测工装，其特征在于，所述上部连接管(101)的一端设置有连接孔(3)，另一端与所述中间连接管(102)螺纹连接。3.根据权利要求2所述的一种泄漏检测工装，其特征在于，所述连接孔(3)与KF接头连接并通过KF接头与抽真空设备连接。4.根据权利要求2所述的一种泄漏检测工装，其特征在于，所述中间连接管(102)与上部连接管(101)连接的一端设置有内螺纹，所述上部连接管(101)的端部对应设置有相匹配的外螺纹；所述中间连接管(102)的端部设置有安装槽，安装槽中安装有第一密封件(105)，当所述上部连接管(101)与中间连接管(102)拧紧时，所述第一密封件(105)将二者连接处密封。5.根据权利要求1所述的一种泄漏检测工装...

【专利技术属性】
技术研发人员：冯卫东，蔡广云，江顺，
申请(专利权)人：合肥微睿科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：