一种用于晶圆的定位夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种用于晶圆的定位夹具，涉及夹具技术领域，旨在解决适用范围小的技术问题。其技术方案要点是：包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。本发明专利技术的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。提供一种用于晶圆的定位夹具。提供一种用于晶圆的定位夹具。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆的定位夹具


[0001]本专利技术涉及夹具
，更具体地说，它涉及一种用于晶圆的定位夹具。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的载体，由于其形状为圆形，故称为圆晶，半导体用晶圆通常根据原材料的不同，分为锗晶圆、砷化镓晶圆、硅晶圆、碳化硅晶圆等；根据不同的工艺步骤，又分为抛光晶圆、外延晶圆，本专利技术的晶圆不限于任何一种。
[0003]在对晶圆的刻蚀、取样检测、清洗、定位等过程中需要使用到夹具以对晶圆起到固定作用，现有的晶圆一般具有6寸、8寸、12寸等规格，晶圆一般较薄、脆，现有的晶圆夹具适用范围小，其需要精确控制定位件的运动距离，如果超过夹持范围导致夹持力过大，容易导致晶圆变形、破损，因此通常只能对一种规格大小的晶圆起到夹持作用，无法满足两种规格晶圆的夹持作用。
[0004]因此亟需一种新的技术方案来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种用于晶圆的定位夹具。
[0006]本专利技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种用于晶圆的定位夹具，包括置料板，所述置料板表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件，所述置料板的表面转动连接有驱动盘，所述驱动盘的表面设置有若干驱动槽，所述定位件表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆，所述驱动杆处于驱动槽的不同位置时，所述定位件的夹距随之改变。
[0007]通过采用上述技术方案，在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。
[0008]本专利技术进一步设置为：所述驱动槽包括位于滑动槽一侧的第一通槽，与连接于第一通槽并位于滑动槽另一侧的第二通槽，所述第一通槽与第二通槽的长度分别对应于两种晶圆规格。
[0009]本专利技术进一步设置为：所述置料板的下方设置有底板，所述底板表面转动连接有转动台，所述置料板固定连接于转动台的表面，所述底板底部安装有第一电机，所述第一电机通过皮带轮与皮带驱动转动台。
[0010]本专利技术进一步设置为：所述驱动盘的底部固定连接有连接轴，所述置料板与转动
台开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下端固定连接有齿轮，还包括用于驱动连接轴的驱动组件，所述驱动组件通过啮合于齿轮以驱动连接轴。
[0011]本专利技术进一步设置为：所述底板的下方设置有工作台，所述驱动组件包括安装于工作台的第二电机与离合器，所述第二电机的转轴套设在离合器内环，所述离合器外环与连接轴上的齿轮啮合连接，所述工作台底部安装升降气缸，用于控制置料板的升降。
[0012]本专利技术进一步设置为：所述定位件包括滑动连接于滑动槽内的滑动部，所述滑动部的表面设置有定位部，所述驱动杆设置于滑动部的表面。
[0013]本专利技术进一步设置为：所述驱动杆可拆卸连接于滑动部的表面。
[0014]本专利技术进一步设置为：所述滑动部的表面开设有螺纹槽，所述驱动杆的底部设置有螺纹连接于螺纹槽内的螺杆。
[0015]本专利技术进一步设置为：所述驱动槽的内壁设置有橡胶垫。
[0016]本专利技术具有以下有益效果：在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件带动驱动盘逆时针转动，使得驱动杆进入到第一通槽内，在驱动盘转动的同时，使得驱动杆相对于第一通槽滑动，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第一通槽的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件带动驱动盘反向转动并复位，同时带动定位件复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件带动驱动盘顺时针转动，使得驱动杆进入到第二通槽，从而带动定位件沿滑动槽朝向置料板的圆心运动，当驱动杆抵接于第二通槽的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。
附图说明
[0017]图1为本实施例的立体结构示意图；
[0018]图2为本实施例的俯视结构示意图；
[0019]图3为图2中A部的局部放大示意图；
[0020]图4为本实施例定位件的爆炸结构示意图。
[0021]附图说明：1、置料板；2、定位件；3、驱动盘；4、齿轮；5、驱动槽；51、第一通槽；52、第二通槽；6、驱动杆；7、底板；8、转动台；9、第一电机；10、皮带轮；11、皮带；12、滑动部；13、定位部；14、螺纹槽；15、螺杆；16、工作台；17、驱动组件；171、离合器；172、第二电机；18、升降气缸。
具体实施方式
[0022]以下结合附图对本专利技术作进一步详细说明。
[0023]其中相同的零部件用相同的附图标记表示。需要说明的是，下面描述中使用的词语“前”、“后”、“左”、“右”、“上”和“下”指的是附图中的方向，词语“底面”和“顶面”、“内”和“外”分别指的是朝向或远离特定部件几何中心的方向。
[0024]如图所示，一种用于晶圆的定位夹具，包括置料板1，置料板1表面沿其直径方向开设有四个滑动槽，滑动槽内滑动连接有定位件2，置料板1的表面转动连接有驱动盘3，还包括有用于控制驱动盘旋转的驱动组件17，驱动盘的表面设置有四个对应于定位件2的驱动槽5，定位件2表面设置有穿设于驱动槽5内的驱动杆6，驱动杆6处于驱动槽5的不同位置时，
定位件2的夹距随之改变。驱动槽5包括位于滑动槽一侧的第一通槽51，与连接于第一通槽51并位于滑动槽另一侧的第二通槽52，第一通槽51与第二通槽52的角度相对于滑动槽呈镜像设置，第一通槽51与第二通槽52的长度分别对应于两种晶圆规格。
[0025]在对晶圆进行定位加工时，将晶圆放置于定位件2的表面，当对8寸晶圆进行定位加工时，通过驱动组件17带动驱动盘3逆时针转动，使得驱动杆6进入到第一通槽51内，在驱动盘3转动的同时，使得驱动杆6相对于第一通槽51滑动，从而带动定位件2沿滑动槽朝向置料板1的圆心运动，当驱动杆6抵接于第一通槽51的端部时，以对8寸晶圆起到定位作用，加工完成后，驱动组件17带动驱动盘3反向转动并复位，同时带动定位件2复位。当对6寸晶圆进行定位加工时，驱动组件17带动驱动盘3顺时针转动，使得驱动杆6进入到第二通槽52，从而带动定位件2沿滑动槽朝向置料板1的圆心运动，当驱动杆6抵接于第二通槽52的端部时，以对6寸晶圆起到定位作用。
[0026]置料板1的下方设置有底板7，底板7表面转动连接有转动台8，置料板1固定连接于转动台8的表面，底板7底部安装有第一电机9，第一电机本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：包括置料板(1)，所述置料板(1)表面沿其直径方向开设有若干滑动槽，所述滑动槽内滑动连接有定位件(2)，所述置料板(1)的表面转动连接有驱动盘(3)，所述驱动盘(3)的表面设置有若干驱动槽(5)，所述定位件(2)表面设置有穿设于驱动槽内的驱动杆(6)，所述驱动杆(6)处于驱动槽(5)的不同位置时，所述定位件(2)的夹距随之改变。2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动槽(5)包括位于滑动槽一侧的第一通槽(51)，与连接于第一通槽(51)并位于滑动槽另一侧的第二通槽(52)，所述第一通槽(51)与第二通槽(52)的长度分别对应于两种晶圆规格。3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述置料板(1)的下方设置有底板(7)，所述底板(7)表面转动连接有转动台(8)，所述置料板(1)固定连接于转动台(8)的表面，所述底板(7)底部安装有第一电机(9)，所述第一电机(9)通过皮带轮(9)与皮带(11)驱动转动台(8)。4.根据权利要求3所述的一种用于晶圆的定位夹具，其特征在于：所述驱动盘(3)的底部固定连接有连接轴，所述置料板(1)与转动台(8)开设有供连接轴穿设并转动连接的通槽，所述连接轴的下...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱琪，肖滋兰，鉏晨涛，陆城燕，
申请(专利权)人：浙江埃纳检测技术有限公司，
类型：发明
国别省市：