本实用新型专利技术公开了一种用于集成电路测试机的增强接触装置，通过两个束紧器分别夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的相对两侧，并通过两个翼缘板的齿纹与锁齿错位程度来以调节两个夹板之间的压力，若存在高保真度测试器接入夹具和测试机箱之间压力不够出现的异常时，可以快速通过缩短两块夹板之间的距离，增加压力，起到快速解决问题，且增加测试中的稳定性，稳定测试良率，提高测试效率。本实用新型专利技术解决了集成电路测试机的高保真度测试器接入夹具与测试机箱接触不良，传统的采用重物加压存在压力大小难以精确控制且稳定性差的问题。题。题。
【技术实现步骤摘要】
用于集成电路测试机的增强接触装置
[0001]本技术涉及芯片检测设备
，具体涉及一种用于集成电路测试机的增强接触装置。
技术介绍
[0002]晶圆测试中有一个重要的前提，就是搭建测试环境。测试环境非常良好的状态下，测试时才可以稳定。然而测试过程中一旦有接触性问题出现，就会衍生出测试问题，不仅影响了测试良率，异常处理还会增加时间，测试效率大大降低。
[0003]在搭建集成电路测试机（如EVA100集成电路测试机，生产厂家为日本Advantest爱德万公司）的测试环境的过程中，经常会出现HIfix（高保真度测试器接入夹具）和sbox（测试机箱）的接触不良。此类接触问题在生产过程中比较难控制。当前条件下，这两个模块主要靠卡锁锁住，无法进行压力的细微调节。当二者出现接触问题后，一般使用重物压在sbox上，进而辅助实现增大接触压力的效果，从而保证测试系统的稳定性。这种做法，一方面不好控制重物的压力大小，另一方面维修及稳定性无法得到保证。
[0004]公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本技术的总体背景的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成已为本领域一般技术人员所公知的现有技术。
技术实现思路
[0005]为克服现有技术所存在的缺陷，现提供一种用于集成电路测试机的增强接触装置，以解决集成电路测试机的高保真度测试器接入夹具与测试机箱接触不良，传统的采用重物加压存在压力大小难以精确控制且稳定性差的问题。
[0006]为实现上述目的，提供一种用于集成电路测试机的增强接触装置，包括相对设置的两组束紧器，所述束紧器包括：
[0007]两块夹板，所述夹板具有相对的第一端和第二端，两块所述夹板的第一端之间形成用于夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的一侧的夹持空间；
[0008]拉结组件，包括两块翼缘板、导向杆和禁锢件，两块所述翼缘板分别连接于两块所述夹板的第二端，两块所述翼缘板错位贴合在一起，一翼缘板的相对侧形成有沿所述夹板的厚度方向设置的防滑齿纹，另一翼缘板的相对侧形成有锁齿，所述锁齿啮合于所述防滑齿纹，一翼缘板的相对侧开设有沿所述夹板的厚度方向设置的导向孔，所述导向杆的滑设于所述导向孔中，所述导向杆的一端连接于另一翼缘板，所述导向杆的另一端伸至一翼缘板的导向孔的外部，所述禁锢件可拆卸地安装于所述导向杆的另一端且压抵于一所述翼缘板的相背侧。
[0009]进一步的，所述导向杆的一端连接于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板，所述导向杆的另一端伸至远离所述夹持空间的另一所述翼缘板的导向孔的外部。
[0010]进一步的，所述锁齿形成于靠近所述夹持空间的一所述翼缘板的相对侧。
[0011]进一步的，所述翼缘板具有相对的第一端和第二端，所述翼缘板的第一端连接于所述夹板的第二端，两所述翼缘板的第二端错位贴合在一起，所述翼缘板的第二端的相对侧形成有所述锁齿，所述锁齿朝向所述翼缘板的第一端倾斜设置。
[0012]进一步的，所述导向杆的另一端形成有外螺纹，所述禁锢件开设有螺纹孔，所述禁锢件螺纹连接于所述导向杆的另一端。
[0013]进一步的，所述翼缘板与所述夹板一体成型。
[0014]本技术的有益效果在于，本技术的用于集成电路测试机的增强接触装置，通过两个束紧器分别夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的相对两侧，并通过两个翼缘板的齿纹与锁齿错位程度来以调节两个夹板之间的压力，若存在高保真度测试器接入夹具和测试机箱之间压力不够出现的异常时，可以快速通过装置调整压力（缩短两块夹板之间的距离，增加压力），起到快速解决问题，且增加测试中的稳定性，稳定测试良率，提高测试效率。
附图说明
[0015]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0016]图1为本技术实施例的用于集成电路测试机的增强接触装置的结构示意图。
[0017]图2为本技术实施例的束紧器的剖视图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关技术，而非对该技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与技术相关的部分。
[0019]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0020]参照图1和图2所示，本技术提供了一种用于集成电路测试机的增强接触装置包括两组束紧器A。两组束紧器A相对设置。
[0021]具体的，每一组包括两块夹板1和拉结组件2。
[0022]其中，每一块夹板1具有相对的第一端和第二端。两块夹板的第一端之间形成有夹持空间a。夹持空间a用于夹持高保真度测试器接入夹具3和测试机箱4的一侧。
[0023]每一个拉结组件2包括两块翼缘板21、导向杆22和禁锢件23。两块翼缘板21分别连接于两块夹板的第二端。两块翼缘板21错位贴合在一起。一块翼缘板21的相对侧形成有防滑齿纹。防滑齿纹沿夹板的厚度方向设置。另一翼缘板21的相对侧形成有锁齿24。锁齿24啮合于防滑齿纹。一块翼缘板21的相对侧开设有导向孔210。导向孔210沿夹板的厚度方向设置。导向杆22的滑设于导向孔210中。导向杆22的一端连接于另一翼缘板21，导向杆22的另一端伸至一块翼缘板21的导向孔210的外部。禁锢件23可拆卸地安装于导向杆22的另一端且压抵于一翼缘板21的相背侧。
[0024]作为一种较佳的实施方式，导向杆22的一端连接于靠近夹持空间a的一翼缘板21，导向杆22的另一端伸至远离夹持空间a的另一翼缘板21的导向孔210的外部。
[0025]在本实施例中，锁齿24形成于靠近夹持空间a的一翼缘板21的相对侧。
[0026]为了更加清楚的说明两块翼缘板，在本实施例中，将靠近夹持空间的一侧的夹板称之为“内翼缘板”，相应的，将远离夹持空间的一侧的另一块夹板称之为“外翼缘板”。
[0027]参阅图1和图2，内翼缘板的外侧形成有防滑齿纹。外翼缘板的内侧形成有锁齿24。同时，外翼缘板开设有导向孔210。相应的，导向杆22的一端则连接于内翼缘板。导向杆22的另一端伸至外翼缘板上的导向孔210的外部。禁锢件23可拆卸地安装于导向杆22的另一端且压抵于外翼缘板的外侧。
[0028]在本实施例中，翼缘板21具有相对的第一端和第二端。翼缘板21的第一端连接于夹板的第二端。两翼缘板21的第二端错位贴合在一起。翼缘板21的第二端的相对侧形成有锁齿24。锁齿24朝向翼缘板21的第一端倾斜设置。
[0029]作为一种较佳的实施方式，导向杆22的另一端形成有外螺纹。禁锢件23开设有螺纹孔。禁锢件23螺纹连接于导向杆22的另一端。
[0030]在本实施例中，翼缘板21与夹板1一体成型。
[0031]在实际使用中，将本技术的用于集成电路测本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，包括相对设置的两组束紧器，所述束紧器包括：两块夹板，所述夹板具有相对的第一端和第二端，两块所述夹板的第一端之间形成用于夹持高保真度测试器接入夹具和测试机箱的一侧的夹持空间；拉结组件，包括两块翼缘板、导向杆和禁锢件，两块所述翼缘板分别连接于两块所述夹板的第二端，两块所述翼缘板错位贴合在一起，一翼缘板的相对侧形成有沿所述夹板的厚度方向设置的防滑齿纹，另一翼缘板的相对侧形成有锁齿，所述锁齿啮合于所述防滑齿纹，一翼缘板的相对侧开设有沿所述夹板的厚度方向设置的导向孔，所述导向杆的滑设于所述导向孔中，所述导向杆的一端连接于另一翼缘板，所述导向杆的另一端伸至一翼缘板的导向孔的外部，所述禁锢件可拆卸地安装于所述导向杆的另一端且压抵于一所述翼缘板的相背侧。2.根据权利要求1所述的用于集成电路测试机的增强接触装置，其特征在于，所述导向杆的...
【专利技术属性】
技术研发人员：张季明，施天雄，郑东来，
申请(专利权)人：江苏嘉兆电子有限公司，
类型：新型
国别省市：
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