本实用新型专利技术揭示了一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框的承载座，所述承载座至少包括框体，所述框体上设有用以将晶圆框限位的限位组件，所述框体的两端设有用以将所述晶圆框固定的固定杆，所述固定杆呈L形，其竖直端与所述框体固接，其水平端上设有两个凸起部；所述承载座的上方设有一固定板，所述固定板上固设有挂钩，所述挂钩可卡接在相应的两个所述凸起部之间。本实用新型专利技术的有益效果主要体现在：设计精巧，下限位杆和上限位杆相互配合可将晶圆框限位，避免移载过程中出现意外掉落或损坏的情况发生，从而提高良品率，另外，该设计便于更换及调整，具有较广的适用性。具有较广的适用性。具有较广的适用性。
【技术实现步骤摘要】
晶圆框抓取移载装置
[0001]本技术涉及半导体器件封装设备领域，具体而言，尤其涉及一种晶圆框抓取移载装置。
技术介绍
[0002]目前，常将晶圆固定在晶圆框架上，晶圆框架提供工作人员或者夹持机构持握的部位，从而在工作人员或者夹持机构移送单片晶圆时，不需要直接接触晶圆而避免对晶圆表面造成磨损；同时，为了避免晶圆在外部空间移动过程中受到物理因素(如与其他物体产生撞击、摩擦等作用)或者化学因素的影响，常将固定有晶圆的晶圆框架存放在晶圆框内。
[0003]如专利公布号CN210913451U公开了一种晶圆物料盒，包括盒体和锁杆；盒体具有存放腔，存放腔的腔壁开设有承托晶圆框架的水平支撑槽；水平支撑槽形成有供晶圆框架进出的进出口；锁杆设置有沿竖直方向排列的水平避让槽和封堵部；锁杆可在其自重下相对盒体下降至其底端伸出盒体的底面的第一位置，锁杆还可相对盒体向上运动至其底端端面与盒体的底面齐平的第二位置；在锁杆位于第一位置时，封堵部正对进出口从而封堵进出口；在锁杆位于第二位置时，水平避让槽正对进出口从而打开进出口。然而，上述将晶圆框进行限位的结构复杂，布局不合理，占用空间大，不利于批量生产。
技术实现思路
[0004]本技术的目的是克服现有技术存在的不足，提供一种晶圆框抓取移载装置。
[0005]本技术的目的通过以下技术方案来实现：
[0006]一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框的承载座，所述承载座至少包括框体，所述框体上设有用以将晶圆框限位的限位组件，所述框体的两端设有用以将所述晶圆框固定的固定杆，所述固定杆呈L形，其竖直端与所述框体固接，其水平端上设有两个凸起部；所述承载座的上方设有一固定板，所述固定板上固设有挂钩，所述挂钩可卡接在相应的两个所述凸起部之间。
[0007]优选的，所述限位组件至少包括设置在所述框体底部的下限位杆，所述下限位杆之间的距离等于位于所述晶圆框底部的脚架之间的距离。
[0008]优选的，所述限位组件还包括设置在所述框体顶部的上限位杆，所述晶圆框的顶端两侧设有延伸边，所述上限位杆之间的距离大于所述晶圆框底部的脚架之间的距离，所述上限位杆之间的距离小于或等于所述延伸边之间的距离。
[0009]优选的，所述固定杆与凸起部一体成型。
[0010]优选的，所述固定杆之间设有加强筋，所述加强筋呈X状，其两端均与相应的所述固定杆固接。
[0011]优选的，所述固定板上设有转轴，所述转轴的一端与驱动电机的电机轴固接，所述转轴上固设有转轴座，所述转轴座固设在所述固定板上。
[0012]本技术的有益效果主要体现在：
[0013]1、设计精巧，下限位杆和上限位杆相互配合可将晶圆框限位，避免移载过程中出现意外掉落或损坏的情况发生，从而提高良品率，另外，该设计便于更换及调整，具有较广的适用性；
[0014]2、加强筋的设置可对固定杆起到稳定作用，避免其出现晃动的情况；
[0015]3、挂钩卡接在凸起部之间可避免在移动过程中出现晃动或窜动的情况，从而提高移载的稳定性，具有较广的适用性。
附图说明
[0016]下面结合附图对本技术技术方案作进一步说明：
[0017]图1：本技术优选实施例的立体图；
[0018]图2：本技术优选实施例的剖视图。
具体实施方式
[0019]以下将结合附图所示的具体实施方式对本技术进行详细描述。但这些实施方式并不限于本技术，本领域的普通技术人员根据这些实施方式所做出的结构、方法、或功能上的变换均包含在本技术的保护范围内。
[0020]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本技术。
[0021]如图1至图2所示，本技术揭示了一种晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框100的承载座1，所述承载座1至少包括框体2，所述框体2的两端设有用以将所述晶圆框100固定的固定杆4，所述固定杆4呈L形，其竖直端41与所述框体2固接，其水平端42上设有两个凸起部43，所述凸起部43与固定杆4一体成型，当然，所述凸起部43与固定杆4亦可为分体式，如将凸起部43螺接在所述固定杆4上，均属于本技术的保护范畴，在此不做过多赘述。
[0022]所述固定杆4之间设有加强筋，所述加强筋呈X状，其两端均与相应的所述固定杆4固接。所述加强筋的设置可对固定杆4起到稳定作用，避免其出现晃动的情况。
[0023]所述承载座1的上方设有一固定板6，所述固定板6上固设有挂钩61，所述挂钩61可卡接在相应的两个所述凸起部43之间。本优选实施例中，挂钩61卡接在所述凸起部43之间可避免在移动过程中出现晃动或窜动的情况，从而提高移载的稳定性，具有较广的适用性。
[0024]所述框体2上设有用以将晶圆框100限位的限位组件5，所述限位组件5至少包括设置在所述框体2底部的下限位杆51，所述下限位杆51之间的距离等于位于所述晶圆框100底部的脚架101之间的距离。所述限位组件5还包括设置在所述框体2顶部的上限位杆52，所述晶圆框100的顶端两侧设有延伸边102，所述上限位杆52之间的距离大于所述晶圆框100底部的脚架101之间的距离，所述上限位杆52之间的距离小于或等于所述延伸边102之间的距离。所述下限位杆51和上限位杆52相互配合可将晶圆框100限位，避免移载过程中出现意外掉落或损坏的情况发生，从而提高良品率，另外，该设计便于更换及调整，具有较广的适用性。
[0025]本优选实施例中，所述固定板6上设有转轴62，所述转轴62的一端与驱动电机63的电机轴固接，所述转轴62上固设有转轴座64，所述转轴座64固设在所述固定板6上。
[0026]应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一
个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施方式中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。
[0027]上文所列出的一系列的详细说明仅仅是针对本技术的可行性实施方式的具体说明，它们并非用以限制本技术的保护范围，凡未脱离本技术技艺精神所作的等效实施方式或变更均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.晶圆框抓取移载装置，包括用以承载晶圆框（100）的承载座（1），其特征在于：所述承载座（1）至少包括框体（2），所述框体（2）上设有用以将晶圆框（100）限位的限位组件（5），所述框体（2）的两端设有用以将所述晶圆框（100）固定的固定杆（4），所述固定杆（4）呈L形，其竖直端（41）与所述框体（2）固接，其水平端（42）上设有两个凸起部（43）；所述承载座（1）的上方设有一固定板（6），所述固定板（6）上固设有挂钩（61），所述挂钩（61）可卡接在相应的两个所述凸起部（43）之间。2.根据权利要求1所述的晶圆框抓取移载装置，其特征在于：所述限位组件（5）至少包括设置在所述框体（2）底部的下限位杆（51），所述下限位杆（51）之间的距离等于位于所述晶圆框（100）底部的脚架（101）之间的距离。3.根据权利要求2所述的晶圆框抓取移载装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：李佳森，张少阳，陈晨，孙博，
申请(专利权)人：苏州芯矽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。