【技术实现步骤摘要】
流体控制装置、流体控制方法及记录介质
[0001]本专利技术涉及流体控制装置、流体控制方法及记录介质。
技术介绍
[0002]以往,如专利文献1所示,在流体控制装置中可以考虑如下的装置:其具备:控制阀,设置在节流部的上游侧;第一压力传感器,设置在节流部的上游侧且控制阀的下游侧;第二压力传感器,设置在节流部的下游侧;流入压力传感器,设置在控制阀的上游侧;以及控制电路,控制控制阀。在该流体控制装置中,在使控制阀完全关闭的状态下,根据由第一压力传感器检测到的上游压力与由第二压力传感器检测到的下游压力达到平衡压力后的由流入压力传感器检测到的流入压力、上游压力或下游压力的时间变化,检测到控制阀的泄出(阀座泄漏)。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献1:日本专利公开公报特开2020
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87164号
[0005]在以往的流体控制装置中如果发生阀座泄漏,则滞留在一次侧(控制阀的上游侧)的气体向二次侧(控制阀的下游侧)流入,作为结果,二次侧的压力变高。具体地说,作为二次侧的压力的上游压力以及下游压力的双方上升。
[0006]在此,在以往的流体控制装置中,利用使用了上游压力的幂与下游压力的幂的差(具体地说,“上游压力的平方
”‑“
下游压力的平方”)的流量计算式,所以由于阀座泄漏造成的上游压力以及下游压力的上升,即使它们的压差相同,上游压力的平方与下游压力的平方的差也变大。其结果,如图4所示,利用上述的流量计算式计算出的流量变大,从而引起零点偏移(shift) ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种流体控制装置,其特征在于,所述流体控制装置具备:流体阻力元件,设置在流道上;上游侧压力传感器,检测所述流体阻力元件的上游侧压力;下游侧压力传感器,检测所述流体阻力元件的下游侧压力;流量计算部,根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力,计算流过所述流道的流量;阀,设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧;以及阀控制部,根据由所述流量计算部计算出的流量,控制所述阀,当所述阀处于完全关闭的状态时,所述流量计算部从在所述阀处于打开状态时使用的第一流量计算式切换为与所述第一流量计算式不同的第二流量计算式,计算所述流量。2.根据权利要求1所述的流体控制装置,其特征在于,当所述阀处于完全关闭的状态时,所述流量计算部从使用了所述上游侧压力的幂与所述下游侧压力的幂的差的所述第一流量计算式切换为使用了所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的第二流量计算式,计算所述流量,在此,幂数大于1。3.根据权利要求1或2所述的流体控制装置,其特征在于,当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于规定的切换阈值时,所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式,计算所述流量。4.根据权利要求3所述的流体控制装置,其特征在于,当用所述第一流量计算式计算出的流量处于稳定状态时,所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式,计算所述流量。5.根据权利要求3或4所述的流体控制装置,其特征在于,当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差小于从所述规定的切换阈值减去滞后而得到的值时,所述流量计算部从所述第一流量计算式切换为所述第二流量计算式,计算所述流量。6.根据权利要求3至5中任意一项所述的流体控制装置,其特征在于,当所述上游侧压力与所述下游侧压力的差成为规定的切换阈值以上时,所述流量计算部从所述第二流量计算式切换为所述第一流量计算式,计算所述流量。7.一种流体控制装置,其特征在于,所述流体控制装置具备:流体阻力元件,设置在流道上;上游侧压力传感器,检测所述流体阻力元件的上游侧压力;下游侧压力传感器,检测所述流体阻力元件的下游侧压力;流量计算部,根据所述上游侧压力以及所述下游侧压力,计算流过所述流道的流量;阀,设置在所述上游侧压力传感器的上游侧或所述下游侧压力传感器的下游侧;以及阀控制部,根据由所述流量计算部计算出的流量,控制所述阀,当所述阀处于完全关闭的状态时,所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差进入一定范围内的状态持续了规定时间,以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。8.根据权利要求7所述的流体控制装置,其特征在于,
当所述阀处于完全关闭的状态时,所述流量计算部检测出所述上游侧压力与所述下游侧压力的差的标准偏差进入一定范围内的状态持续了规定时间,以使所述上游侧压力或所述下游侧压力的一方与另一方一致的方式进行修正。9.根据权利要求7或8所述的流体控制装置,其特征在于,所述流量计算部以使所述下游侧压...
【专利技术属性】
技术研发人员:长井健太郎,松浦和宏,宫田芳树,松本飒太,久森阳介,
申请(专利权)人:株式会社堀场STEC,
类型:发明
国别省市:
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