探针台晶圆固定机构制造技术

本实用新型专利技术提供一种探针台晶圆固定机构，包括载物台，所述载物台设有四条直线轨道。其中，所述载物台底部设有紧固装置，所述紧固装置包括水平驱动机构、转动板、四个移动部件和四个滑块。本实用新型专利技术通过所述水平驱动机构驱动其中一个所述移动部件，该移动部件带动所述转动板旋转，从而使得其余所述移动部件发生滑动，进一步带动所述滑块沿所述直线轨道运动，完成固定晶圆的工作。本实用新型专利技术设计精巧，操作简便，可以使置于探针台上待检测的晶圆位于准确位置，且能避免检测过程中晶圆发生偏移，影响检测结果。除此之外，本装置可适用于固定不同尺寸的晶圆，包容性强，更具实用性。更具实用性。更具实用性。

【技术实现步骤摘要】
探针台晶圆固定机构


[0001]本技术涉及半导体测试设备
，尤其涉及一种探针台晶圆固定机构。

技术介绍

[0002]探针台是半导体行业重要的测试装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。测试人员先把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X
‑
Y移动器件，找到需要探测的位置；接下来测试人员通过旋转探针座上的X
‑
Y
‑
Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精准扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。
[0003]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆。为确保晶圆的质量，在晶圆加工完成后需要将其放到检测装置上，利用探针对其不同部位进行检测。在上述检测过程中，晶圆直接置于工作台上，很容易发生滑动，一方面会影响检测结果，另一方面，晶圆也容易产生损伤。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种探针台晶圆固定机构。
[0005]为实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：一种探针台晶圆固定机构，包括载物台，所述载物台为正方形横板结构，所述载物台设有四条直线轨道，四条所述直线轨道分别由所述载物台的四角向中心开设，四条所述直线轨道互不通连。
[0006]其中，所述载物台底部设有紧固装置，所述紧固装置包括水平驱动机构、转动板、四个移动部件和四个滑块。所述转动板为正方形横板结构，通过转轴连接在所述载物台底部中央；四个所述移动部件分别设于所述转动板的四个直角端，四个所述移动部件的另一端分别穿设于四条所述直线轨道中，顶端分别固定连接一个所述滑块；四个所述滑块均位于所述载物台上侧面，所述滑块设有夹持凹面，所述夹持凹面朝向所述载物台中央；所述水平驱动机构与四个所述移动部件其一电性连接，所述水平驱动机构的施力方向与对应所述直线轨道的方向一致。
[0007]本技术通过所述水平驱动机构驱动其中一个所述移动部件，该移动部件带动所述转动板旋转，从而使得其余所述移动部件发生滑动，进一步带动所述滑块沿所述直线轨道运动，完成固定晶圆的工作。本技术设计精巧，操作简便，可以使置于探针台上待检测的晶圆位于准确位置，且能避免检测过程中晶圆发生偏移，影响检测结果。除此之外，本装置可适用于固定不同尺寸的晶圆，包容性强，更具实用性。
[0008]优选地，所述移动部件包括：“倒T”形移动板和“7”字形连接杆，所述移动板穿设于所述直线轨道中，所述连接杆短边侧外端通过转轴与所述移动板底面转动连接，所述连接杆长边侧外端通过转轴与所述转动板直角处转动连接。
[0009]优选地，所述水平驱动装置包括气缸和推杆，所述气缸的输出端与所述推杆电性连接，所述推杆另一端固定连接在四个所述移动板其中之一的底部。设计精巧，只需通过驱动一个所述移动板，就能实现四个所述移动板的分合运动，节能高效。
[0010]优选地，所述滑块内侧面设有压力传感器，所述压力传感器与所述气缸输入控制端电性连接。通过设置压力阈值，避免待测晶圆受到过度挤压造成损伤。
[0011]优选地，所述滑块为“L”形结构，所述滑块的两条直角边长度相同，增加了固定晶圆时的受力点，减少了晶圆受到的压力损伤。
[0012]优选地，所述滑块内侧面设有缓冲橡胶层，降低工作过程中对晶圆的损伤，保证其质量。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果为：
[0014]1、本技术通过所述水平驱动机构驱动其中一个所述移动部件，该移动部件带动所述转动板旋转，从而使得其余所述移动部件发生滑动，进一步带动所述滑块沿所述直线轨道运动，完成固定晶圆的工作。本技术设计精巧，操作简便，可以使置于探针台上待检测的晶圆位于准确位置，且能避免检测过程中晶圆发生偏移，影响检测结果。除此之外，本装置可适用于固定不同尺寸的晶圆，包容性强，更具实用性。
[0015]2、本技术的所述移动部件包括：“倒T”形移动板和“7”字形连接杆，通过与所述转动板的配合工作，只需通过驱动一个所述移动板，就能实现四个所述移动板的分合运动，节能高效。
附图说明
[0016]图1为本技术实施例1的俯视图；
[0017]图2为本技术实施例1的紧固装置局部示意图；
[0018]图3为本技术实施例1的底部结构示意图；
[0019]图4为本技术实施例1的水平驱动机构示意图；
[0020]标号说明：1、载物台；2、直线轨道；3、水平驱动机构；4、转动板；5、移动部件；6、滑块；7、移动板；8、连接杆；9、气缸；10、推杆。
具体实施方式
[0021]为了使本
的人员更好地理解本申请方案，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分的实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都应当属于本申请保护的范围。
[0022]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0023]实施例1：
[0024]如图1所示，一种探针台晶圆固定机构，包括载物台1，载物台1为正方形横板结构，载物台1设有四条直线轨道2，四条直线轨道2分别由载物台1的四角向中心开设，四条直线轨道2互不通连。
[0025]其中，如图1
‑
4所示，载物台1底部设有紧固装置，紧固装置包括水平驱动机构3、转动板4、四个移动部件5和四个滑块6。转动板4为正方形横板结构，通过转轴连接在载物台1底部中央；四个移动部件5分别设于转动板4的四个直角端，四个移动部件5的另一端分别穿设于四条直线轨道2中，顶端分别固定连接一个滑块6；四个滑块6均位于载物台1上侧面，滑块6设有夹持凹面，夹持凹面朝向载物台1中央；水平驱动机构3与四个移动部件5其一电性连接，水平驱动机构的施力方向与对应直线轨道2的方向一致。
[0026]本技术通过水平驱动机构3驱动其中一个移动部件5，该移动部件5带动转动板4旋转，从而使得其余移动部件5发生滑动，进一步带动滑块6沿直线轨道2运动，完成固定晶圆的工作。本技术设计精巧，操作简便，可以使置于探针台上待检测的晶圆位于准确位置，且能避免检测过程中晶圆发生偏移，影响检测结果。除此之外，本装置可适用于固定不同尺寸的晶圆，包容性强，更具实用性。
[0027]优选地，移动部件5包括：“倒T”形移动板7和“7”字形连接杆8，移动板7穿设于直线轨道2中，连接杆8短边侧外端通过转轴与移动板7底面转动连接，连接杆8长边侧外端通过转轴与转动板4直角处转动连接。
[0028]本实施例在具体实本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种探针台晶圆固定机构，包括载物台，其特征在于：所述载物台为正方形横板结构，所述载物台设有四条直线轨道，四条所述直线轨道分别由所述载物台的四角向中心开设，四条所述直线轨道互不通连；所述载物台底部设有紧固装置，所述紧固装置包括水平驱动机构、转动板、四个移动部件和四个滑块；所述转动板为正方形横板结构，通过转轴连接在所述载物台底部中央；四个所述移动部件分别设于所述转动板的四个直角端，四个所述移动部件的另一端分别穿设于四条所述直线轨道中，顶端分别固定连接一个所述滑块；四个所述滑块均位于所述载物台上侧面，所述滑块设有夹持凹面，所述夹持凹面朝向所述载物台中央；所述水平驱动机构与四个所述移动部件其一电性连接，所述水平驱动机构的施力方向与对应所述直线轨道的方向一致。2.如权利要求1所述的探针台晶圆固定机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩杰，韩明嘉，
申请(专利权)人：泰州星辰智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：