晶圆干燥设备制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆干燥技术领域，尤其涉及晶圆干燥设备，包括：装置本体，所述装置本体上转动设置有放料门，所述放料门的一侧安装有控制器，所述装置本体内固定安装有支撑杆，所述支撑杆上设置有固定块，所述固定块内连接有伸缩杆，所述伸缩杆为电动杆，所述伸缩杆的一侧固定设置有夹片，所述夹片上胶接有软垫，所述装置本体的内壁上内嵌有加热环，所述加热环的外侧设置有喷液器，所述支撑杆的底侧安装有过滤网，本实用新型专利技术，减少了干燥吹风时风向对着晶圆直吹的可能，降低了干燥晶圆时需要的时间，提高了装置对晶圆正反转均能清洗的效果，也提高了清洁后的水集中处理情况。也提高了清洁后的水集中处理情况。也提高了清洁后的水集中处理情况。

【技术实现步骤摘要】
晶圆干燥设备


[0001]本技术涉及晶圆干燥
，尤其涉及晶圆干燥设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，在晶圆制作完成后需要使用专用的液体对其表面进行清洗，清洗完成后需要对其进行干燥，需要一种设备来对晶圆进行干燥。
[0003]目前使的晶圆干燥设备大多为单独的干燥设备，在晶圆清洗完成后需要拿取后在放入干燥，较为麻烦，而且进行干燥时会使用风力直接对着晶圆表面直吹，晶圆上的元件较多，直吹时风力较大可能会将元件吹掉，而且清洗干燥晶圆时大多都是一面清洗完进行干燥，然后翻面在进行清洗干燥耗时较长，为此提出了晶圆干燥设备。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中的问题，而提出的晶圆干燥设备。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆干燥设备，包括装置本体，所述装置本体上转动设置有放料门，所述放料门的一侧安装有控制器，所述装置本体内固定安装有支撑杆，所述支撑杆上设置有固定块，所述固定块内连接有伸缩杆，所述伸缩杆为电动杆，所述伸缩杆的一侧固定设置有夹片，所述夹片上胶接有软垫，所述装置本体的内壁上内嵌有加热环，所述加热环的外侧设置有喷液器，所述支撑杆的底侧安装有过滤网。
[0007]优选的，所述装置本体内侧的顶端固定安装有伸缩气缸，所述伸缩气缸的伸出端上固定有顶块，所述顶块上均连接有所述伸缩杆，所述伸缩气缸与所述控制器呈电性连接，有益于顶块的下降方便晶圆进行翻面。
[0008]优选的，所述顶块与所述固定块的上下位置在同一垂直平面内，所述顶块与固定块上均环形排列安装有多个伸缩杆，且所述伸缩杆的位置均上下相错开，所述伸缩杆与所述控制器呈电性连接，所述顶块与固定块的一侧均开设有风槽，所述风槽开设在所述装置本体的内壁上，有益于在进行晶圆翻面时上下的夹片不会相互之间碰撞，通过风槽可以使风从晶圆的侧面吹过，风力不会有直吹的力度大。
[0009]优选的，所述顶块与所述固定块上均安装有吸盘，所述加热环位于两个所述吸盘之间，且其环形安装在所述装置本体内，所述吸盘均与所述控制器呈电性连接，有益于挤压的固定减少掉落的可能，且通过加热环改变风槽吹出风的温度。
[0010]优选的，所述喷液器为电动伸缩喷液管，所述喷液器安装有两个，分别连接在加热环的两侧，且两个所述喷液器上喷液口的方向均朝向加热环的外侧，有益于可以对晶圆的正反面均能进行清洗。
[0011]优选的，所述装置本体内开设有收集腔，所述过滤网位于所述收集腔的顶端，且其
卡置在所述装置本体内，所述收集腔的底侧连有回收管，所述回收管设置在所述装置本体内，有益于清洁水的简单过滤，方便收集和再次使用。
[0012]本技术的有益效果是：
[0013]本技术可以通过 伸缩杆可以将不同大小的晶圆进行固定，通过喷液器会对其上表面进行清洗，清洗完成后通过风槽会持续出风从侧面不断地增大晶圆表面空气流通速度，通过伸缩气缸可以将晶圆移动并对其下表面进行清洗，通过加热环可以改变装置内的温度，从而使水分干燥得更快。
[0014]本技术，减少了干燥吹风时风向对着晶圆直吹的可能，降低了干燥晶圆时需要的时间，提高了装置对晶圆正反转均能清洗的效果，也提高了清洁后的水集中处理情况。
附图说明
[0015]图1为本技术提出的晶圆干燥设备的结构主视示意图；
[0016]图2为顶块和固定块部分伸缩杆的结构示意图。
[0017]图中：1、装置本体；2、伸缩杆；3、支撑杆；4、过滤网；5、收集腔；6、伸缩气缸；7、夹片；8、加热环；9、喷液器；10、固定块；11、回收管；12、吸盘；13、顶块；14、软垫；15、风槽。
具体实施方式
[0018]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0019]实施例1：
[0020]参照图1
‑
2，晶圆干燥设备，包括装置本体1，装置本体1上转动设置有放料门，放料门的一侧安装有控制器，装置本体1内固定安装有支撑杆3作用于固定块10的支撑，支撑杆3上设置有固定块10，固定块10内连接有伸缩杆2作用于晶圆的夹取，伸缩杆2为电动杆，伸缩杆2的一侧固定设置有夹片7，夹片7上胶接有软垫14防止晶圆夹取时受到损伤，装置本体1的内壁上内嵌有加热环8作用于装置本体1内温度提升加速干燥，加热环8的外侧设置有喷液器9作用于晶圆的清洗，支撑杆3的底侧安装有过滤网4，装置本体1内侧的顶端固定安装有伸缩气缸6，伸缩气缸6地伸出端上固定有顶块13，顶块13上均连接有伸缩杆2，伸缩气缸6与控制器呈电性连接，顶块13与固定块10的上下位置在同一垂直平面内，顶块13与固定块10上均环形排列安装有多个伸缩杆2，且伸缩杆2的位置均上下相错开，伸缩杆2与控制器呈电性连接，顶块13与固定块10的一侧均开设有风槽15作用于加速晶圆表面空气的流通，风槽15开设在装置本体1的内壁上。
[0021]本实施中，顶块13与固定块10上均安装有吸盘12，加热环8位于两个吸盘12之间，且其环形安装在装置本体1内，吸盘12均与控制器呈电性连接，喷液器9为电动伸缩喷液管，喷液器9安装有两个，分别连接在加热环8的两侧，且两个喷液器9上喷液口的方向均朝向加热环8的外侧，装置本体1内开设有收集腔5，过滤网4位于收集腔5的顶端，且其卡置在装置本体1内，收集腔5的底侧连有回收管11，回收管11设置在装置本体1内。
[0022]工作原理：打开放料门，将晶圆放置在吸盘12上，控制吸盘12产生吸力，并且控制伸缩杆2缩回利用夹片7夹取晶圆的外侧，固定完成后喷液器9对伸出，对晶圆上侧进行喷液
清洗，清洗的液体会通过过滤网4掉入收集腔5内由回收管11进行回收，清洗完成后风槽15会出风进行干燥，若干燥较慢时打开加热环8，装置本体1内的温度会上升，风槽15吹的风也会进行升温，水分会干燥得更快，当晶圆的一侧干燥完成后，控制伸缩气缸6伸出，使顶块13上的吸盘12接触晶圆并产生吸力，同时顶块13上的伸缩杆2回缩，固定住晶圆外侧，此时固定块10上的吸盘12和伸缩杆2均松开，伸缩气缸6回缩一侧的喷液器9伸出重复上述操作完成干燥。
[0023]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆干燥设备，其特征在于，包括：装置本体（1），所述装置本体（1）上转动设置有放料门，所述放料门的一侧安装有控制器，所述装置本体（1）内固定安装有支撑杆（3），所述支撑杆（3）上设置有固定块（10），所述固定块（10）内连接有伸缩杆（2），所述伸缩杆（2）为电动杆，所述伸缩杆（2）的一侧固定设置有夹片（7），所述夹片（7）上胶接有软垫（14），所述装置本体（1）的内壁上内嵌有加热环（8），所述加热环（8）的外侧设置有喷液器（9），所述支撑杆（3）的底侧安装有过滤网（4）。2.根据权利要求1所述的晶圆干燥设备，其特征在于，所述装置本体（1）内侧的顶端固定安装有伸缩气缸（6），所述伸缩气缸（6）的伸出端上固定有顶块（13），所述顶块（13）上均连接有所述伸缩杆（2），所述伸缩气缸（6）与所述控制器呈电性连接。3.根据权利要求2所述的晶圆干燥设备，其特征在于，所述顶块（13）与所述固定块（10）的上下位置在同一垂直平面内，所述顶块（13）与固定块（10）上均环形排列安装有多个伸缩杆（2...

【专利技术属性】
技术研发人员：周友来，王敏，
申请(专利权)人：常州力马干燥科技有限公司，
类型：新型
国别省市：