一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法及装置制造方法及图纸

本申请公开了一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法及装置，属于还原炉修复技术领域，其包括如下步骤：首先利用智能识别系统判断该还原炉的内部涂层是否受损，若出现受损，则令中央控制器根据涂层的受损位置、受损面积、受损形状以及受损层数编辑打磨和修复程序。然后智能表面预处理系统根据中央处理器编辑的打磨程序开始对受损位置进行打磨以及除尘和清洗。最后再由智能修复系统根据修复程序对还原炉的内壁进行涂层的逐层修复。本发明专利技术公开的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法集涂层受损区域的识别、打磨清洗以及修复于一体，整个作业过程不需要人为参与，实现全自动化智能作业，降低了安全风险，提高制备效率，降低运行成本。行成本。行成本。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法及装置


[0001]本专利技术涉及还原炉修复
，具体而言，涉及一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法及装置。

技术介绍

[0002]多晶硅是光伏产业和电子产业的基础材料。当前，改良西门子法是在全球范围内生产多晶硅的主流方法，该工艺的核心设备是多晶硅还原炉。
[0003]目前，一般通过在现役多晶硅还原炉内壁制备一薄涂层，对其内壁进行光学改性处理，进而使多晶硅还原炉拥有优异的红外辐射反射性能，从而实现多晶硅节能生产的目的。内壁改性多晶硅还原炉在运行过程中会出现不同程度的内壁涂层损坏现象，这对改性多晶硅还原炉的运行寿命和节能效率造成较大的不利影响。
[0004]现有技术通过移除多晶硅内壁全部涂层再重新制备新涂层的方法去解决上述问题。现有技术至少存在作业成本高、作业周期长、作业效率低、资源浪费严重以及影响生产的问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术公开了一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法及装置，以改善上述的问题。
[0006]本专利技术解决上述技术问题所采用的技术方案是：
[0007]基于上述的目的，本专利技术公开了一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，包括如下步骤：
[0008]步骤一：开启智能识别系统，判断还原炉内的涂层是否受损，若涂层受损，则进入下一步骤；
[0009]步骤二：将识别出来的数据传递给中央控制器进行分析运算，判断还原炉上涂层受损层数和涂层受损面积，中央控制器根据涂层的受损位置、受损面积、受损形状以及受损层数编辑打磨和修复程序，之后关闭智能识别系统；
[0010]步骤三：开启智能表面预处理系统，智能表面预处理系统从中央处理器处获取打磨程序，然后对还原炉受损位置进行打磨，令涂层的断面呈楔形，之后对还原炉内受损部位进行除尘和清洗处理；
[0011]步骤四：启动智能修复系统，智能修复系统从中央处理器处获取修复程序，智能修复系统根据还原炉受损层选择对应的修复材料，对受损层进行逐层修复。
[0012]可选地：在所述步骤三中，完成除尘和清理后，利用第一除尘机构将粉尘分离并收集起来，再利用排污机构对清洗废水进行收集。
[0013]可选地：在步骤三中，对涂层进行打磨时，直至将该层涂层打磨至与下一层涂层的接触点为止。
[0014]可选地：当还原炉涂层受损层数为一时，智能表面预处理系统只需根据该涂层的
受损形状进行打磨即可；当还原炉涂层受损层数大于一时，智能表面预处理系统通过打磨使表层的涂层被打磨面积大于里层的涂层被打磨的面积，且令相邻的两个涂层之间的打磨形状呈阶梯状。
[0015]可选地：设置三个操作工位，分别为第一工位、第二工位和第三工位，在第一工位、第二工位和第三工位上分别设置驱动机构，智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统依次设置在第一工位、第二工位和第三工位内的驱动机构上，驱动机构分别用于带动智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统升降或者旋转；
[0016]初始时智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统均位于操作工位以下，当还原炉到达第一工位时，驱动机构带动智能识别系统上升并旋转，以对还原炉的各个方向进行检测识别；
[0017]识别完成后，驱动机构带动智能识别系统下降，之后还原炉移动至第二工位，此时对应的驱动机构带动智能表面预处理系统上升，并对还原炉内的受损部位进行打磨；
[0018]智能表面预处理系统工作完成后，由驱动机构带动向下沉降，之后还原炉移动至第三工位，此时对应的驱动机构带动智能修复上升，并对还原炉内的受损部位进行修复。
[0019]基于上述的目的，本专利技术还公开了多晶硅还原炉内壁涂层智能修复装置，包括：
[0020]操作工位；
[0021]安装座，所述还原炉安装于所述安装座，所述安装座能够移动至所述操作工位处；
[0022]驱动机构，所述驱动机构安装于所述操作工位处，所述驱动机构的输出端能够沿所述操作工位的高度方向移动，且所述驱动机构的输出端能够自由转动；
[0023]智能识别系统，所述智能识别系统安装于所述驱动机构的输出端；
[0024]智能表面预处理系统，所述智能表面预处理系统安装于所述驱动机构的输出端；
[0025]智能修复系统，所述智能修复系统安装于所述驱动机构的输出端；以及
[0026]中央处理器，所述智能识别系统、所述智能表面预处理系统和所述智能修复系统均与所述中央处理器电连接，所述中央处理器用于接收并分析所述智能识别系统检测到的信号，且所述中央处理器用于向所述智能表面预处理系统和所述智能修复系统发出工作指令。
[0027]可选地：还包括：
[0028]轨道，沿所述轨道的延伸方向依次设置有多个所述操作工位，多个所述操作工位分别为第一工位、第二工位和第三工位，所述安装座与所述轨道滑动配合，且所述安装座能够分别在所述第一工位、所述第二工位和所述第三工位处停留，在所述第一工位、所述第二工位和所述第三工位上均设置有所述驱动机构，所述智能识别系统安装于所述第一工位上的所述驱动机构上，所述智能表面预处理系统安装于所述第二工位上的所述驱动机构上，所述智能修复系统安装于所述第三工位上的所述驱动机构上。
[0029]可选地：所述智能识别系统包括多个智能识别传感器，多个所述智能识别传感器分别用于对涂层的受损层数、涂层的受损区域、涂层的受损形状以及涂层的受损面积进行识别。
[0030]可选地：所述智能表面预处理系统包括打磨机构、表面光洁度探测机构、清洗机构、第一除尘机构和排污机构，所述打磨机构用于根据所述中央处理器发出的工作指令对所述涂层受损部位进行打磨，所述表面光洁度探测机构用于实时检测所述涂层受损部位的
打磨程度，所述清洗机构用于对涂层打磨部位进行清洗，所述第一除尘机构用于排出粉尘，所述排污机构用于排出污水。
[0031]可选地：所述智能修复系统包括修复机构和测距机构，所述修复机构用于选择对应的修复材料在对应的涂层受损处制备相应的涂层，所述测距机构用于测量所述修复机构与所述还原炉内壁之间的距离，所述修复机构根据所述测距机构测得的信号来改变其与所述还原炉内壁之间的距离，以保证涂层制备的均匀性，所述智能修复系统通过修复材料进料速度的可控调整和移动速度的可控调整来控制修复机构的制备厚度。
[0032]与现有技术相比，本专利技术实现的有益效果是：
[0033]本专利技术公开的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法集涂层受损区域的识别、打磨清洗以及修复于一体，整个作业过程不需要人为参与，实现全自动化智能作业，降低了安全风险，提高制备效率，降低运行成本。
附图说明
[0034]图1示出了本专利技术实施例公开的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法的示意图；
[0035]图2示出了本专利技术实施例公开的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复装置的示意图；
[0036]图3示出了本专利技术实施例公开的还原炉的示意图。
[0037]图中：...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一：开启智能识别系统，判断还原炉内的涂层是否受损，若涂层受损，则进入下一步骤；步骤二：将识别出来的数据传递给中央控制器进行分析运算，判断还原炉上涂层受损层数和涂层受损面积，中央控制器根据涂层的受损位置、受损面积、受损形状以及受损层数编辑打磨和修复程序，之后关闭智能识别系统；步骤三：开启智能表面预处理系统，智能表面预处理系统从中央处理器处获取打磨程序，然后对还原炉受损位置进行打磨，令涂层的断面呈楔形，之后对还原炉内受损部位进行除尘和清洗处理；步骤四：启动智能修复系统，智能修复系统从中央处理器处获取修复程序，智能修复系统根据还原炉受损层选择对应的修复材料，对受损层进行逐层修复。2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，其特征在于，在所述步骤三中，完成除尘和清理后，利用第一除尘机构将粉尘分离并收集起来，再利用排污机构对清洗废水进行收集。3.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，其特征在于，在步骤三中，对涂层进行打磨时，直至将该层涂层打磨至与下一层涂层的接触点为止。4.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，其特征在于，当还原炉涂层受损层数为一时，智能表面预处理系统只需根据该涂层的受损形状进行打磨即可；当还原炉涂层受损层数大于一时，智能表面预处理系统通过打磨使表层的涂层被打磨面积大于里层的涂层被打磨的面积，且令相邻的两个涂层之间的打磨形状呈阶梯状。5.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉内壁涂层智能修复方法，其特征在于，设置三个操作工位，分别为第一工位、第二工位和第三工位，在第一工位、第二工位和第三工位上分别设置驱动机构，智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统依次设置在第一工位、第二工位和第三工位内的驱动机构上，驱动机构分别用于带动智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统升降或者旋转；初始时智能识别系统、智能表面预处理系统和智能修复系统均位于操作工位以下，当还原炉到达第一工位时，驱动机构带动智能识别系统上升并旋转，以对还原炉的各个方向进行检测识别；识别完成后，驱动机构带动智能识别系统下降，之后还原炉移动至第二工位，此时对应的驱动机构带动智能表面预处理系统上升，并对还原炉内的受损部位进行打磨；智能表面预处理系统工作完成后，由驱动机构带动向下沉降，之后还原炉移动至第三工位，此时对应的驱动机构带动智能修复上升，并对还原炉内的受损部位进行修复。6.一种多晶硅还原炉内壁涂层智能修复装置，其特征在于，包括：操作工位；安装座，所述还原炉安装于所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张宝顺，任长春，成世杰，宗冰，王体虎，
申请(专利权)人：亚洲硅业青海股份有限公司青海亚洲硅业半导体有限公司青海亚洲硅业硅材料有限公司，
类型：发明
国别省市：