滤波器装置制造方法及图纸

提供一种滤波器装置，能够抑制杂散。滤波器装置(10)具备第1、第2弹性波谐振器。第1、第2弹性波谐振器具有：支承构件；压电层(17)，具有作为晶轴的X轴、Y轴及Z轴且包括Y切割的铌酸锂；以及IDT电极。IDT电极具有多个第1、第2电极指。在将压电层(17)的厚度设为d并将相邻的第1、第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下。在将连结了多个第1电极指的前端的假想线设为包络线时，在第1弹性波谐振器中，将包络线延伸的方向和X轴的方向所成的角的角度并且0

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】滤波器装置


[0001]本专利技术涉及滤波器装置。

技术介绍

[0002]以往，具有弹性波谐振器的滤波器装置被广泛用于便携式电话机等。近年来，提出了像在下述的专利文献1记载的那样的使用了厚度剪切模式的体波的弹性波装置。在该弹性波装置中，在压电层上设置有成对的电极。成对的电极在压电层上相互对置，且与不同的电位连接。通过在上述电极间施加交流电压，从而激励厚度剪切模式的体波。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：美国专利技术专利第10491192号说明书

技术实现思路

[0006]专利技术要解决的问题
[0007]在利用厚度剪切模式的体波的弹性波谐振器中，若作为压电层而使用Y切割的LiNbO3，则有时产生大的杂散，由此不能得到良好的谐振特性。因此，作为滤波器装置整体，有时滤波器特性也劣化。
[0008]本专利技术的目的在于，提供一种能够抑制杂散的滤波器装置。
[0009]用于解决问题的技术方案
[0010]本专利技术涉及的滤波器装置具备第1弹性波谐振器和第2弹性波谐振器，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器分别具有：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Y切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自的所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自中，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自中，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向交叉，在所述第1弹性波谐振器中，将所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为第1倾斜角α1，在所述第2弹性波谐振器中，将所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为第2倾斜角α2，此时，所述第1倾斜角α1的绝对值和所述第2倾斜角α2的绝对值不同。
[0011]专利技术效果
[0012]根据本专利技术涉及的滤波器装置，能够抑制杂散。
附图说明
[0013]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的示意性俯视图。
[0014]图2是本专利技术的第1实施方式中的第1弹性波谐振器的示意性俯视图。
[0015]图3是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和相位特性的关系的图。示出产生杂散的频率附近。
[0016]图4是图3的放大图。
[0017]图5是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和由杂散Sp1造成的纹波的相位成为最大的频率的关系的图。
[0018]图6是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和由杂散Sp1造成的纹波的相位的最大值的关系的图。
[0019]图7是示出弹性波谐振器中的倾斜角α和由杂散Sp3造成的纹波的相位的最大值的关系的图。
[0020]图8是本专利技术的第2实施方式涉及的滤波器装置的示意性电路图。
[0021]图9的(a)是示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的外观的简图式立体图，图9的(b)是示出压电层上的电极构造的俯视图。
[0022]图10是沿着图9的(a)中的A
‑
A线的部分的剖视图。
[0023]图11的(a)是用于说明在弹性波装置的压电膜传播的兰姆波的示意性主视剖视图，图11的(b)是用于说明在滤波器装置中的压电膜传播的厚度剪切模式的体波的示意性主视剖视图。
[0024]图12是示出厚度剪切模式的体波的振幅方向的图。
[0025]图13是示出利用厚度剪切模式的体波的滤波器装置的谐振特性的图。
[0026]图14是示出将相邻的电极的中心间距离设为p并将压电层的厚度设为d的情况下的d/p和作为谐振器的分数带宽的关系的图。
[0027]图15是利用厚度剪切模式的体波的弹性波装置的俯视图。
[0028]图16是示出出现杂散的参考例的弹性波装置的谐振特性的图。
[0029]图17是示出分数带宽和作为杂散的大小的用180度进行了标准化的杂散的阻抗的相位旋转量的关系的图。
[0030]图18是示出d/2p和金属化比MR的关系的图。
[0031]图19是示出使d/p无限接近于0的情况下的分数带宽相对于LiNbO3的欧拉角(0
°
，θ，ψ)的映射的图。
[0032]图20是具有声多层膜的弹性波装置的主视剖视图。
具体实施方式
[0033]以下，参照附图对本专利技术的具体的实施方式进行说明，由此明确本专利技术。
[0034]另外，需要指出，在本说明书记载的各实施方式是例示性的，能够在不同的实施方式间进行结构的部分置换或组合。
[0035]图1是本专利技术的第1实施方式涉及的滤波器装置的示意性俯视图。
[0036]滤波器装置10具有第1信号端12A以及第2信号端12B、接地端19、以及多个弹性波谐振器。更具体地，滤波器装置10的多个弹性波谐振器是弹性波谐振器R1、弹性波谐振器
R2、弹性波谐振器R3以及弹性波谐振器R4。弹性波谐振器R1是本专利技术中的第1弹性波谐振器。弹性波谐振器R3是本专利技术中的第2弹性波谐振器。第1信号端12A是天线端。天线端与天线连接。
[0037]在滤波器装置10中，在第1信号端12A与第2信号端12B之间相互串联地连接有弹性波谐振器R1以及弹性波谐振器R2。在第1信号端12A与接地端19之间，相互串联地连接有弹性波谐振器R3以及弹性波谐振器R4。在本实施方式中，作为第1弹性波谐振器的弹性波谐振器R1是配置在最靠第1信号端12A侧的弹性波谐振器。另外，滤波器装置10的电路结构并不限定于上述。
[0038]滤波器装置10的通带为n77。更具体地，滤波器装置10的通带为3400～4200MHz。不过，滤波器装置10的通带并不限定于上述。另外，本专利技术涉及的滤波器装置可以是发送滤波器，也可以是接收滤波器，或者也可以是双工器、多工器等复合滤波器装置。
[0039]多个弹性波谐振器共有压电性基板13。压电性基板13具有压电层17。压电层17具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴。压电层17包括Y切割的铌酸锂。在本说明书中，所谓某构件包括某材料，包括如下情况，即，包括滤波器装置的电特性不劣化的程度的微量的杂质的情况。在本实施方式中，构成压电层17的铌酸锂的切割角在128
°±
10
°
Y切割的范围内。不过，构成压电层17的铌酸锂的切割角并不限定于上述。
[0040]各弹性波谐振器分别具有IDT电极本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种滤波器装置，具备：第1弹性波谐振器；以及第2弹性波谐振器，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器分别具有：支承构件；压电层，设置在所述支承构件上，具有作为晶轴的X轴、Y轴以及Z轴，并且包括Y切割的铌酸锂；以及IDT电极，设置在所述压电层上，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自的所述IDT电极具有：相互对置的第1汇流条以及第2汇流条；多个第1电极指，一端与分别所述第1汇流条连接；以及多个第2电极指，一端分别与所述第2汇流条连接，且与所述多个第1电极指相互交错对插，在所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自中，在将所述压电层的厚度设为d并将相邻的所述第1电极指与所述第2电极指的中心间距离设为p的情况下，d/p为0.5以下，在所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器各自中，在将通过连结所述多个第1电极指的前端而形成的假想线设为包络线时，所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向交叉，在所述第1弹性波谐振器中，将所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为第1倾斜角α1，在所述第2弹性波谐振器中，将所述包络线延伸的方向和所述X轴的方向所成的角的角度且0
°
以外的角度设为第2倾斜角α2，此时，所述第1倾斜角α1的绝对值和所述第2倾斜角α2的绝对值不同。2.根据权利要求1所述的滤波器装置，其中，所述第1倾斜角α1以及所述第2倾斜角α2中的至少一者的绝对值为10
°
以上。3.根据权利要求1或2所述的滤波器装置，其中，所述滤波器装置是梯型滤波器，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器是串联臂谐振器。4.根据权利要求1或2所述的滤波器装置，其中，所述滤波器装置是梯型滤波器，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器是并联臂谐振器。5.根据权利要求3或4所述的滤波器装置，其中，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器是被串联分割或并联分割的弹性波谐振器。6.根据权利要求1～5中的任一项所述的滤波器装置，其中，在所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器中的至少一者中，在所述支承构件设置有在所述压电层侧开口的空洞部，在俯视下，所述IDT电极的至少一部分和所述空洞部重叠。7.根据权利要求1～5中的任一项所述的滤波器装置，其中，所述第1弹性波谐振器以及所述第2弹性波谐振器中的至少一者还具有：声反射膜，设置在所述支承构件与所述压电层之间，所述声反射膜具有声阻抗相对低的至少一层的低声阻抗层和声阻抗相对高的至少一层的高声阻抗层，所述低声阻抗层以及所述高声阻...

【专利技术属性】
技术研发人员：木村哲也，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：