石英晶片独立清洗载具制造技术

本实用新型专利技术涉及一种石英晶片独立清洗载具，其技术要点是：包括环形载体、设于环形载体中心的同心固定环、连接于同心固定环与环形载体内周面之间的多个连接筋，所述环形载体的上表面围绕其中心均匀设有多个用于放置石英晶片的椭圆形通槽，所述环形载体的底面设有与其同心的内支撑环和外支撑环，所述内支撑环和外支撑环对应椭圆形通槽的位置设有减低支撑面。本实用新型专利技术解决了现有石英晶片表面清洗不完全的问题，在不完全夹持晶片的情况下，实现晶片全方位清洗，清洗彻底。清洗彻底。清洗彻底。

【技术实现步骤摘要】
石英晶片独立清洗载具


[0001]本技术涉及压电石英晶片清洗用辅助器具，具体涉及一种石英晶片独立清洗载具，适于石英晶片各加工工序前清洗时使用。

技术介绍

[0002]目前，清洗石英晶片有两种方法，一种是将很多石英晶片混合放于一个金属笼中，然后将金属笼放于清洗机中进行清洗，清洗过程中容易出现叠片等问题，造成清洗不全面；另外一种方法是用金属夹片固定石英晶片的四角，金属夹具随石英晶片一起放于清洗槽中清洗，虽然避免了石英晶片间相互干涉，但是石英晶片被金属夹具夹持的位置为清洗盲区，无法清洗干净。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种结构合理、使用可靠的石英晶片独立清洗载具，解决现有石英晶片表面清洗不完全的问题，在不完全夹持晶片的情况下，实现晶片全方位清洗，清洗彻底。
[0004]本技术的技术方案是：
[0005]一种石英晶片独立清洗载具，其技术要点是：包括环形载体、设于环形载体中心的同心固定环、连接于同心固定环与环形载体内周面之间的多个连接筋，所述环形载体的上表面围绕其中心均匀设有多个用于放置石英晶片的椭圆形通槽，所述环形载体的底面设有与其同心的内支撑环和外支撑环，所述内支撑环和外支撑环对应椭圆形通槽的位置设有减低支撑面。
[0006]上述的石英晶片独立清洗载具，所述环形载体的横截面为L形，其由设置椭圆形通槽的环形水平承载台、设于环形水平承载台上表面的环形限位凸台组成，所述环形限位凸台的直径小于环形水平承载台的直径，环形限位凸台上设有对应椭圆形通槽的插装避让槽，所述环形限位凸台的顶面至减低支撑面的距离大于石英晶片的直径，椭圆形通槽的长度大于石英晶片的直径。
[0007]上述的石英晶片独立清洗载具，所述同心固定环的内周面为四方形，以便于连接四棱形连接柱并在清洗时随四棱形连接柱转动。
[0008]上述的石英晶片独立清洗载具，所述减低支撑面为V形支撑面，所述V形支撑面的夹角为90
°
，以便于支撑石英晶片。
[0009]本技术的有益效果是：
[0010]1、采用环形载体上的各个椭圆形通槽及内、外支撑环承载多个石英晶片，每个椭圆形通槽中放置一个石英晶片，使用时，多个载具叠放在一起并利用四棱形连接柱连接定位，相邻两个载具中，位置在上的载具的内、外支撑环限制了位置在下的载具承载的石英晶片跳出椭圆形通槽，由于环形限位凸台的顶面至减低支撑面的距离大于石英晶片的直径，椭圆形通槽的长度大于石英晶片的直径，则在清洗时晶片不会被完全夹持，可以在椭圆形
通槽中轻微晃动，晶片可在椭圆形通槽中被独立清洗，实现晶片的全方位清洗，解决了现有石英晶片表面清洗不完全的问题，清洗彻底。
[0011]2、内、外支撑环尽量减少了与晶片的接触面积，一方面达到支撑晶片的目的，另一方面使清洗液快速漏出。
附图说明
[0012]图1是本技术的结构示意图；
[0013]图2是图1的仰视图；
[0014]图3是本技术的局部示意图；
[0015]图4是图3中A
‑
A向剖面图；
[0016]图5是图3中B
‑
B向剖面图。
[0017]图中：1.环形载体、101.环形限位凸台、102.环形水平承载台、2.椭圆形通槽、3.外支撑环、4.内支撑环、5.同心固定环、6.连接筋、7.插装避让槽、8.减低支撑面。
具体实施方式
[0018]根据说明书附图对本技术作详细描述。
[0019]如图1～图5所示，该石英晶片独立清洗载具，包括环形载体1、设于环形载体1中心的同心固定环5、连接于同心固定环5与环形载体1内周面之间的多个连接筋6。所述环形载体1的上表面围绕其中心均匀设有多个用于放置石英晶片的椭圆形通槽2，所述环形载体1的底面设有与其同心的内支撑环4和外支撑环3。所述内支撑环4和外支撑环3对应椭圆形通槽2的位置设有减低支撑面8，所述减低支撑面8为V形支撑面，所述V形支撑面的夹角为90
°
，以便于支撑石英晶片。
[0020]本实施例中，所述环形载体1的横截面为L形，其由设置椭圆形通槽2的环形水平承载台102、设于环形水平承载台102上表面的环形限位凸台101组成。所述环形限位凸台101的直径小于环形水平承载台102的直径，环形限位凸台101上设有对应椭圆形通槽2的插装避让槽7，所述环形限位凸台101的顶面至减低支撑面8的距离大于石英晶片的直径，椭圆形通槽2的长度大于石英晶片的直径。
[0021]所述同心固定环5的内周面为四方形，以便于连接四棱形连接柱并在清洗时随四棱形连接柱转动。
[0022]工作原理：
[0023]使用时，利用四棱形连接柱（图中省略）串联多个本技术所述的载具，各个载具叠放在一起，四棱形连接柱下端设有限位块，以避免最下方的载具脱离，除了最上方的载具空载，其余各个载具预先放置好待清洗石英晶片。清洗时，四棱形连接柱带动各个载具在清洗槽中运动，而载具中放置的石英晶片在载具内轻微晃动，实现不需要夹具的独立清洗，清洗彻底，效果好。
[0024]以上对本技术的实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本技术的较佳实施例，不能被认为用于限定本技术的实施范围。凡依本技术创造范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本专利涵盖范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英晶片独立清洗载具，其特征在于：包括环形载体、设于环形载体中心的同心固定环、连接于同心固定环与环形载体内周面之间的多个连接筋，所述环形载体的上表面围绕其中心均匀设有多个用于放置石英晶片的椭圆形通槽，所述环形载体的底面设有与其同心的内支撑环和外支撑环，所述内支撑环和外支撑环对应椭圆形通槽的位置设有减低支撑面。2.根据权利要求1所述的石英晶片独立清洗载具，其特征在于：所述环形载体的横截面为L形，其由设置椭圆形通槽的环形水平承载台、设于环形水平承载台上...

【专利技术属性】
技术研发人员：张力军，
申请(专利权)人：辽阳鸿宇晶体有限公司，
类型：新型
国别省市：