水洗式尾气处理设备制造技术

本申请涉及一种水洗式尾气处理设备，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，水箱位于进气塔和洗涤塔的底部；进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入洗涤塔内的尾气经洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；水箱用于盛接进气塔和洗涤塔洗涤后产生的废液；进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，收容腔内设有自动清洁装置，自动清洁装置包括清洁头，清洁头伸出收容腔并相对进气塔的内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。本申请的水洗式尾气处理设备通过设置自动清洁装置，以代替人工清除结晶和粉尘，从而减少工作人员的工作量，同时还并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。而对身体造成伤害。而对身体造成伤害。

【技术实现步骤摘要】
水洗式尾气处理设备


[0001]本申请涉及尾气处理领域，尤其涉及一种水洗式尾气处理设备。

技术介绍

[0002]在半导体工业生产中，往往会用到许多化学气体，如氯气、硅烷及硼烷等有毒有害气体。根据环保相关法律法规，这些气体必须经过特殊处理达到排放标准后才可排放到大气中，所以在生产工艺的后端通常需要设置尾气处理设备对尾气进行无害化处理。针对如氯气等具有腐蚀性的尾气，通常采用的是水洗式尾气处理设备。
[0003]现有的水洗式尾气处理设备，平均每周需要对前端的生产设备停机一次，并安排人员对水洗式尾气处理设备的进气管路保养，以清理附着于进气管路内壁的结晶和粉尘，从而保证进气通路。由于现有的水洗式尾气处理设备需要人工进行保养操作，不仅增加了工作量，而且进气管路残留的有害气体还可能会对工作人员的身体造成一定伤害。

技术实现思路

[0004]鉴于上述现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种水洗式尾气处理设备，以降低人员工作量，并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。
[0005]第一方面，本申请提供了一种水洗式尾气处理设备，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，水箱位于进气塔和洗涤塔的底部；进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入洗涤塔内的尾气经洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；水箱用于盛接进气塔和洗涤塔洗涤后产生的废液；进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，收容腔内设有自动清洁装置，自动清洁装置包括清洁头，清洁头伸出收容腔并相对进气塔的内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
[0006]本申请的水洗式尾气处理设备通过设置进气塔，并在进气塔设置喷淋装置以对来自前端设备的尾气进行初步处理，从而降低尾气中的粉尘和有害物质的含量。通过设置洗涤塔以对尾气进行二次处理，从而进一步降低尾气中粉尘和有害气体的含量，以使得尾气达到排放标准。同时在进气塔和洗涤塔的底部设置水箱，以盛接进气塔和洗涤塔对尾气洗涤后产生的废液。
[0007]本申请的水洗式尾气处理设备还通过在进气塔侧壁设置收容腔，以承载并收容自动清洁装置。通过设置自动清洁装置，以代替人工对附着于进气塔内壁的结晶和粉尘进行清除。具体的，通过在自动清洁装置中设置清洁头，并使得清洁头可伸出收容腔，同时还使得清洁头相对进气塔内壁运动，以刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘，从而避免进气管路堵塞。可以理解的，由于使用自动清洁装置代替人工清除结晶和粉尘，无需工作人员操作，从而减少了工作人员的工作量，同时还并避免工作人员与有害气体接触而对身体造成伤害。
[0008]在一种实施例中，进气塔包括用于流通尾气的入口端和出口端，喷淋装置位于入口端和出口端之间，收容腔位于入口端和喷淋装置之间。
[0009]在本实施例中，通过将喷淋装置设置在入口端和出口端之间，以保证喷淋装置能对尾气初步洗涤，同时避免结晶附着于入口端堵塞进气管路。同时通过将收容腔设置于入口端和喷淋装置之间，也即将自动清洁装置设置于入口端和喷淋装置之间，以便于清除结晶和粉尘并减少腐蚀性气体对自动清洁装置造成的损害。
[0010]在一种实施例中，自动清洁装置还包括电机和传动机构，传动机构连接于电机和清洁头之间，电机通过传动机构带动清洁头伸出或收回收容腔，并带动清洁头相对进气塔的内壁运动。
[0011]在本实施例中，通过设置电机以提供动力。同时通过设置连接于电机和清洁头之间的传动机构，以带动清洁头伸出或收回收容腔，并带动清洁头相对进气塔的内壁运动，从而使得清洁头能刷除附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
[0012]在一种实施例中，传动机构包括第一传动组和第二传动组，第一传动组的运动方向垂直于进气塔的侧壁，第二传动组的运动方向平行于进气塔的侧壁。
[0013]在本实施例中，通过设置第一传动组并使得第一传动组的运动方向垂直于进气塔的侧壁，以带动清洁头沿垂直于进气塔侧壁方向运动，从而伸出或收回收容腔，并在垂直于进气塔侧壁的方向刷除部分附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。同时通过设置第二传动组，并使得第二传动组的运动方向平行于进气塔的侧壁，以带动清洁头沿平行于进气塔侧壁方向运动，从而进一步刷除部分附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
[0014]在一种实施例中，传动机构包括第三传动组，第三传动组的运动方向同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向。
[0015]在本实施例中，通过设置第三传动组并使得第三传动组的运动方向同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向，以带动清洁头在同时垂直于第一传动组和第二传动组的运动方向的方向上运动，从而增大清洁头的工作面积。
[0016]在一种实施例中，传动机构包括旋转组件，旋转组件与清洁头固定连接，用于带动清洁头转动。
[0017]在本实施例中，通过设置旋转组件，并使得旋转组件与清洁头固定连接，从而带动清洁头转动，以提高自动清洁装置的效率。
[0018]在一种实施例中，水洗式尾气处理设备包括两个收容腔，两个收容腔沿进气塔的周向间隔设置，且两个收容腔内分别设有一个自动清洁装置。
[0019]在本实施例中，通过沿进气塔的周向间隔设置两个收容腔，并在每个收容腔内设一个自动清洁装置，以提高对附着于进气塔内壁的结晶和粉尘的清除效率。
[0020]在一种实施例中，两个自动清洁装置的清洁头朝向垂直于进气塔侧壁的方向的运动轨迹夹角为90
°
，且当其中一个自动清洁装置的清洁头伸出对应的收容腔时，另一个自动清洁装置的清洁头收回对应的收容腔。
[0021]在本实施例中，通过设置两个清洁头朝向垂直于进气塔侧壁的方向的运动轨迹夹角为90
°
，以减小单个收容腔和自动清洁装置的体积，增大清洁面积。同时设置其中一个清洁头伸出对应的收容腔时，另一个清洁头收回对应的收容腔，以避免两个清洁头相互碰撞。
[0022]在一种实施例中，进气塔的外壁设有加热装置，加热装置用于加热附着于进气塔内壁的结晶和粉尘。
[0023]在本实施例中，通过在进气塔外壁设置加热装置，以提高进气塔内的温度，进而降
低尾气进入进气塔后因温度骤降而结晶的速率，从而减少结晶附着，降低保养频率，延长保养周期。
[0024]在一种实施例中，进气塔的内壁上设有升降挡板，升降挡板用于打开或遮蔽收容腔。
[0025]在本实施例中，通过在进气塔的内壁设置升降挡板，以使得当自动清洁装置工作时，打开升降挡板从而打开收容腔，以保证自动清洁装置正常工作；当自动清洁装置工作结束收回收容腔时，关闭升降挡板从而遮蔽收容腔，以避免结晶或粉尘附着于自动清洁装置上，对自动清洁装置造成损坏。
[0026]在一种实施例中，清洁头采用耐腐蚀材料制作。
[0027]在本实施例中，通过采用耐腐蚀材料制作清洁头，以避免清洁头在工作过程中被尾气中的腐蚀性气体腐蚀，从而提高自动清洁装置的可靠性。
附图说明
[0028]图1为本申请一种实施例中水洗式尾气处理设备的外观结构示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水洗式尾气处理设备，其特征在于，包括依次连通的进气塔、水箱和洗涤塔，所述水箱位于所述进气塔和所述洗涤塔的底部；所述进气塔设有喷淋装置，用于洗涤和部分吸收所述进气塔内的尾气中的粉尘和有害物质；进入所述洗涤塔内的尾气经所述洗涤塔洗涤和部分吸收剩余的粉尘和有害物质后排出；所述水箱用于盛接所述进气塔和所述洗涤塔洗涤后产生的废液；所述进气塔的部分侧壁向外凸出以形成收容腔，所述收容腔内设有自动清洁装置，所述自动清洁装置包括清洁头，所述清洁头伸出所述收容腔并相对所述进气塔的内壁运动，以刷除附着于所述进气塔内壁的结晶和粉尘。2.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述进气塔包括用于流通尾气的入口端和出口端，所述喷淋装置位于所述入口端和所述出口端之间，所述收容腔位于所述入口端和所述喷淋装置之间。3.根据权利要求1所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述自动清洁装置还包括电机和传动机构，所述传动机构连接于所述电机和所述清洁头之间，所述电机通过所述传动机构带动所述清洁头伸出或收回所述收容腔，并带动所述清洁头相对所述进气塔的内壁运动。4.根据权利要求3所述的水洗式尾气处理设备，其特征在于，所述传动机构包括第一传动组和第二传动组，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王鹏鹏，伍修颀，张涛，苟先华，苏财钰，
申请(专利权)人：重庆康佳光电技术研究院有限公司，
类型：新型
国别省市：