真空样品转移组件及真空系统技术方案

本公开提供了一种真空样品转移组件及真空系统，真空样品转移组件包括真空筒；杆体，至少部分地设置在真空筒内；插头，设置在杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动杆体运动；以及驱动磁组件，设置在真空筒外，包括至少一个驱动磁体，至少一个驱动磁体与至少一个传动磁体磁耦合，用于驱动传动磁组件运动。动磁组件运动。动磁组件运动。

【技术实现步骤摘要】
真空样品转移组件及真空系统


[0001]本公开涉及真空设备
，特别涉及一种真空样品转移组件及真空系统。

技术介绍

[0002]在真空环境下的生产或实验中，真空系统中的样品需要历经进样、生长、处理、表征等各个过程，因此往往需要对样品进行各种运动操作。例如，在真空腔内，通常需要对样品进行翻转，以对样品的正面和背面都进行处理。但是，目前的样品托盘和抓取装置难以稳定、精准、快速地实现样品的翻转、移动。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种真空样品转移组件包括：真空筒；杆体，至少部分地设置在真空筒内；插头，设置在杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动杆体运动；以及驱动磁组件，设置在真空筒外，包括至少一个驱动磁体，至少一个驱动磁体与至少一个传动磁体磁耦合，用于驱动传动磁组件运动。
[0004]在一些实施例中，真空样品转移组件还包括：波纹管，套设在真空筒的远端；以及万向节，设置在波纹管中并与真空筒连接，万向节用于允许真空筒沿径向偏移。
[0005]在一些实施例中，万向节包括弧面套筒，弧面套筒套设在真空筒外。
[0006]在一些实施例中，真空样品转移组件还包括：真空法兰，与波纹管真空密封连接，真空法兰包括从近端向远端收缩的开口，用于容纳真空筒的径向偏移。
[0007]在一些实施例中，真空样品转移组件还包括：停靠架，与真空法兰固定连接，用于停靠真空筒。
[0008]在一些实施例中，真空样品转移组件还包括：手柄，套设在真空筒外，用于容纳驱动磁组件；或者电机以及与电机的输出端耦合的传动装置，传动装置与驱动磁组件连接，用于驱动驱动磁组件运动。
[0009]在一些实施例中，至少一个针头包括单行并排的多个针头或者两行并排的多个针头；和/或至少一个针头的横截面包括圆形、矩形、三角形、多边形或椭圆形。
[0010]在一些实施例中，真空样品转移组件还包括样品托组件，样品托组件包括：样品托盘；以及至少一个基座，设置在样品托盘的正面和/或背面，基座包括至少一个凹槽，凹槽设置在基座的侧面，用于与针头配合。
[0011]在一些实施例中，杆体的运动包括沿轴向的移动、绕轴向的旋转或沿径向的偏移中的至少一项。
[0012]在一些实施例中，一种真空系统包括：真空腔；根据本公开任一实施例的真空样品转移组件，其中真空样品转移组件的真空筒与真空腔真空密封连接，插头伸入真空腔中。
[0013]根据本公开一些实施例的真空样品转移组件及真空系统能够解决常规真空设备中样品无法稳定、精准、快速地实现翻转、移动的问题。在本公开的一些实施例中，真空样品
转移组件能够准确地与样品托组件相配合，快速、稳定地抓取样品托组件，可以在原位实现进退平移、样品翻转、偏移调整或各种组合运动，满足了真空样品处理的各种要求，无需配置冗余的调整(例如，翻转)真空腔，也无需破坏真空，拓展了真空系统的处理能力和应用范围，降低了真空系统的样品翻转和移动成本，提高了真空系统的处理效率和适用性。
附图说明
[0014]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0015]图1示出根据本公开一些实施例的真空样品转移组件的立体示意图；
[0016]图2示出根据本公开一些实施例的真空样品转移组件的截面图；
[0017]图3示出根据本公开一些实施例的框A部分的放大图；
[0018]图4示出根据本公开一些实施例的万向节的弧面套筒的立体示意图；
[0019]图5示出根据本公开一些实施例的插头与样品托组件配合的立体示意图；
[0020]图6示出根据本公开一些实施例的样品托组件的截面分解图；以及
[0021]图7示出根据本公开一些实施例的真空系统的部分剖视立体图。
具体实施方式
[0022]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0023]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”、“正”、“反”、“背”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0024]图1示出根据本公开一些实施例的真空样品转移组件100的立体示意图，图2示出根据本公开一些实施例的真空样品转移组件100的截面图。如图1和图2所示，真空样品转移组件100可以包括真空筒110、杆体120和插头130。杆体120可以至少部分地设置在真空筒110内。如图1和图2所示，杆体120的近端以及主体部分位于真空筒110内，远端伸出真空筒110的远端。插头130可以设置在杆体120的远端。插头130可以包括至少一个针头，例如如图1所示的针头131、132、133和134。
[0025]本领域技术人员可以理解，虽然图1中示出4个呈矩形排布的针头131、132、133和134，但是这仅仅是示例性的实施例，插头130可以包括更少或更多的针头。此外，插头130的多个针头可以采用各种合适的排布方式。例如，多个针头可以包括单行并排的多个针头或者两行并排的多个针头。两行排布的多个针头可以同时插入样品托组件的正、背两面上的部件，能够更加稳定地抓取样品托组件，并进行翻转、移动等运动。但是，本领域技术人员可以理解，通过对针头结构和排布的设计，单个针头或者单行并排的多个针头同样可以实现对样品托组件的稳定抓取。针头可以采用各种合适的形式。例如，针头的横截面可以包括圆形、矩形、三角形、多边形或椭圆形等等。针头的末端可以包括渐缩的针尖，以便于更好地插入样品托组件。
[0026]如图2所示，真空样品转移组件100还可以包括传动磁组件140和驱动磁组件151。传动磁组件140可以设置在杆体的近端，可以包括至少一个传动磁体，用于接收磁本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空样品转移组件，其特征在于，包括：真空筒；杆体，至少部分地设置在所述真空筒内；插头，设置在所述杆体的远端，包括至少一个针头；传动磁组件，设置在所述杆体的近端，包括至少一个传动磁体，用于接收磁驱动以带动所述杆体运动；以及驱动磁组件，设置在所述真空筒外，包括至少一个驱动磁体，所述至少一个驱动磁体与所述至少一个传动磁体磁耦合，用于驱动所述传动磁组件运动。2.根据权利要求1所述的真空样品转移组件，其特征在于，还包括：波纹管，套设在所述真空筒的远端；以及万向节，设置在所述波纹管中并与所述真空筒连接，所述万向节用于允许所述真空筒沿径向偏移。3.根据权利要求2所述的真空样品转移组件，其特征在于，所述万向节包括弧面套筒，所述弧面套筒套设在所述真空筒外。4.根据权利要求2所述的真空样品转移组件，其特征在于，还包括：真空法兰，与所述波纹管真空密封连接，所述真空法兰包括从近端向远端收缩的开口，用于容纳所述真空筒的径向偏移。5.根据权利要求4所述的真空样品转移组件，其特征在于，还包括：停靠架，与所述真空法兰固定连接，用于停靠所述真空筒。6.根据权利要求1所述的真空样品转移组件，其特征在于，还包括：手柄...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢斌平，陈飞，王天邻，
申请(专利权)人：费勉仪器科技南京有限公司，
类型：新型
国别省市：