本实用新型专利技术涉及一种电子束发生装置及含有电子束发生装置的电子显微镜。该电子束发生装置包括：屏蔽外壳、阴极发射单元、光阑组、导电固定筒、陶瓷盘、调节单元、第一光阑和真空高压馈通。本实新型具有结构简单，使用方便，光阑+电透镜的组合双倍聚焦，且减少电子束杂散；通过调节单元可以使光阑对中更加准确，解决后期对中不准确带来的光斑不圆；整体更加方便可调节，解决机械加工以及装配过程中带来的误差；光阑属于耗材需要不定期更换，调节螺钉的结构使得方便光阑后期更换；光阑组结构可以减少杂散电子；第三光阑过滤有害而无用的光也加以阻拦，能改善像质量。能改善像质量。能改善像质量。
【技术实现步骤摘要】
一种电子束发生装置及含有电子束发生装置的电子显微镜
[0001]本发技术及电子显微镜领域，尤其涉及一种电子束发生装置及含有电子束发生装置的电子显微镜。
技术介绍
[0002]目前，扫描电子显微镜因其分辨率高、景深大、图像更富立体感、放大倍数可调范围宽等优点而被广泛应用于半导体、无机非金属材料及器件等的检测。随着我国经济的迅速发展，高校、科研单位、企业等大量引进了场发射扫描电子显微镜。但是在扫描电子显微镜的使用过程中，特别是在安装初期，使用者通常由于对电镜的运行状态缺乏系统认识，经常会遇到软件死机、样品台被卡、真空问题等多种故障。解决方式一般为请维修工程师上门维修，除花费时间和费用外，也造成了对电镜操作者的心里束缚。而场发射扫描电子显微镜主要从环境条件、光学系统、真空系统及附件设施4个方面对运行状态进行检查和维护保养。
[0003]其中电子光学系统是由电子枪、电磁透镜、扫描线圈组成的，也是扫描电子显微镜的核心部分。为保证电子束沿这些部件的轴线穿行，必须调节这些部件合轴，即光阑对中。而光阑能改善摄影镜头的成像质量，因为光阑能限制成像光束孔径和成像范围，对不能成清晰像、准确像的那些光线和像不清晰的空间部分都要舍弃，对有害而无用的光也加以阻拦，故能改善像质量。所以需要确保光阑对中。
[0004]目前检查光阑对中的办法是在更换试样、调整加速电压和探测器类型时，去检查光阑是否对中。具体操作方法是打开调焦摇摆功能，查看高倍数下电子图像是否上下左右摆动，若摆动则调节光阑对中按钮，直至图像仅出现上下摆动。但是这只是调节电透镜或磁透镜的焦距来实现的，这需要每次使用时都进行调焦，影响检测效率。
技术实现思路
[0005]本技术公开了一种电子束发生装置及含有电子束发生装置的电子显微镜，以解决现有技术的上述以及其他潜在问题中任一问题。
[0006]为达到上述目的，本技术的技术方案是：一种电子束发生装置，所述电子束发生装置包括：屏蔽外壳、阴极发射单元、光阑组、导电固定筒、陶瓷盘、调节单元、第一光阑和真空高压馈通：
[0007]其中，所述真空高压馈通设置在所述屏蔽外壳的一端，所述屏蔽外壳的另一端设有第一光阑；
[0008]所述陶瓷盘通过陶瓷盘固定环设置在所述屏蔽外壳的内部，且靠近设置有所述真空高压馈通的一端；
[0009]所述阴极发射单元设置在所述陶瓷盘的中心位置；
[0010]所述导电固定筒对称设置在所述阴极发射单元的两侧，且所述导电固定筒一端与所述陶瓷盘固接，另一端通过所述调节单元与所述光阑组活动连接；
[0011]所述第一光阑的中心位置设有第一光阑孔。
[0012]进一步，所述调节单元包括：调节架、螺旋千分尺头、若干调节螺钉和若干调节孔，
[0013]其中，所述调节架呈L型，L型的所述调节架一端与所述导电固定筒的端部侧壁固接，另一端设有用于设置所述螺旋千分尺头的安装孔；
[0014]若干调节孔均匀设置在所述光阑组上，且所述若干调节螺钉通过若干所述调节孔与所述导电固定筒的端部连接；
[0015]所述螺旋千分尺头通过所述调节孔与所述光阑组的一侧的侧壁连接。
[0016]进一步，所述光阑组包括第二光阑、连接件和第三光阑；
[0017]其中，所述第三光阑通过所述连接件设置在所述第二光阑的下端，且所述第二光阑和第三光阑的中心位置分别设有第二光阑孔和第三光阑孔。
[0018]进一步，所述第三光阑为透镜。
[0019]进一步，所述第三光阑孔的孔径小于第二光阑孔的孔径。
[0020]进一步，所述第二光阑孔和第三光阑孔的中心线相互重合。
[0021]进一步，所述连接件为陶瓷绝缘环。
[0022]进一步，所述阴极发射单元包括电极、灯丝、阴极尖和抑制极；
[0023]其中，所述电极的一端与所述陶瓷盘连接，另一端与所述灯丝的一端连接，所述灯丝的另一端与所述阴极尖的一端连接；
[0024]所述抑制极设置在所述阴极尖的两侧，并与所述陶瓷盘连接。
[0025]一种电子显微镜，所述电子显微镜具有上述的电子束产生装置。
[0026]本技术的有益效果是：由于采用上述技术方案，本实新型具有结构简单，使用方便，光阑+电透镜的组合双倍聚焦，且减少电子束杂散；通过调节单元可以使光阑对中更加准确，解决后期对中不准确带来的光斑不圆；整体更加方便可调节，解决机械加工以及装配过程中带来的误差；光阑属于耗材需要不定期更换，调节螺钉的结构使得方便光阑后期更换；光阑组结构可以减少杂散电子；第三光阑过滤有害而无用的光也加以阻拦，能改善像质量。
附图说明
[0027]图1为本技术的一种电子束发生装置的结果示意图。
[0028]图2为本技术的调节单元的调节对准的结构示意图。
[0029]图3为本技术的调节单元的调节螺钉连接的结构示意图。
[0030]图中：
[0031]1.屏蔽外壳、2.阴极发射单元、2
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1.电极、2
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2.灯丝、2
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3.阴极尖、2
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4.抑制极、3.光阑组、3
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1.第二光阑、3
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2.连接件、3
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3.第三光阑、3
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4.第二光阑孔、3
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5.第三光阑孔、4.导电固定筒、5.陶瓷盘、6.调节单元、6
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1.调节架、6
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2.螺旋千分尺头、6
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3.调节螺钉、6
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4.调节孔、7.第一光阑、7
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1.第一光阑孔、7
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2.接地线、8.真空高压馈通、9.导线、10.陶瓷盘固定环。
具体实施方式
[0032]下面结合附图和具体实施例对本技术的技术方案做进一步说明。
[0033]如图1所示，本技术一种电子束发生装置，该电子束发生装置包括：屏蔽外壳1、阴极发射单元2、光阑组3、导电固定筒4、陶瓷盘5、调节单元6、第一光阑7和真空高压馈通8：
[0034]其中，所述真空高压馈通设8置在所述屏蔽外壳1的一端，所述屏蔽外壳1的另一端设有第一光阑7；
[0035]所述陶瓷盘5通过陶瓷盘固定环10设置在所述屏蔽外壳1的内部，且靠近设置有所述真空高压馈通8的一端；
[0036]所述阴极发射单元2设置在所述陶瓷盘5的中心位置；
[0037]所述导电固定筒4对称设置在所述阴极发射单元2的两侧，且所述导电固定筒4一端与所述陶瓷盘5固接，另一端通过所述调节单元6与所述光阑组3活动连接；
[0038]所述第一光阑7的中心位置设有第三光阑孔7
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1，且所述第一光阑7还设有接地线7
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2。
[0039]如图2和图3所示，所述调节单元6包括：调节架6
‑
1、螺旋千分尺头6...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子束发生装置，其特征在于，所述电子束发生装置包括：屏蔽外壳、阴极发射单元、光阑组、导电固定筒、陶瓷盘、调节单元、第一光阑和真空高压馈通；其中，所述真空高压馈通设置在所述屏蔽外壳的一端，所述屏蔽外壳的另一端设有第一光阑；所述陶瓷盘通过陶瓷盘固定环设置在所述屏蔽外壳的内部，且靠近设置有所述真空高压馈通的一端；所述阴极发射单元设置在所述陶瓷盘的中心位置；所述导电固定筒对称设置在所述阴极发射单元的两侧，且所述导电固定筒一端与所述陶瓷盘固接，另一端通过所述调节单元与所述光阑组活动连接；所述第一光阑的中心位置设有第一光阑孔。2.根据权利要求1所述的电子束发生装置，其特征在于，所述调节单元包括：调节架、螺旋千分尺头、若干调节螺钉和若干调节孔，其中，所述调节架呈L型，L型的所述调节架一端与所述导电固定筒的端部侧壁固接，另一端设有用于设置所述螺旋千分尺头的安装孔；若干调节孔均匀设置在所述光阑组上，且所述若干调节螺钉通过若干所述调节孔与所述导电固定筒的端部连接；所述螺旋千分尺头通过所述安装孔与所述光阑组的一侧的侧壁连接。3.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈志明，胡继闯，赵域，何伟，邱岳进，张振旗，薛敬宇，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：新型
国别省市：
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