真空腔反应装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及真空腔领域，具体公开了一种真空腔反应装置，包括反应腔，反应腔外设有观察窗，反应腔底部设有调节腔，调节腔内设有与其活动连接的调节杆，调节杆顶部设有伸入反应腔内的腔板，调节杆外设有用于其升降或旋转的调节件，调节件外设有电机；将化学物质置于腔板内，使电机带动调节件实现腔板的升降或者旋转，待调节至合适的高度或者角度之后，使其于反应腔内进行反应，并通过反应腔外安装角度为斜45

【技术实现步骤摘要】
真空腔反应装置


[0001]本技术涉及真空腔领域，特别涉及了真空腔反应装置。

技术介绍

[0002]真空腔是保持一定程度真空的密封腔，由于其可以保持良好的密封性，因此一些特殊的化学物质可以在其中进行反应并观察，其常置于如真空等离子设备、真空磁控管设备、真空碳化设备等设备之内，真空腔一般由反应腔、观察腔、真空腔组成，将化学物质置于反应腔内进行反应，再由观察腔进行观察，根据化学物质的种类、形状、大小等因素的不同需要调节观察的角度和高度，但是，目前的真空腔中的反应腔角度和高度是固定的，难以调节，无法获取最佳的观察位置。
[0003]本申请所要解决的技术问题为：如何在真空腔体内部通过旋转或升降获取最佳反应位置。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种便于调节的真空腔反应装置。
[0005]本技术所采用的技术方案为：一种真空腔反应装置，包括反应腔，反应腔外设有观察窗，反应腔底部设有调节腔，调节腔内设有与其活动连接的调节杆，调节杆顶部设有伸入反应腔内的腔板，调节杆外设有用于其升降或旋转的调节件，调节件外设有电机。
[0006]将化学物质置于腔板内，使电机带动调节件实现腔板的升降或者旋转，待调节至合适的高度或者角度之后，使其于反应腔内进行反应，并通过观察窗进行观察，观察窗的安装角度为倾斜45
°
设置于反应腔外，以确保其观察的全面性。
[0007]在一些实施方式中，调节件包括蜗轮和蜗杆，蜗轮套设于调节杆外，蜗杆安装于电机输出端；电机带动蜗杆转动，由于蜗杆啮合于蜗轮外，因此，蜗轮也会同步转动，使调节杆带动腔板旋转，以调整观察反应物的角度，此调节适用于等离子物质发生反应，这是由于等离子态下的物质具有类似于气态的性质，其流动性和扩散性较好，因此，只需旋转观察其同一平面内各个位置的状态即可。
[0008]在一些实施方式中，调节件还包括齿条和齿轮，齿条固定于调节杆外，齿轮安装于电机输出端；电机带动齿轮转动，由于齿轮啮合于齿条外，因此，齿条会上下升降，使调节杆带动腔板升降，以调整观察反应物的高度，此调节适用于合金物质发生反应，这是由于合金物质具有空间意义上的体积，为了观察的全面，因此，需要对其处于不同高度下的反应层进行观察。
[0009]在一些实施方式中，电机与调节件之间设有密封件，密封件密封套设于调节腔外，密封件为磁性流体密封装置；磁性流体密封装置是由极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在转轴与极靴顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个O形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的，依次来保证使电机与调节腔之间密封的同时又
不影响电机与调节件之间的驱动。
[0010]在一些实施方式中，调节腔包括上腔体、下腔体和底板，上腔体顶部与反应腔密封，下腔体底部通过底板密封。
[0011]在一些实施方式中，上腔体与调节杆之间设有铜套，上腔体和下腔体的连接处与调节杆之间设有轴承；调节杆位于铜套下方的杆径小于调节杆位于铜套上方的杆径，保证了调节杆只能向上移动，不能向下移动，对其进行限位。
[0012]在一些实施方式中，上腔体和反应腔、上腔体和下腔体以及下腔体和底板之间均设有无氧铜垫；无氧铜垫保证了上腔体和反应腔、上腔体和下腔体以及下腔体和底板之间的密封性。
[0013]在一些实施方式中，调节腔外依次通过管道密封连接有分子泵和机械泵；通过分子泵和机械泵的同时作用，使其可以将反应腔内的空气抽走，形成真空空间。
[0014]本技术具有如下技术效果：通过更换调节件的种类，实现腔板的升降或者旋转，以便于针对不同种类、大小和形状的化学物质进行更好的观察，不会出现观察死角，且结构简单，可准备两台该装置或在一台装置上实现两种调节件的更换，以解决最佳反应位置难找寻难调整的难题。
附图说明
[0015]图1为本技术的整装立体结构示意图；
[0016]图2为本技术的侧剖结构示意图；
[0017]图3为本技术的调节件结构示意图之一；
[0018]图4为本技术的调节件结构示意图之二。
[0019]图中：1、反应腔；2、观察窗；3、调节腔；31、上腔体；32、下腔体；33、底板；4、电机；5、密封件；6、分子泵；7、机械泵；8、调节件；81、蜗轮；82、蜗杆；83、齿条；84、齿轮；9、腔板；10、调节杆；11、无氧铜垫；12、铜套；13、轴承。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1和2，本技术提供一种技术方案：一种真空腔反应装置，包括反应腔1，反应腔1外设有斜插于其外的观察窗2，反应腔1底部设有调节腔3，调节腔3由上腔体31、下腔体32和底板33组成，其中，上腔体31与下腔体32均为上下不封闭的筒体结构，上腔体31的顶部与反应腔1密封，下腔体32的底部由底板33封堵，且上腔体31与下腔体32之间的连接处为密封的，为了进一步保持密封性，上腔体31与反应腔1的连接处、上腔体31与下腔体32的连接处以及下腔体32与底板33的连接处均设置有无氧铜垫11，下腔体32的一侧通过管道连接有分子泵6，分子泵6的一侧通过管道连接有机械泵7，通过分子泵6和机械泵7的作用在反应腔1与调节腔3内部形成真空空间；
[0022]反应腔1内设有与其内壁垂直的腔板9，腔板9的底部固定有与垂直的调节杆10，调
节杆10同时位于反应腔1、上腔体31和下腔体32内，同时，上腔体31与调节杆10之间设有铜套12，调节杆10位于铜套12下方的杆径小于调节杆10位于铜套12上方的杆径，保证了调节杆10只能向上移动，不能向下移动，对其进行限位，上腔体31和下腔体32的连接处与调节杆10之间设有轴承13；
[0023]下腔体32的另一侧设置有电机4，电机4与下腔体32通过密封件5连接，密封件5为磁性流体密封装置，磁性流体密封装置是由极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在转轴与极靴顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个O形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的，依次来保证使电机4与调节腔3之间密封的同时又不影响电机4与调节件8之间的驱动，而电机4的输出端与调节杆10之间设置有调节件8。
[0024]请参阅图3，当调节件8为蜗轮81和蜗杆82时，蜗轮81套设于调节杆10外，蜗杆82安装于电机4输出端；电机4带动蜗杆82转动，由于蜗杆82啮合于蜗轮81外，因此，蜗轮81也会同步转动，使调节杆10带动腔板9旋转，以调整观察反应物的角度，此调节适用于等离子物质发生反应，这是由于等离子态下的物质具有类似于气态的性质，其流动性和扩散性较好，因此，只本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空腔反应装置，包括反应腔(1)，所述反应腔(1)外设有观察窗(2)，其特征在于，所述反应腔(1)底部设有调节腔(3)，所述调节腔(3)内设有与其活动连接的调节杆(10)，所述调节杆(10)顶部设有伸入反应腔(1)内的腔板(9)，所述调节杆(10)外设有用于其升降或旋转的调节件(8)，所述调节件(8)外设有电机(4)。2.根据权利要求1所述的真空腔反应装置，其特征在于，所述调节件(8)包括蜗轮(81)和蜗杆(82)，所述蜗轮(81)套设于调节杆(10)外，所述蜗杆(82)安装于电机(4)输出端。3.根据权利要求1所述的真空腔反应装置，其特征在于，所述调节件(8)还包括齿条(83)和齿轮(84)，所述齿条(83)固定于调节杆(10)外，所述齿轮(84)安装于电机(4)输出端。4.根据权利要求1所述的真空腔反应装置，其特征在于，所述电机(4)与调节件(8)之间设有密封件(...

【专利技术属性】
技术研发人员：范德伟，黎炎星，张子杨，
申请(专利权)人：佛山市业鹏机械有限公司，
类型：新型
国别省市：