分体式镀膜设备及镀膜系统技术方案

本实用新型专利技术提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，涉及镀膜设备技术领域，分体式镀膜设备包括传动腔体、工作腔体和锁定件；传动腔体的边缘形成有对位件，工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，对位件进入对位部以使工作腔体与传动腔体对位连接；锁定件的一端能够穿过工作腔体和传动腔体，以将工作腔体和传动腔体相锁定。通过本申请提供的分体式镀膜设备，由于工作腔体和传动腔体为分体式结构，且通过锁定件锁定连接，因此，可根据作业需求快速更换对应的工作腔体，以提高作业效率。并且，当需要对工作腔体进行检修时，可将待检修工作腔体拆除，更换新的工作腔体进行作业，以实现作业和维修的同步进行。维修的同步进行。维修的同步进行。

【技术实现步骤摘要】
分体式镀膜设备及镀膜系统


[0001]本技术涉及镀膜设备
，尤其是涉及一种分体式镀膜设备及镀膜系统。

技术介绍

[0002]现有的镀膜设备的镀膜腔室均为一体化结构，主要包括封门和腔体，通过封门能够将腔体密封，以实现镀膜腔室的镀膜作业。
[0003]但现有的镀膜设备中靶材、离子源以及加热件等结构均集成在统一的腔体上，一方面使得腔体的整体尺寸极大，另一方面，由于设备在运转作业一定时间后，需要进行检修和维护以及更换靶材等作业，因此，在进行检修、维护以及更换靶材等作业时，需要将镀膜作业停止，待检修维护完成后，才能开始继续作业，导致整体作业效率降低。
[0004]因此，急需提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，以在一定程度上解决现有技术中存在的问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种分体式镀膜设备及镀膜系统，以在一定程度上优化镀膜设备，提高镀膜设备的灵活性和整体作业效率。
[0006]本技术提供的一种分体式镀膜设备，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；所述传动腔体的边缘形成有对位件，所述工作腔体对应所述对位件的位置形成有对位部，所述对位件进入所述对位部以使所述工作腔体与所述传动腔体对位连接；所述锁定件的一端能够穿过所述工作腔体和所述传动腔体，以将所述工作腔体和所述传动腔体相锁定。
[0007]其中，所述传动腔体内设有传动机构，所述传动机构沿所述传动腔体的长度方向延伸，所述传动腔体在长度方向上的一端开设有进货口，另一端开设有出货口，且所述进货口和所述出货口与所述传动机构的两端相对位。
[0008]具体地，所述工作腔体包括第一缸体，所述第一缸体与所述传动腔体可拆卸连接，所述第一缸体上形成有四个第一安装接口，四个所述第一安装接口沿所述第一缸体的周向间隔设置。
[0009]进一步地，所述工作腔体包括第二缸体，所述第二缸体上形成有第二安装接口，且所述第二安装接口位于所述第二缸体的侧部。
[0010]更进一步地，所述工作腔体包括第三缸体，所述第三缸体的壁体内设有加热组件或冷却组件。
[0011]实际应用时，所述工作腔体的垂直于轴线方向的截面呈优弧形或呈梯形或呈半圆形。
[0012]其中，所述锁定件为梅花扳手，所述锁定件的数量为多个，且多个所述锁定件相对分布于所述工作腔体和传动腔体的两侧。
[0013]具体地，所述工作腔体的外壁面上设有吊装构件，且所述吊装构件位于所述工作
腔体的顶部。
[0014]进一步地，所述传动机构包括多个传动轮和传送带，多个所述传动轮沿所述传动腔体的长度方向间隔设置，以使所述传送带沿所述传动腔体的长度方向延伸，并由所述进货口向所述出货口传动。
[0015]相对于现有技术，本技术提供的分体式镀膜设备具有以下优势：
[0016]本技术提供的分体式镀膜设备，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；传动腔体的边缘形成有对位件，工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，对位件进入对位部以使工作腔体与传动腔体对位连接；锁定件的一端能够穿过工作腔体和传动腔体，以将工作腔体和传动腔体相锁定。
[0017]由此分析可知，通过将镀膜设备分为工作腔体和传动腔体，一方面能够明确分区，以实现通过工作腔体对工件进行清洗以及镀膜等工艺，通过传动腔体对工件进行输送的流水化作业。另一方面，由于在镀膜作业中，靶材在使用一定时间后需要进行更换，且设备也需要进行检修，因此，通过使工作腔体和传动腔体为分体式结构，当需要对工作腔体进行检修或更换靶材时，可先将原有工作腔体与传动腔体相分离，再将新的工作腔体与传动腔体相对接，从而既能够通过新的工作腔体与传动腔体相结合，实现镀膜作业，也能够对拆除的工作腔体进行检修以及更换靶材等作业，实现镀膜作业、设备检修以及靶材更换的同步进行，互不影响，提高整体作业效率。
[0018]可以理解的是，由于本申请中传动腔体的边缘形成有对位件，且工作腔体对应对位件的位置形成有对位部，因此，通过对位件和对位部的配合，能够实现工作腔体和作业腔体之间的初步对位。待对位完成后，再通过锁定件实现工作腔体与作业腔体之间的锁定和密封。
[0019]此外，本技术还提供一种镀膜系统，包括靶材机构、清洗机构、加热机构、冷却机构、检测机构以及上述的分体式镀膜设备；所述分体式镀膜设备中的工作腔体有多个，多个所述工作腔体内均设有所述检测机构，且多个所述工作腔体分别与所述靶材机构、所述清洗机构、所述加热机构以及所述冷却机构对应设置。
[0020]本申请提供的镀膜系统中通过包括多个工作腔体，从而能够对应承载靶材机构、清洗机构、加热机构以及冷却机构。而分体式镀膜设备中的传动腔体可以为一个，根据不同需求将不同的作业腔体与传动腔体相连接，从而实现对工件的清洗、镀膜以及烘干及冷却等作业。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例提供的分体式镀膜设备中传动腔体的结构示意图；
[0023]图2为本技术实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体的结果示意图；
[0024]图3为本技术实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第一种形式的结构示意图；
[0025]图4为本技术实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第二种形式的结构示意图；
[0026]图5为本技术实施例提供的分体式镀膜设备中工作腔体第三种形式的结构示意图。
[0027]图中：1
‑
传动腔体；101
‑
传动机构；1011
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传动轮；1012
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传送带；102
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进货口；103
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出货口；104
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对位件；2
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第一缸体；201
‑
第一安装接口；3
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第二缸体；4
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第三缸体；5
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锁定件；6
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吊装构件；7
‑
靶材机构。
具体实施方式
[0028]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围，而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分体式镀膜设备，其特征在于，包括传动腔体、工作腔体和锁定件；所述传动腔体的边缘形成有对位件，所述工作腔体对应所述对位件的位置形成有对位部，所述对位件进入所述对位部以使所述工作腔体与所述传动腔体对位连接；所述锁定件的一端能够穿过所述工作腔体和所述传动腔体，以将所述工作腔体和所述传动腔体相锁定。2.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述传动腔体内设有传动机构，所述传动机构沿所述传动腔体的长度方向延伸，所述传动腔体在长度方向上的一端开设有进货口，另一端开设有出货口，且所述进货口和所述出货口与所述传动机构的两端相对位。3.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第一缸体，所述第一缸体与所述传动腔体可拆卸连接，所述第一缸体上形成有四个第一安装接口，四个所述第一安装接口沿所述第一缸体的周向间隔设置。4.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第二缸体，所述第二缸体上形成有第二安装接口，且所述第二安装接口位于所述第二缸体的侧部。5.根据权利要求1所述的分体式镀膜设备，其特征在于，所述工作腔体包括第三缸体，所述第三缸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君，
申请(专利权)人：沈阳爱科斯科技有限公司，
类型：新型
国别省市：