本实用新型专利技术提供一种电子级硫酸包装桶清洗装置，涉及电子级化学品用包装桶清洗装置领域，包括一个六面封闭的操作柜，操作柜顶部设有用于将包装桶放入操作柜内清洗的开口；操作柜内设有操作层；操作柜与操作层之间设有支撑板，支撑板上设有多个用于放置支撑架的通孔，支撑架卡在通孔上；包装桶桶口朝下倒立的卡在支撑架上；清洗管路包括操作层与支撑板之间主管路、与主管路连通并穿过通孔并穿入包装桶内的多条分支管路Ⅰ，分支管路Ⅰ顶端固定旋转喷头；氮气管通过三通与主管路连通后，连通处位于超纯水控制阀与分支管路Ⅰ之间，氮气管上设有氮气控制阀；有益效果：采用集成管路设计，倒立清洗包装桶，桶内残液能尽快排净，一次清洗多个桶。多个桶。多个桶。
【技术实现步骤摘要】
一种电子级硫酸包装桶清洗装置
[0001]本技术属于半导体行业中电子级化学品用包装桶清洗装置领域，尤其是涉及一种电子级硫酸包装桶清洗装置。
技术介绍
[0002]电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸，属于超净高纯试剂，是一种微电子技术发展过程中不可缺少的关键基础化学试剂。目前广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂。随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加，供不应求，电子级硫酸有着良好的应用前景。
[0003]由于电子级硫酸产品纯度高，进而电子级硫酸产品在包装中应尽可能的保证包装物的洁净度，减少杂质的混入影响电子级硫酸产品的纯度，因此需要对包装容器重点清洗。
[0004]前期申请人清洗采用手动方式，即在包装桶内灌入超纯水，然后通过人为的晃动并使用辅助工具在里面搅拌来进行清洗，该方式一次清洗的数量有限，而且工作量大，耗用人力多，清洗效果不稳定。
[0005]因此我们研制了一种用电子级硫酸包装桶的清洗装置来解决上述问题。
技术实现思路
[0006]为了解决上述问题，本技术提供一种清洗类型多样，多数量、多规格包装桶一次清洗，清洗效果好的电子级硫酸包装桶清洗装置。
[0007]本技术的技术方案是：
[0008]一种电子级硫酸包装桶清洗装置，包括一个六面封闭整体采用PP材质的操作柜，所述操作柜顶部设有用于将包装桶放入操作柜内清洗的开口；
[0009]所述操作柜外壁、开口周围活动连接采用透明材质能够将开口打开或封闭的封闭门，所述封闭门的作用为包装桶清洗时，避免清洗水外溅；
[0010]所述操作柜底部的四个角均固定有支撑腿、滑轮方便操作柜移动及固定；
[0011]所述操作柜内设有操作层，所述操作层的四周与操作柜的四个侧壁固定连接；
[0012]所述操作柜上设有出水口，所述操作层呈倾斜式，所述出水口位于倾斜面下倾的最低处，排水管与所述出水口连通；
[0013]所述操作层成台阶状，包括位于上层用于清洗4L包装桶的清洗区Ⅰ及下层用于清洗20L包装桶的清洗区Ⅱ；
[0014]所述清洗区Ⅰ内设有6个清洗工位，所述清洗区Ⅱ内设有2个清洗工位，一次性能清洗6个4L包装桶、2个20L包装桶；
[0015]所述操作柜与操作层之间设有支撑板，所述支撑板与操作柜内侧壁固定连接，支撑板上设有多个用于放置支撑架的通孔，所述支撑架卡在通孔上；所述包装桶桶口朝下倒立的卡在支撑架上；
[0016]所述清洗管路包括操作层与支撑板之间主管路、与所述主管路连通并穿过通孔并
穿入包装桶内的多条分支管路Ⅰ，多条所述分支管路Ⅰ顶端均固定有旋转喷头，所述包装桶桶口朝下倒立的扣在旋转喷头上，所述包装桶外壁及底部被支撑架支撑且旋转喷头距包装桶内的桶底具有一定距离，所述主管路上设有超纯水控制阀，所述主管路的一端与超纯水源连通，超纯水电阻率≥18.2MΩ、金属离子含量＜2ppt、颗粒物水平@0.1um＜10pcs/ml，工作状态下超纯水的水压大于2.5kg/cm2；
[0017]氮气管位于所述主管路的上方、操作层与支撑板之间，所述氮气管通过三通与主管路连通，连通后，所述氮气管与主管路连通处位于超纯水控制阀与分支管路Ⅰ之间，所述氮气管上设有氮气控制阀，所述氮气管与氮气源连通，超纯氮气的纯度为99.9999％以上,工作状态下超纯氮气的压力大于4.5g/cm2；
[0018]所述操作层上设有电阻率测试仪，电阻率测试仪位于所述操作层的中部，所述电阻率测试仪实时检测清洗后废水的电阻率，若电阻率≥18.2MΩ,认为包装桶内部已清洗干净。
[0019]清洗管用来清洗所述包装桶外表面，所述清洗管的一端分支后分别与氮气源、超纯水源连通，分支的管路上分别设有氮气控制阀、超纯水控制阀，所述清洗管的另一端分支呈多条分支管路Ⅱ后分别固定在操作柜内部的顶面，所述分支管路Ⅱ前端固定有喷头，所述喷头对准其底部的包装桶。
[0020]进一步，清洗管的一端与主管路连通后连通超纯水源、氮气源，清洗管与主管路连通处位于氮气管与分支管路Ⅰ之间；所述清洗管采用波纹软管；
[0021]本清洗装置还包括用于提供动力源的泵，控制柜电连接所述电阻率测试仪、超纯水控制阀、氮气控制阀、泵，所述电阻率测试仪将检测信息实时上传到控制柜，通过所述控制柜内的程序设置清洗时间及吹扫时间；
[0022]进一步，所述支撑板上设有凹于支撑板顶面的清洗盒，所述清洗盒内用于清洗包装桶的桶盖，所述清洗盒底部设有出水管，所述出水管与排水管连通，一条所述分支管路Ⅱ上的喷头对准清洗盒内；
[0023]本技术的有益效果为：
[0024]1、本清洗装置的设计为八个卡位，其中6个4L包装桶卡位，2个20L包装桶卡位，清洗类型多样，多数量、多规格包装桶一次清洗。
[0025]2、本电子级硫酸包装桶清洗装置采用集成管路设计，超纯水管路与氮气管路通用主管路及分支管路Ⅰ，通过超纯水控制阀、氮气控制阀来切换状态，因此多数量、多规格包装桶一次清洗。
[0026]3、包装桶清洗方式为倒放式清洗，使清洗后的包装桶内部残液尽可能排净，通过加入超纯氮气吹扫程序，保证清洗后包装桶的干燥状态，清洗装置可以根据控制柜内程序设置清洗时间及吹扫时间，超纯水的清洗时间及超纯氮气的吹扫时间都可以灵活设置。
[0027]4、包装桶清洗剂为超纯水：超纯水电阻率≥18.2MΩ、金属离子含量＜2ppt、颗粒物水平@0.1um＜10pcs/ml，为进一步保证清洗后的包装桶洁净度，当超纯水清洗结束时，清洗管嘴会切换至超纯氮气，超纯氮气的纯度为99.9999％，包装桶内部使用超纯氮气进行吹扫，将包装桶内壁吹扫干净。
[0028]5、包装桶倒放在清洗卡位上，旋转喷头置于包装桶内部，采用旋转喷头，将超纯水均匀的分布，保证包装桶清洗时不留死角。
[0029]6、清洗后的废水顺着操作层的下倾面向下流至低处，由排水管排出，操作层上设有电阻率测试仪，电阻率测试仪位于操作层的中部，电阻率测试仪实时检测清洗后废水的电阻率，若电阻率≥18.2MΩ,认为包装桶内部已清洗干净。
[0030]7、操作柜上设有开式透明封闭门，包装桶清洗时，避免清洗水外溅。
[0031]8、操作柜底部设置滑动滑轮、支撑腿方便移动及固定。
附图说明
[0032]图1是本技术电子级硫酸包装桶清洗装置示意图；
[0033]图2是本技术电子级硫酸包装桶清洗装置左视图；
[0034]图3是本技术电子级硫酸包装桶清洗装置右视图；
[0035]图4是本技术电子级硫酸包装桶清洗装置俯视图；
[0036]图中：
[0037]1、操作柜 2、支撑架 3、旋转喷头
[0038]4、喷头 5、封闭门 6、超纯水控制阀
[0039]7、氮气控制阀 8、电阻率测试仪 9、滑轮
[0040]10、支撑腿 11、开口 12、操本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电子级硫酸包装桶清洗装置，其特征在于：包括一个六面封闭的操作柜，所述操作柜顶部设有用于将包装桶放入操作柜内清洗的开口；所述操作柜内设有操作层，所述操作层的四周与操作柜的四个侧壁固定连接；所述操作柜与操作层之间设有支撑板，所述支撑板与操作柜内侧壁固定连接，支撑板上设有多个用于放置支撑架的通孔，所述支撑架卡在通孔上；所述包装桶的桶口朝下倒立的卡在支撑架上；清洗管路包括操作层与支撑板之间主管路、与所述主管路连通并穿过通孔并穿入包装桶内的多条分支管路Ⅰ，多条所述分支管路Ⅰ顶端均固定有旋转喷头，所述包装桶桶口朝下倒立的扣在旋转喷头上，所述包装桶外壁及底部被支撑架支撑且旋转喷头距包装桶内的桶底具有一定距离，所述主管路上设有超纯水控制阀，所述主管路的一端与超纯水源连通；氮气管位于所述主管路的上方、操作层与支撑板之间，所述氮气管通过三通与主管路连通，连通后所述氮气管与主管路连通处位于超纯水控制阀与分支管路Ⅰ之间，所述氮气管上设有氮气控制阀，所述氮气管与氮气源连通。2.根据权利要求1所述的一种电子级硫酸包装桶清洗装置，其特征在于：所述清洗管的一端分支后分别与氮气源、超纯水源连通，分支的管路上分别设有氮气控制阀、超纯水控制阀，所述清洗管的另一端分支呈多条分支管路Ⅱ后分别固定在操作柜内部的顶面，所述分支管路Ⅱ前端固定有喷头，所述喷头对准其底部的包装桶。3.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸包装桶清洗装置，其特征在于：清洗管的一端与主管路连通后连通超纯水源、氮气源，清洗管与主管路连通处位于氮气管与分支管路Ⅰ之间。4.根据权利要求2所述的一种电子级硫酸包装桶清洗装置，其特征在于：所述操作层上设有电阻率测试仪。5.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员：尚小科，
申请(专利权)人：天津环渤新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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