一种晶圆烘干装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆烘干装置，属于晶圆加工制造技术领域，包括烘干箱体，在烘干箱体前侧铰接有箱门，在烘干箱体内部从下至上依次固定设置有多个固定框，多个固定框相互平行设置，在固定框的前侧内壁上转动设置有转动块，在转动块另一侧端面上固定连接有伸缩气缸，在伸缩气缸的伸缩端固定设置有前夹持板，在固定框的后侧内壁上转动设置由转动杆，在转动杆靠近前夹持板的一端固定设置有后夹持板，其中转动杆的轴线与伸缩气缸以及转动块的轴线重合，在烘干箱体右侧壁底部还连通设置有热风机，在烘干箱体左侧壁顶部开设有出风口。通过上述设置可以在最大程度上实现晶圆两面同时烘干，进而实现对晶圆性能的保护效果。进而实现对晶圆性能的保护效果。进而实现对晶圆性能的保护效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆烘干装置


[0001]本技术属于晶圆加工制造
，具体涉及一种晶圆烘干装置。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片。在芯片的制造过程中，需要图形转移工艺，其中包括光刻工艺。光刻工艺是一种图形复印技术，是芯片制造工艺中一项关键的技术。简单来说，光刻受到照相技术的启发，利用光刻胶感光特性，将光刻掩膜板的图形精确地复印到涂在晶圆上的光刻胶上。在将光刻胶旋涂到晶圆之前，因为晶圆表面容易吸附潮气，从而会影响光刻胶的粘附性，所以需要对晶圆表面进行烘干。
[0003]如公告号为CN212370521U的专利文件所提出的一种快速均匀的晶圆烘干装置，其设置了包括固定烘干外箱、移动烘干架、第一晶圆托板、第二晶圆托板等在内的结构，通过热风沿着第一晶圆托板和第二晶圆托板上升，对途径的晶圆进行很好的干燥处理，并携带水气通过第一出风口和第二出风口排出，以此来对多组晶圆进行快速的烘干处理，实现了省时省力以及提高工作效率的效果。通读上述文件发现以下问题：由于晶圆有正反两面之分，而上述装置通过将晶圆放置在晶圆存放槽内的晶圆托块上，来对晶圆进行烘干处理，这将就会出现晶圆其中的一面始终朝下另一面始终朝上，这样就可能会导致将当其中一面已经烘干时，另一面还未烘干，值得继续对晶圆进行烘干，而长时间对已烘干的一面晶圆进行烘干，就有可能会对晶圆的性能造成损坏。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆烘干装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了实现上述目的，本申请采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆烘干装置，包括烘干箱体，在所述烘干箱体前侧铰接有箱门，在所述烘干箱体内部从下至上依次固定设置有多个固定框，多个所述固定框相互平行设置，在所述固定框的前侧内壁上转动设置有转动块，在所述转动块另一侧端面上固定连接有伸缩气缸，在所述伸缩气缸的伸缩端固定设置有前夹持板，在所述固定框的后侧内壁上转动设置由转动杆，在所述转动杆靠近前夹持板的一端固定设置有后夹持板，其中所述转动杆的轴线与伸缩气缸以及转动块的轴线重合，在所述烘干箱体右侧壁底部还连通设置有热风机，在所述烘干箱体左侧壁顶部开设有出风口。
[0007]优选的，在所述烘干箱体的后侧外壁上还固定安装有多个步进电机，且所述转动杆贯穿固定框以及烘干箱体并与步进电机的输出轴固定连接。
[0008]优选的，所述前夹持板与后夹持板均为弧形设置，且所述伸缩气缸、转动杆分别固定连接在前夹持板、后夹持板的中部。
[0009]优选的，在所述前夹持板以及后夹持板的内侧壁上均开设有晶圆槽。
[0010]优选的，在所述烘干箱体上还安装有四个滚轮，四个所述滚轮等均分布在烘干箱
体的底部端面上。
[0011]优选的，其中四个所述滚轮均为万向轮设置。
[0012]综上所述，本技术的技术效果和优点：
[0013]1.通过设置转动块、伸缩气缸、转动杆、前夹持板以及后夹持板，通过对晶圆进行夹持，同时转动转动杆可以使晶圆一边转动一边进行烘干，从而使晶圆的两面都能均衡的实现烘干效果，从而在最大程度上实现晶圆两面同时烘干，进而实现对晶圆性能的保护效果。
[0014]2.通过弧形设置前夹持板与后夹持板，可以使晶圆侧壁与前夹持板以及后夹持板更加贴合，保证了对晶圆的夹持效果。
[0015]3.通过晶圆槽的开设，可以使对晶圆的夹持更加稳定，减少晶圆掉落的风险，增加晶圆烘干装置的安全性。
附图说明
[0016]图1为本技术结构示意图；
[0017]图2为本技术另一角度示意图；
[0018]图3为本技术剖视结构图；
[0019]图4为图3中A部放大示意图。
[0020]图中：1、烘干箱体；2、箱门；3、固定框；4、转动块；5、伸缩气缸；6、前夹持板；7、转动杆；8、后夹持板；9、热风机；10、出风口；11、步进电机；12、晶圆槽；13、滚轮。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0022]为了更好的理解上述技术方案，下面将结合说明书附图以及具体的实施方式对上述技术方案进行详细的说明。
[0023]如图1
‑
4所示一种晶圆烘干装置，包括烘干箱体1，在烘干箱体1前侧铰接有箱门2，在烘干箱体1内部从下至上依次固定设置有多个固定框3，多个固定框3相互平行设置。
[0024]进一步的，固定框3的前侧内壁上转动设置有转动块4，在转动块4另一侧端面上固定连接有伸缩气缸5，在伸缩气缸5的伸缩端固定设置有前夹持板6，在固定框3的后侧内壁上转动设置由转动杆7。
[0025]更进一步的，在烘干箱体1的后侧外壁上还固定安装有多个步进电机11，且转动杆7贯穿固定框3以及烘干箱体1并与步进电机11的输出轴固定连接，在转动杆7靠近前夹持板6的一端固定设置有后夹持板8，其中转动杆7的轴线与伸缩气缸5以及转动块4的轴线重合，且前夹持板6以及后夹持板8均为水平设置。
[0026]同时，在烘干箱体1右侧壁底部还连通设置有热风机9，在烘干箱体1左侧壁顶部开设有出风口10。
[0027]需要说明的是：通过调节伸缩气缸5使其伸缩端收缩，再将待烘干的晶圆放置在前夹持板6与后夹持板8之间，通过再次调节伸缩气缸5使其伸缩端向外伸出，同时带动前夹持
板6向后夹持板8移动，进而对晶圆进行夹持，然后启动步进电机11，使步进电机11带动转动杆7转动，由于转动块4的设置，使伸缩气缸5也可以转动，从而带动晶圆转动。同时启动热风机9，来对烘干箱体1内的晶圆进行烘干。通过上述设置，可以使晶圆一边转动一边进行烘干，从而使晶圆的两面都能均衡的实现烘干效果，从而在最大程度上实现晶圆两面同时烘干，进而实现对晶圆性能的保护效果。
[0028]如图3、4所示，前夹持板6与后夹持板8均为弧形设置，且伸缩气缸5、转动杆7分别固定连接在前夹持板6、后夹持板8的中部，在前夹持板6以及后夹持板8的内侧壁上均开设有晶圆槽12。
[0029]通过上述设置，弧形设置前夹持板6与后夹持板8，可以使晶圆侧壁与前夹持板6以及后夹持板8更加贴合，保证了对晶圆的夹持效果；同时晶圆槽12的开设，可以使对晶圆的夹持更加稳定，减少晶圆掉落的风险，增加晶圆烘干装置的安全性。
[0030]如图1、2所示，在烘干箱体1上还安装有四个滚轮13，四个滚轮13等均分布在烘干箱体1的底部端面上，且其中四个滚轮13均为万向轮设置。
[0031]通过安装滚轮13可以对晶圆烘干装置进行移动，体现晶圆烘干装置的实用性；通过万向轮更加便于对晶远烘干装置进行移动，体现晶圆烘干装置的实用性。
[0032]工作原理：通过调节伸缩气缸5使其伸缩端收缩，再将待烘干的晶圆放置在前夹持板6与后夹持板8之间，通过再次调节伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆烘干装置，包括烘干箱体（1），其特征在于：在所述烘干箱体（1）前侧铰接有箱门（2），在所述烘干箱体（1）内部从下至上依次固定设置有多个固定框（3），多个所述固定框（3）相互平行设置，在所述固定框（3）的前侧内壁上转动设置有转动块（4），在所述转动块（4）另一侧端面上固定连接有伸缩气缸（5），在所述伸缩气缸（5）的伸缩端固定设置有前夹持板（6），在所述固定框（3）的后侧内壁上转动设置由转动杆（7），在所述转动杆（7）靠近前夹持板（6）的一端固定设置有后夹持板（8），其中所述转动杆（7）的轴线与伸缩气缸（5）以及转动块（4）的轴线重合，在所述烘干箱体（1）右侧壁底部还连通设置有热风机（9），在所述烘干箱体（1）左侧壁顶部开设有出风口（10）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆烘干装置，其特征在于：在所述烘干箱...

【专利技术属性】
技术研发人员：邱德强，陈忠，
申请(专利权)人：南通皋鑫电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：