本公开提供了一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统，可拆卸连接装置包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。体进入或退出容纳腔。体进入或退出容纳腔。
【技术实现步骤摘要】
可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统
[0001]本公开涉及机械连接装置领域，特别涉及一种可拆卸连接装置、样品架及真空进样系统。
技术介绍
[0002]机械连接装置，尤其是可拆卸连接装置，广泛应用于生产、生活的各个领域，例如真空领域。真空系统，尤其是超高真空系统(例如，分子束外延系统)，是进行真空实验和生产中的重要基础，一般由真空腔、真空泵等部件通过真空管道的连接，按照需求组合形成整体系统，从而保证样品在实验过程或生产过程中一直处于真空环境下，以防止样品在大气环境中出现损坏。
[0003]在传统技术中，待处理的样品通过真空管道内的机械手逐个转移至固定在真空腔中的样品架上，这种方式转移样品效率低、容易发生掉样，且样品架无法取出，维护修理不便，缩短设备使用寿命，提高生产成本。
技术实现思路
[0004]本公开提供了一种可拆卸连接装置，其特征在于，包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在框架主体上且至少部分位于容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在容纳腔内；第二滑动组件，设置在连接主体上，与第一滑动组件滑动配合，用于使连接主体进入或退出容纳腔。
[0005]本公开提供了一种样品架，其特征在于，包括：如本公开中任意一项实施例的可拆卸连接装置；架体，与可拆卸连接装置的连接组件固定连接，用于承载样品。
[0006]本公开提供了一种真空进样系统，其特征在于，包括：真空腔；如本公开中任意一项实施例的样品架，样品架至少部分设置在真空腔内。
附图说明
[0007]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0008]图1示出根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置的结构示意图；
[0009]图2示出根据本公开一些实施例的框架组件的结构示意图；
[0010]图3示出根据本公开一些实施例的框架组件的仰视图；
[0011]图4示出根据本公开一些实施例的连接组件的结构示意图；
[0012]图5示出根据本公开一些实施例的锁钩与锁定结构的配合状态的局部放大图；
[0013]图6示出根据本公开一些实施例的样品架的部分结构示意图；以及
[0014]图7示出根据本公开一些实施例的真空进样系统的部分结构示意图。
[0015]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0016]100可拆卸连接装置
[0017]10框架组件
[0018]11框架主体
[0019]111容纳腔
[0020]114容纳口
[0021]112开口
[0022]113安装孔
[0023]12第一滑动组件
[0024]121a、121b底部滑轨
[0025]121c、121d侧面滑轨
[0026]1212a、1212b、1212c导向面
[0027]13锁定组件
[0028]131锁钩
[0029]1311第一锁定斜面
[0030]132限位件
[0031]133导向轮
[0032]134轴承
[0033]135轴承安装件
[0034]14限位板
[0035]20连接组件
[0036]21连接主体
[0037]22第二滑动件
[0038]221a、221b、221c、221d侧面滑轮
[0039]221e、221f、221g、221h顶部滑轮
[0040]23锁定结构
[0041]231第二锁定斜面
[0042]24限位组件
[0043]241调节座
[0044]242调节栓
[0045]1000样品架
[0046]200架体
[0047]201顶板
[0048]202底板
[0049]203支架
[0050]204样品托
[0051]300挂杆
[0052]400线性驱动装置
[0053]500真空法兰
[0054]1真空进样系统
具体实施方式
[0055]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0056]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0057]图1示出根据本公开一些实施例的可拆卸连接装置100的结构示意图。
[0058]图2示出根据本公开一些实施例的框架组件10的结构示意图。图3示出根据本公开一些实施例的框架组件10的仰视图。
[0059]如图1～3所示，可拆卸连接装置100可以包括框架组件10和连接组件20。框架组件10可以包括框架主体11和第一滑动组件12。框架主体11可以包括容纳腔111。第一滑动组件12设置在框架主体11上且至少部分位于容纳腔111内。
[0060]如图1～3所示，在本公开的一些实施例中，第一滑动组件12可以包括一个或多个滑轨，滑轨设置在容纳腔111的内壁上。框架主体11包括设置在容纳腔111底部的开口112。一个或多个滑轨可以包括设置在容纳腔111底部内壁上且位于开口112两侧的多个底部滑轨(例如，底部滑轨121a、底部滑轨121b)。
[0061]本领域技术人员可以理解，虽然本公开的图1～图3中仅示出两条底部滑轨，但底部滑轨的数量也可以小于或大于两条。
[0062]如图1～3所示，在本公开的一些实施例中，一个或多个滑轨还可以包括设置在容纳腔111侧壁上且位于开口112两侧的多个侧面滑轨(例如，侧面滑轨121c、侧面滑轨121d)。侧面滑轨(例如，侧面滑轨121c、侧面滑轨121d)可以本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可拆卸连接装置，其特征在于，包括：框架组件，包括：框架主体，包括容纳腔；第一滑动组件，设置在所述框架主体上且至少部分位于所述容纳腔内；连接组件，包括：连接主体，用于可拆卸地至少部分容纳在所述容纳腔内；第二滑动组件，设置在所述连接主体上，与所述第一滑动组件滑动配合，用于使所述连接主体进入或退出所述容纳腔。2.根据权利要求1所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述第一滑动组件，包括：一个或多个滑轨，设置在所述容纳腔的内壁上；所述第二滑动组件，包括：一组或多组滑轮或滑块，设置在所述连接主体上，与所述一个或多个滑轨相配合。3.根据权利要求2所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述框架主体包括设置在所述容纳腔底部的开口；所述一个或多个滑轨包括设置在所述容纳腔底部内壁上且位于开口两侧的多个底部滑轨；以及所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体侧面的多组侧面滑轮或侧面滑块，用于与所述多个底部滑轨配合。4.根据权利要求3所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述一个或多个滑轨还包括设置在所述容纳腔侧壁上且位于开口两侧的多个侧面滑轨；所述一组或多组滑轮或滑块包括设置在所述连接主体顶部的多组顶部滑轮或顶部滑块，用于与所述多个侧面滑轨配合。5.根据权利要求1所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述第一滑动组件，包括：一组或多组滑轮或滑块，设置在所述容纳腔内；所述第二滑动组件，包括：一个或多个滑轨，设置在所述连接主体上，与所述一组或多组滑轮或滑块相配合。6.根据权利要求1所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述框架主体包括“凹”字型结构，所述连接主体包括与“凹”字型结构配合的“几”字型结构。7.根据权利要求1～6中任一项所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述连接组件还包括锁定结构，设置在所述连接主体上，所述框架组件还包括与所述容纳腔连通的容纳口以及设置在容纳口端的锁定组件，用于与所述锁定结构相配合，以将连接主体锁定在所述容纳腔内。8.根据权利要求7所述的可拆卸连接装置，其特征在于，所述锁定组件包括：锁钩，转动设置在所述框架主体上，所述锁钩包括设置在末端的第一...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵嘉峰，葛九文，谢斌平，张朱锋，郭维，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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