【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有高尺寸稳定性的聚酰亚胺膜及其制造方法
[0001]本专利技术涉及即使在涂布、溅射或蒸镀金属箔后也维持平坦性而不产生褶皱的聚酰亚胺膜及其制造方法。
技术介绍
[0002]聚酰亚胺(polyimide,PI)是以刚性芳香族主链以及化学稳定性十分优异的酰亚胺环为基础的在有机材料中具有最高水平的耐热性、耐试剂性、电绝缘性、耐化学性、耐候性的高分子材料。
[0003]聚酰亚胺膜作为要求上述特性的多种电子设备的材料而备受瞩目。
[0004]作为应用聚酰亚胺膜的微电子部件的例子,可以举出为了能够应对电子产品的轻量化和小型化而电路集成度高且柔性的薄型电路基板,聚酰亚胺膜尤其广泛用作薄型电路基板的绝缘膜。
[0005]上述薄型电路基板一般为在绝缘膜上形成有包含金属箔的电路的结构,广义上将这样的薄型电路基板称为柔性金属箔层叠板(Flexible Metal Foil Clad Laminate),在利用薄铜板作为金属箔时,狭义上也称为柔性铜箔层叠板(Flexible Copper Clad Laminate;FCCL)。
[0006]作为柔性金属箔层叠板的制造方法,例如,可以举出:(i)在金属箔上流延(casting)或涂布作为聚酰亚胺的前体的聚酰胺酸后进行酰亚胺化的流延法;(ii)利用溅射(Sputtering)而在聚酰亚胺膜上直接设置金属层的金属化法;以及(iii)通过热塑性聚酰亚胺并利用热和压力使聚酰亚胺膜与金属箔接合的层压法。
[0007]特别是,金属化法是例如在20至38μm厚度的聚 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种聚酰亚胺膜,其在利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪TMA进行的尺寸变化测定中,满足以下式(1),式(1)冷却且50℃时的TD方向尺寸测定值
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升温且50℃时的TD方向尺寸测定值<0μm所述式1中,冷却且50℃时的TD方向尺寸测定值为在冷却过程中在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值,升温且50℃时的TD方向尺寸测定值为在升温过程中在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值。2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其MD方向的热膨胀系数为2~6.5ppm/℃,TD方向的热膨胀系数为1~6ppm/℃。3.根据权利要求2所述的聚酰亚胺膜,所述MD方向的热膨胀系数减去所述TD方向的热膨胀系数后的值为0以上2.5ppm/℃以下。4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其弹性模量为5GPa以上11GPa以下,玻璃化转变温度为360℃以上400℃以下。5.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其通过使酸二酐成分与二胺成分进行酰亚胺化反应来获得,所述酸二酐成分为选自由以下化合物组成的组中的一种以上:均苯四甲酸二酐(PMDA)、氧双邻苯二甲酸酐(ODPA)、3,3',4,4'
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联苯四甲酸二酐(s
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BPDA)、2,3,3',4'
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联苯四甲酸二酐(a
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BPDA)、二苯基砜
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3,4,3',4'
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四甲酸二酐(DSDA)、双(3,4
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二羧基苯基)硫醚二酐、2,2
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双(3,4
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二羧基苯基)
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1,1,1,3,3,3
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六氟丙烷二酐、2,3,3',4'
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二苯甲酮四甲酸二酐、3,3',4,4'
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二苯甲酮四甲酸二酐(BTDA)、双(3,4
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二羧基苯基)甲烷二酐、2,2
‑
双(3,4
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二羧基苯基)丙烷二酐、对亚苯基双(偏苯三酸单酯酸酐)、对亚联苯双(偏苯三酸单酯酸酐)、间三联苯
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3,4,3',4'
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四甲酸二酐、对三联苯
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3,4,3',4'
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四甲酸二酐、1,3
‑
双(3,4
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二羧基苯氧基)苯二酐、1,4
‑
双(3,4
‑
二羧基苯氧基)苯二酐、1,4
‑
双(3,4
‑
二羧基苯氧基)联苯二酐、2,2
‑
双〔(3,4
‑
二羧基苯氧基)苯基〕丙烷二酐(BPADA)、2,3,6,7
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萘四甲酸二酐、1,4,5,8
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萘四甲酸二酐以及4,4'
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(2,2
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六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸二酐,所述二胺成分为选自由以下化合物组成的组中的一种以上:对苯二胺(PPD)、间苯二胺、3,3'
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二甲基联苯胺、2,2'
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二甲基联苯胺、2,4
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二氨基甲苯、2,6
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二氨基甲苯、3,5
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二氨基苯甲酸(DABA)、4,4'
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二氨基二苯醚(ODA)、3,4'
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二氨基二苯醚、4,4'
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二氨基二苯甲烷(亚甲基二胺)、3,3'
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二甲基
‑
4,4'
‑
二氨基联苯、2,2'
‑
二甲基
‑
4,4'
‑
二氨基联苯、2,2'
‑
双(三氟甲基)
‑
4,4'
‑
二氨基联苯、3,3'
‑
二甲基
‑
4,4'
‑
二氨基二苯甲烷、3,3'
‑
二羧基
‑
4,4'
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二氨基二苯甲烷、3,3',5,5'
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四甲基
‑
4,4'
‑
二氨基二苯甲烷、双(4
‑
氨基苯基)硫醚、4,4'
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二氨基苯甲酰苯胺、3,3'
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二甲氧基联苯胺、2,2'
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二甲氧基联苯胺、3,3'
‑
二氨基二苯醚、3,4'
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二氨基二苯醚、4,4'
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二氨基二苯醚、3,3'
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二氨基二苯基硫醚、3,4'
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二氨基二苯基硫醚、4,4'
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二氨基二苯基硫醚、3,3'
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二氨基二苯基砜、3,4'
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二氨基二苯基砜、4,4'
‑
二氨基二苯基砜、3,3'
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二氨基二苯甲酮、4,4'
‑
二氨基二苯甲酮、3,3'
‑
二氨基
‑
4,4'
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二氯二苯甲酮、3,3'
‑
二氨基
‑
4,4'
‑
二甲氧基二苯甲酮、3,3'
‑
二氨基二苯甲
烷、3,4'
‑
二氨基二苯甲烷、4,4'
‑
二氨基二苯甲烷、2,2
‑
双(3
‑
氨基苯基)丙烷、2,2
‑
双(4
‑
氨基苯基)丙烷、2,2
‑
双(3
‑
氨基苯基)
‑
1,1,1,3,3,3
‑
六氟丙烷、2,2
‑
双(4
‑
氨基苯基)
‑
1,1,1,3,3,3
‑
六氟丙烷、3,3'
‑
二氨基二苯基亚砜、3,4'
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二氨基二苯基亚砜、4,4'
‑
二氨基二苯基亚砜、1,3
‑
双(3
‑
氨基苯基)苯、1,3
‑
双(4
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氨基苯基)苯、1,4
‑
双(3
‑
氨基苯基)苯、1,4
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双(4
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氨基苯基)苯、1,3
‑
双(4
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氨基苯氧基...
【专利技术属性】
技术研发人员:金烔暎,柳大建,元东荣,
申请(专利权)人:聚酰亚胺先端材料有限公司,
类型:发明
国别省市:
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