具有高尺寸稳定性的聚酰亚胺膜及其制造方法技术

技术编号:38154562 阅读:8 留言:0更新日期:2023-07-13 09:21
本发明专利技术提供聚酰亚胺膜及其制造方法,上述聚酰亚胺膜在利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪(TMA)进行的尺寸变化测定中,满足以下式(1)。式(1)TD方向尺寸测定值(冷却,50℃)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有高尺寸稳定性的聚酰亚胺膜及其制造方法


[0001]本专利技术涉及即使在涂布、溅射或蒸镀金属箔后也维持平坦性而不产生褶皱的聚酰亚胺膜及其制造方法。

技术介绍

[0002]聚酰亚胺(polyimide,PI)是以刚性芳香族主链以及化学稳定性十分优异的酰亚胺环为基础的在有机材料中具有最高水平的耐热性、耐试剂性、电绝缘性、耐化学性、耐候性的高分子材料。
[0003]聚酰亚胺膜作为要求上述特性的多种电子设备的材料而备受瞩目。
[0004]作为应用聚酰亚胺膜的微电子部件的例子,可以举出为了能够应对电子产品的轻量化和小型化而电路集成度高且柔性的薄型电路基板,聚酰亚胺膜尤其广泛用作薄型电路基板的绝缘膜。
[0005]上述薄型电路基板一般为在绝缘膜上形成有包含金属箔的电路的结构,广义上将这样的薄型电路基板称为柔性金属箔层叠板(Flexible Metal Foil Clad Laminate),在利用薄铜板作为金属箔时,狭义上也称为柔性铜箔层叠板(Flexible Copper Clad Laminate;FCCL)。
[0006]作为柔性金属箔层叠板的制造方法,例如,可以举出:(i)在金属箔上流延(casting)或涂布作为聚酰亚胺的前体的聚酰胺酸后进行酰亚胺化的流延法;(ii)利用溅射(Sputtering)而在聚酰亚胺膜上直接设置金属层的金属化法;以及(iii)通过热塑性聚酰亚胺并利用热和压力使聚酰亚胺膜与金属箔接合的层压法。
[0007]特别是,金属化法是例如在20至38μm厚度的聚酰亚胺膜上溅射铜等金属而依次蒸镀粘接(Tie)层、种子(Seed)层,由此生产柔性金属箔层叠板的方法,有利于形成电路图案的间距(pitch)为35μm以下的超微细电路,广泛用于制造覆晶薄膜(chip on film,COF)用柔性金属箔层叠板。
[0008]近年来,通过金属化法等而制造的柔性金属箔层叠板中所使用的聚酰亚胺膜在层叠金属箔后会发生因平坦性降低而产生褶皱的问题。
[0009]因此,迫切需要即使在层叠金属箔后也保持平坦性的聚酰亚胺膜。
[0010]以上的
技术介绍
中记载的事项是用于帮助专利技术背景的理解,可以包含并非本领域的一般技术人员已知的现有技术的事项。
[0011]现有技术文献
[0012]专利文献
[0013]专利文献1:韩国注册专利第10

1375276号
[0014]专利文献2:韩国公开专利公报第2016

0002402号

技术实现思路

[0015]技术课题
[0016]为此,本专利技术的目的在于,提供即使在涂布、溅射或蒸镀金属箔后也保持平坦性而不产生褶皱的聚酰亚胺膜。
[0017]但是,本专利技术所要解决的课题不受以上提及的课题的限制,本领域的技术人员应当能够从以下的记载中理解到没有提及的其他课题。
[0018]解决课题的方法
[0019]为了实现如上所述的目的,本专利技术的一方面提供一种聚酰亚胺膜,其在利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪(TMA)进行的尺寸变化测定中,满足以下式(1)。
[0020]式(1)
[0021]TD方向尺寸测定值(冷却,50℃)

TD方向尺寸测定值(升温,50℃)<0μm上述式1中,
[0022]TD方向尺寸测定值(冷却,50℃)为在冷却过程中在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值,
[0023]TD方向尺寸测定值(升温,50℃)为在升温过程初期在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值。
[0024]本专利技术的另一方面提供一种聚酰亚胺膜的制造方法,其是制造上述聚酰亚胺膜的方法,包括:提供由酸二酐成分和二胺成分获得的聚酰胺酸溶液的工序;将上述聚酰胺酸溶液流延涂布于支撑体上并加热,由此制造聚酰胺酸溶液的自支撑性膜的工序;以及将上述自支撑性膜进行酰亚胺化并拉伸而制造聚酰亚胺膜的工序。
[0025]本专利技术的另一方面提供包含上述聚酰亚胺膜和导电性的金属箔的柔性金属箔层叠板。
[0026]本专利技术的另一方面提供包含上述柔性金属箔层叠板的电子部件。
[0027]专利技术效果
[0028]本专利技术提供具有特定尺寸变化范围的聚酰亚胺膜,由此提供即使在层叠金属箔后平坦性也优异的聚酰亚胺膜。
[0029]这样的聚酰亚胺膜能够应用于要求具有优异的平坦性的聚酰亚胺膜的多种领域,例如,通过金属化法而制造的柔性金属箔层叠板或包含这样的柔性金属箔层叠板的电子部件。
附图说明
[0030]图1是本申请的实施例1和实施例2的膜的利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪(TMA)进行的尺寸变化测定的结果图表。
[0031]图2是本申请的比较例1至比较例3的膜的利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪(TMA)进行的尺寸变化测定的结果图表。
具体实施方式
[0032]最佳实施方式
[0033]本说明书和权利要求书范围中所使用的术语或词汇不应限定为通常或词典中的含义来进行解释,仅应当立足于专利技术人可以适当地定义术语的概念来以最佳的方法说明其专利技术的原则,按照符合本专利技术的技术思想的含义和概念进行解释。
[0034]因此,本说明书中记载的实施例的构成仅为本专利技术的最优选的一个实施例,并不代表所有本专利技术的技术思想,因此应当理解在提出本申请时可以存在能够代替这些实施例的多种等同物和变形例。
[0035]本说明书中,除非上下文中另有明确规定,则单数的表达包括复数的表达。本说明书中,应当理解的是,“包含”、“具备”或“具有”等术语旨在指定实施的特征、数字、步骤、构成要素或它们的组合的存在,并非预先排除一个以上的其他特征、数字、步骤、构成要素或它们的组合的存在或附加可能性。
[0036]本说明书中,“酸二酐”旨在包括其前体或衍生物,虽然它们在技术上可能不是酸二酐,但仍然会与二胺反应而形成聚酰胺酸,该聚酰胺酸可以再次转变为聚酰亚胺。
[0037]本说明书中,“二胺”旨在包括其前体或衍生物,虽然它们在技术上可能不是二胺,但仍然会与二酐反应而形成聚酰胺酸,该聚酰胺酸可以再次转变为聚酰亚胺。
[0038]本说明书中,在量、浓度或其他值或参数以范围、优选的范围或优选的上限值以及优选的下限值的列举来给出的情况下,应当理解为无论范围是否单独公开都具体公开了任意一对由任意上侧范围限值或优选的值以及任意下侧范围限值或优选的值所形成的所有范围。
[0039]在本说明书中提及数值范围的情况下,除非另行描述,则该范围旨在包括端点及其范围内的所有整数和分数。本专利技术的范畴并不旨在限定为定义范围时所提及的特定值。
[0040]本专利技术的一实施方式的聚酰亚胺膜在利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从40本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种聚酰亚胺膜,其在利用经历从25℃至400℃的升温过程、接着经历从400℃至25℃的冷却过程的热机械分析仪TMA进行的尺寸变化测定中,满足以下式(1),式(1)冷却且50℃时的TD方向尺寸测定值

升温且50℃时的TD方向尺寸测定值<0μm所述式1中,冷却且50℃时的TD方向尺寸测定值为在冷却过程中在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值,升温且50℃时的TD方向尺寸测定值为在升温过程中在50℃测定得到的TD方向的尺寸测定值。2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其MD方向的热膨胀系数为2~6.5ppm/℃,TD方向的热膨胀系数为1~6ppm/℃。3.根据权利要求2所述的聚酰亚胺膜,所述MD方向的热膨胀系数减去所述TD方向的热膨胀系数后的值为0以上2.5ppm/℃以下。4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其弹性模量为5GPa以上11GPa以下,玻璃化转变温度为360℃以上400℃以下。5.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜,其通过使酸二酐成分与二胺成分进行酰亚胺化反应来获得,所述酸二酐成分为选自由以下化合物组成的组中的一种以上:均苯四甲酸二酐(PMDA)、氧双邻苯二甲酸酐(ODPA)、3,3',4,4'

联苯四甲酸二酐(s

BPDA)、2,3,3',4'

联苯四甲酸二酐(a

BPDA)、二苯基砜

3,4,3',4'

四甲酸二酐(DSDA)、双(3,4

二羧基苯基)硫醚二酐、2,2

双(3,4

二羧基苯基)

1,1,1,3,3,3

六氟丙烷二酐、2,3,3',4'

二苯甲酮四甲酸二酐、3,3',4,4'

二苯甲酮四甲酸二酐(BTDA)、双(3,4

二羧基苯基)甲烷二酐、2,2

双(3,4

二羧基苯基)丙烷二酐、对亚苯基双(偏苯三酸单酯酸酐)、对亚联苯双(偏苯三酸单酯酸酐)、间三联苯

3,4,3',4'

四甲酸二酐、对三联苯

3,4,3',4'

四甲酸二酐、1,3

双(3,4

二羧基苯氧基)苯二酐、1,4

双(3,4

二羧基苯氧基)苯二酐、1,4

双(3,4

二羧基苯氧基)联苯二酐、2,2

双〔(3,4

二羧基苯氧基)苯基〕丙烷二酐(BPADA)、2,3,6,7

萘四甲酸二酐、1,4,5,8

萘四甲酸二酐以及4,4'

(2,2

六氟异亚丙基)二邻苯二甲酸二酐,所述二胺成分为选自由以下化合物组成的组中的一种以上:对苯二胺(PPD)、间苯二胺、3,3'

二甲基联苯胺、2,2'

二甲基联苯胺、2,4

二氨基甲苯、2,6

二氨基甲苯、3,5

二氨基苯甲酸(DABA)、4,4'

二氨基二苯醚(ODA)、3,4'

二氨基二苯醚、4,4'

二氨基二苯甲烷(亚甲基二胺)、3,3'

二甲基

4,4'

二氨基联苯、2,2'

二甲基

4,4'

二氨基联苯、2,2'

双(三氟甲基)

4,4'

二氨基联苯、3,3'

二甲基

4,4'

二氨基二苯甲烷、3,3'

二羧基

4,4'

二氨基二苯甲烷、3,3',5,5'

四甲基

4,4'

二氨基二苯甲烷、双(4

氨基苯基)硫醚、4,4'

二氨基苯甲酰苯胺、3,3'

二甲氧基联苯胺、2,2'

二甲氧基联苯胺、3,3'

二氨基二苯醚、3,4'

二氨基二苯醚、4,4'

二氨基二苯醚、3,3'

二氨基二苯基硫醚、3,4'

二氨基二苯基硫醚、4,4'

二氨基二苯基硫醚、3,3'

二氨基二苯基砜、3,4'

二氨基二苯基砜、4,4'

二氨基二苯基砜、3,3'

二氨基二苯甲酮、4,4'

二氨基二苯甲酮、3,3'

二氨基

4,4'

二氯二苯甲酮、3,3'

二氨基

4,4'

二甲氧基二苯甲酮、3,3'

二氨基二苯甲
烷、3,4'

二氨基二苯甲烷、4,4'

二氨基二苯甲烷、2,2

双(3

氨基苯基)丙烷、2,2

双(4

氨基苯基)丙烷、2,2

双(3

氨基苯基)

1,1,1,3,3,3

六氟丙烷、2,2

双(4

氨基苯基)

1,1,1,3,3,3

六氟丙烷、3,3'

二氨基二苯基亚砜、3,4'

二氨基二苯基亚砜、4,4'

二氨基二苯基亚砜、1,3

双(3

氨基苯基)苯、1,3

双(4

氨基苯基)苯、1,4

双(3

氨基苯基)苯、1,4

双(4

氨基苯基)苯、1,3

双(4

氨基苯氧基...

【专利技术属性】
技术研发人员:金烔暎柳大建元东荣
申请(专利权)人:聚酰亚胺先端材料有限公司
类型:发明
国别省市:

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