一种芯片装配方法组成比例

本发明专利技术提供了一种芯片装配方法，在硅片测试后利用激光在每个芯片背面的金属膜上刻印芯片标识数码时，也利用激光在芯片背部的金属膜上刻印了一个包含了芯片标识数码的凹下的边界框，使得硅片被划片后，其上的各芯片被剥离粘膜时，芯片背面边界框内的金属膜不会脱离，这样有效减少并可控制金属膜的脱离面积，可保证芯片到底座的导电率，同时也很好的保护了芯片背面标识数码的完整性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造中的芯片封装领域，特别涉及。
技术介绍
硅片的集成电路制造工艺完成后，通过电测试的硅片进入集成电路制造过程的后 道工序——单个芯片的装配和封装。现有技术中，经过了电测试和拣选的硅片通常会在其 背面，在对应于每个芯片的位置，利用激光将代表每个芯片功能、型号的标识数码刻印到硅 片背面淀积的金属膜上。此后，进入到将硅片划片的程序。在划片前，将硅片从片架上取出 并按正确的方向放到固定在刚性框架的粘膜上。该粘膜的功用为在硅片被分片为小块的芯 片时仍能保持整个硅片的完整性。划片后，由于粘膜的粘附作用，硅片仍能够被完整地转移 进行装架操作。装架时，每个通过了电测试的合格的芯片被挑选出来，与粘膜剥离，最终被 粘贴到底座或者引线框架上。但在上述将芯片与粘膜剥离时，由于粘膜的粘附力量较强，通 常会使芯片背面淀积的金属膜的边缘部分脱离，甚至可能会导致激光在该金属膜上刻印好 的表明芯片功能、型号的标识数码脱落。请参看图1，图1为现有技术中芯片与粘膜剥离时 芯片背面的金属膜脱落情况的示意图，由图1中可见，图中芯片与粘膜的剥离导致了该芯 片下方两个角上较大面积的金属膜的脱落(如图中圆圈所标示)，且金属膜脱落的形状、大 小完全不可控制，使得激光刻印的标识数码也有一部分脱落。这样，金属膜的过多脱落不但 影响了芯片到底座的导电率，也影响了芯片标识数码的完整性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供，以解决硅片被划片后，在装 架时，将芯片从粘膜剥离时芯片背面的金属膜由于粘膜的粘附力而过多的脱落的问题。为解决上述技术问题，本专利技术提供，包括步骤一，在硅片背面对应于每个芯片的位置做标记，并采用凹陷的边界框标出每 一个芯片的边界；步骤二，对硅片进行划片，分离出单个芯片；最后，装配所述芯片。可选的，所述步骤一中使用激光在硅片背面淀积的金属膜上做标记。可选的，所述标记是用于标识每个芯片功能、型号的标识数码。可选的，所述步骤一中使用激光在硅片背面淀积的金属膜上刻印出所述凹陷的边 界框。可选的，所述步骤二之前还包括将硅片从片架上取出并按正确的方向放到固定 在刚性框架上的粘膜上。可选的，所述步骤二中分离出单个芯片的步骤具体包括利用粘膜将硅片完整地 转移装架，每个通过了电测试的合格的芯片被挑选出来，与粘膜剥离。可选的，所述粘膜为蓝膜或UV膜。可选的，装配所述芯片的步骤包括将分离出的芯片粘贴到底座或者引线框架上。可选的，根据对硅片测试后得出的成品率的高低选择对硅片上所有芯片实施步骤 一或只对成品芯片实施步骤一。本专利技术提供的芯片装配方法，由于在硅片测试后利用激光在每个芯片背面的金属 膜上刻印芯片标识数码时，也利用激光在芯片背部的金属膜上刻印了一个包含了芯片标识 数码的凹下的边界框，使得硅片被划片后，其上的各芯片被剥离粘膜时，芯片背面凹下的边 界框内的金属膜不会脱落，这样有效减少并可控制金属膜的脱落面积，可保证芯片到底座 的导电率，同时也很好的保护了芯片背面标识数码的完整性。附图说明图1是现有技术中芯片与粘膜剥离时芯片背面的金属膜脱落情况的示意图；图2a 图2b是本专利技术的芯片装配方法中的激光刻印方法示意图；图3a 图3e是本专利技术的芯片装配方法过程示意图；图4是采用本专利技术所述芯片装配方法后芯片与粘膜剥离时芯片背面的金属膜脱 落情况的示意图。具体实施例方式为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本专利技术 的具体实施方式做详细的说明。本专利技术的芯片装配方法可被广泛地应用到许多工艺中，下面是通过较佳的实施例 来加以说明，当然本专利技术并不局限于该具体实施例，本领域内的普通技术人员所熟知的一 般的替换无疑地涵盖在本专利技术的保护范围内。其次，本专利技术利用示意图进行了详细描述，在详述本专利技术实施例时，为了便于说 明，示意图不依一般比例局部放大，不应以此作为对本专利技术的限定。为清楚说明本专利技术的实施及利用方法，以下将结合图2a 图2b和图3a 图3e 共同对本专利技术予以说明。请参看图3a 图3e，图3a 图3e是本专利技术的芯片装配方法过程示意图。如图3a所示，完成了集成电路制造工艺的硅片1，进入到了单个芯片的装配工序。 图3a所示的硅片1为已经经过了电测试和拣选的硅片。此后，如图3b所示，在硅片1背面 对应于每个芯片的位置做标记，并采用凹陷的边界框标出每一个芯片的边界。作为本专利技术 方法的一种实施例，采用激光5对硅片1上每个芯片的背面进行标记及边界框的刻印。请参 看图2a 图2b，图2a 图2b是本专利技术的芯片装配方法中的激光刻印方法示意图。首先， 为清楚区分识别该硅片1上所有芯片的功能、型号，利用激光5将硅片1上每个芯片的标记 刻印到硅片1背面对应于每个芯片位置的金属膜上。硅片1上单个芯片4背面被激光刻印 好的标记如图2a所示。现有技术中，在每个芯片背面的激光刻印仅限于刻印芯片标记，本 专利技术的激光刻印方法中，如图2b所示，利用激光5在每一个单个芯片4背部的金属膜上还 刻印了一个包含了芯片标记的凹陷的边界框6以标出每一个芯片的边界。所述边界框6不 能超过单个芯片4的边界，优选略小于单个芯片4的边界，这样在其后芯片与粘膜剥离的过 程中可最大程度的保护芯片背面的金属膜，减少其脱落面积。完成了激光刻印之后，硅片1进入到划片的程序，分离出单个芯片。在划片前，如 图3c所示，将硅片1从片架上取出并按正确的方向放到固定在刚性框架2上的粘膜3上。 粘膜3可为蓝膜或UV膜，所述粘膜3具有极强的粘附力，将硅片1固定于刚性框架2上。经 划片后的硅片1如图3d所示，划片时，硅片1虽被分切为单个的芯片，但由于粘膜3并未被 完全切割，所以由于粘膜3的粘附作用，硅片1在被分片为小块的芯片后仍能保持整个硅片 的完整性。因而，划片后，利用粘膜3，硅片1仍能够被完整地转移进行装架操作。如图3e 所示，装架时，每个通过了电测试的合格的单个芯片4被挑选出来，与粘膜3剥离，最终被粘 贴到底座或者引线框架上，完成对分离出的单个芯片4的装配。在将单个芯片4与粘膜3剥离时，由于粘膜3的粘附力量较强，通常会使单个芯片 4背面淀积的金属膜的边缘部分脱离，但由于图2b中所示的利用激光刻印的凹下的边界框 6的存在，金属膜的脱离将不可能逾越凹下的边界框6，这样很好的保护了单个芯片4背面 标识数码的完整性，并可有效减少并控制金属膜的脱落面积，因而也保证了单个芯片4到 底座的导电率。本专利技术所述的芯片装配方法中，可以根据对硅片测试后得出的成品率的高低选择 对硅片上所有芯片的背面作标记并采用凹陷的边界框标出每一个芯片的边界或只对成品 芯片的背面作标记并采用凹陷的边界框标出每一个芯片的边界。图4为实际操作中采用本专利技术所述芯片装配方法后芯片与粘膜剥离时芯片背面 的金属膜脱落情况的示意图。从图4中可看出，该芯片与粘膜剥离后的标识数码非常完整， 芯片背面金属膜的脱落面积非常小且所脱落之处均在激光刻印的凹下的边界框之外。显然，本领域的技术人员可以对本专利技术进行各种改动和变型而不脱离本专利技术的精 神和范围。这样，倘若本专利技术的这些修改和变型属于本专利技术权利要求及其等同技术的范围 之内，则本专利技术也意图包含这些改动和变型在内。权利要求，包括步骤一，在硅片背面对应于每个芯片的位置做标记，并采用凹陷的边界框标出每一个芯片的边界；步本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种芯片装配方法，包括：步骤一，在硅片背面对应于每个芯片的位置做标记，并采用凹陷的边界框标出每一个芯片的边界；步骤二，对硅片进行划片，分离出单个芯片；最后，装配所述芯片。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：李德君，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]