一种准分子激光器放电腔结构制造技术

本申请涉及一种准分子激光器放电腔结构，包括：放电腔体，该放电腔体为封闭的卧式空心筒体结构，放电腔体的顶部开设有进气口和排气口；放电腔室，该放电腔室可拆卸密封连接在放电腔体的顶部，且通过进气口和排气口与所述放电腔体相通；放电极对，该放电极对包括固定在放电腔室内的阴极电极和位于放电腔室内且与放电腔体固定连接的阳极电极。本申请的设置了相互可拆卸连接的放电腔体和放电腔室，当放电极对随着工作时间的延长被逐渐被气体“腐蚀”和长期的电子轰击造成电极材料的“蒸发”后，通过拆卸放电腔体上的放电腔室即可快速取出和更换放电极对，整个过程简单快捷，降低了准分子激光器的使用成本。子激光器的使用成本。子激光器的使用成本。

【技术实现步骤摘要】
一种准分子激光器放电腔结构


[0001]本申请涉及准分子激光器
，特别涉及一种准分子激光器放电腔结构。

技术介绍

[0002]准分子激光器是一种面向紫外特征应用的常规气体激光器，目前被认为是用于光 刻的最佳光源选择，是集成电路平板印刷光刻工业的主力工作光源。
[0003]相关技术中，常见的准分子激光器采用放电泵浦，激光器腔体内部包含散热器、叶轮、放电电极对、预电离组件等结构。腔体内部为适应气体动力学需求加工成异型，加工难度极高，需要使用四轴、五轴加工中心，如果出现加工问题，整个腔体将废弃，造成极大的浪费。
[0004]同时由于准分子激光器的寿命较短按脉冲数计约几亿到几百亿，二十四小时连续运行从几天到一两个月不等。目前提升其寿命的方法一般是更换整个激光器或内部关键损耗组件，显然更换损耗组件更为经济。
[0005]一般经常更换的损耗组件为放电电极，该组件在常见准分子激光器腔型中被封在两个激光器半体内，拆装极其不便，降低了激光器的维护效率。

技术实现思路

[0006]本申请实施例提供一种准分子激光器放电腔结构，以解决相关技术中准分子激光器腔型中的放电电极被封在两个激光器半体内，拆装极其不便，降低了激光器维护效率的问题。
[0007]本申请实施例提供了一种准分子激光器放电腔结构，包括：放电腔体，所述放电腔体为封闭的卧式空心筒体结构，所述放电腔体的顶部开设有进气口和排气口；放电腔室，所述放电腔室可拆卸密封连接在所述放电腔体的顶部，且通过所述进气口和排气口与所述放电腔体相通；放电极对，所述放电极对包括固定在所述放电腔室内的阴极电极和位于所述放电腔室内且与放电腔体固定连接的阳极电极。
[0008]在一些实施例中：所述放电腔室为底部开口四周封闭的腔体结构，所述放电腔体的顶部设有与放电腔室配合的平面，所述放电腔室与放电腔体之间通过密封垫密封连接。
[0009]在一些实施例中：所述进气口和排气口均为栅状结构，所述进气口和排气口位于所述放电腔体的顶部相互平行且间隔设置；所述阳极电极连接在所述放电腔体的顶部上且位于所述进气口和排气口之间。
[0010]在一些实施例中：所述阴极电极固定在所述放电腔室的顶部，所述阳极电极位于所述放电腔室的底部且与放电腔体的顶部固定连接，所述阴极电极与阳极电极之间形成供气流通过的间隙。
[0011]在一些实施例中：所述进气口内设有多片相互平行且间隔设置的进气格栅，所述
排气口内设有多片相互平行且间隔设置的排气格栅，所述进气格栅的出气端设有导流坡面。
[0012]在一些实施例中：所述进气格栅和排气格栅均为设定厚度的板材，所述导流坡面的横截面为
ꢀ“
V”形或“U”形结构。
[0013]在一些实施例中：所述放电腔体内还设有驱使所述放电腔室内的气体循环流入所述放电腔室内的流体动力组件。
[0014]在一些实施例中：所述流体动力组件包括转动连接在所述放电腔体内的风机叶轮，以及固定在所述放电腔体内将放电腔体内分隔成进流通道和回流通道的导流块；所述导流块的一端接近于所述风机叶轮，所述导流块的另一端通过挂件连接在所述放电腔体的顶部且位于进气口和排气口之间。
[0015]在一些实施例中：所述流体动力组件还包括位于所述风机叶轮的外周且远离所述导流块的导流罩，所述导流罩的横截面为“C”形结构。
[0016]在一些实施例中：所述放电腔体内还设有冷却所述放电腔体内气体温度的水冷散热器。
[0017]本申请提供的技术方案带来的有益效果包括：本申请实施例提供了一种准分子激光器放电腔结构，由于本申请的准分子激光器放电腔结构设置了放电腔体，该放电腔体为封闭的卧式空心筒体结构，在放电腔体的顶部开设有进气口和排气口；放电腔室，该放电腔室可拆卸密封连接在放电腔体的顶部，且通过进气口和排气口与放电腔体相通；放电极对，该放电极对包括固定在放电腔室内的阴极电极和位于放电腔室内且与放电腔体固定连接的阳极电极。
[0018]因此，本申请的准分子激光器放电腔结构设置了相互可拆卸连接的放电腔体和放电腔室，放电腔体和放电腔室之间通过进气口和排气口相互连通，以使放电腔体内的气体进入放电腔室内在放电腔室内放电极对的进行激励下以产生准分子激光。放电极对随着工作时间的延长被逐渐被气体“腐蚀”和长期的电子轰击造成电极材料的“蒸发”后，通过拆卸放电腔体上的放电腔室即可快速取出和更换放电极对，整个过程简单快捷，降低了准分子激光器的使用成本。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本申请实施例的结构示意图；图2为本申请实施例流体动力组件的结构示意图；图3为本申请实施例放电腔体的结构俯视图；图4为本申请实施例排气格栅的结构剖面图；图5为本申请实施例进气格栅的结构剖面图；图6为本申请实施例放电腔体与阳极电极的结构示意图。
[0021]附图标记：
100、放电腔体；110、平面；120、排气格栅；130、进气格栅；131、导流坡面；200、放电腔室；300、放电极对；400、流体动力组件；401、风机叶轮；402、导流罩；403、导流块；405、挂件；500、水冷散热器。
具体实施方式
[0022]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0023]本申请实施例提供了一种准分子激光器放电腔结构，其能解决相关技术中准分子激光器腔型中的放电电极被封在两个激光器半体内，拆装极其不便，降低了激光器维护效率的问题。
[0024]参见图1所示，本申请实施例提供了一种准分子激光器放电腔结构，包括：放电腔体100，该放电腔体100为封闭的卧式空心筒体结构，放电腔体100设计执行压力容器的相关标准，用来储存 3～6atm 具有腐蚀性的混合气体，例如包括 F2 气体在内产生准分子的卤素气体等。在放电腔体100的顶部开设有进气口和排气口，进气口用于将放电腔体100内的气体排出至放电腔体100外，排气口用于将放电腔体100外的气体循环至放电腔体100内。
[0025]放电腔室200，该放电腔室200可拆卸密封连接在放电腔体100的顶部，放电腔室200同样为空心结构且体积小于放电腔体100，放电腔室200通过进气口和排气口与放电腔体100相通。进气口将放电腔体100内的气体排出至放电腔室200内，排气口用于将放电腔室200内的气体循环至放电腔体100内。
[0026]放电极对300，该放电极对3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种准分子激光器放电腔结构，其特征在于，包括：放电腔体（100），所述放电腔体（100）为封闭的卧式空心筒体结构，所述放电腔体（100）的顶部开设有进气口和排气口；放电腔室（200），所述放电腔室（200）可拆卸密封连接在所述放电腔体（100）的顶部，且通过所述进气口和排气口与所述放电腔体（100）相通；放电极对（300），所述放电极对（300）包括固定在所述放电腔室（200）内的阴极电极和位于所述放电腔室（200）内且与放电腔体（100）固定连接的阳极电极。2.如权利要求1所述的一种准分子激光器放电腔结构，其特征在于：所述放电腔室（200）为底部开口四周封闭的腔体结构，所述放电腔体（100）的顶部设有与放电腔室（200）配合的平面（110），所述放电腔室（200）与放电腔体（100）之间通过密封垫密封连接。3.如权利要求1所述的一种准分子激光器放电腔结构，其特征在于：所述进气口和排气口均为栅状结构，所述进气口和排气口位于所述放电腔体（100）的顶部相互平行且间隔设置；所述阳极电极连接在所述放电腔体的顶部上且位于所述进气口和排气口之间。4.如权利要求1所述的一种准分子激光器放电腔结构，其特征在于：所述阴极电极固定在所述放电腔室（200）的顶部，所述阳极电极位于所述放电腔室（200）的底部且与放电腔体（100）的顶部固定连接，所述阴极电极与阳极电极之间形成供气流通过的间隙。5.如权利要求1所述的一种准分子激光器放电腔结构，其特征在于：所述进气口内设有多片相互平行且间隔设置的进气格栅（130），...

【专利技术属性】
技术研发人员：李术功，
申请(专利权)人：武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：