本发明专利技术属于半导体加工技术领域，公开了一种自适应调整抛光头，用于弥补抛光垫安装偏差，自适应调整抛光头包括第一固定块，第一固定块设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，阶梯腔包括大径段和小径段；在大径段内滑动有第二固定块，第二固定块背离小径段的一侧具有抵接凸块，而大径段的开口处设置有与第一固定块连接的第三固定块，第三固定块面向大径段的一侧设置有与抵接凸块的端面配合的抵接槽，抵接凸块能够抵接在抵接槽内自由偏转；第三固定块背离抵接槽一侧连接有抛光垫座。抛光装置采用上述自适应调整抛光头从而在进行抛光时，当抛光垫安装在抛光垫座时出现偏差后，由于抛光垫的受力不均则会使抵接凸块与抵接槽出现相对偏斜，从而弥补安装偏差。从而弥补安装偏差。从而弥补安装偏差。
【技术实现步骤摘要】
自适应调整抛光头以及抛光装置
[0001]本专利技术涉及半导体加工
，尤其涉及一种自适应调整抛光头以及抛光装置。
技术介绍
[0002]在晶圆减薄机磨削减薄后，通常会使晶圆表面产生磨轮痕迹，从而产生晶圆表面不平整、外观不美观和移载工具吸附不起来等不良因素，需要有抛光垫将晶圆表面处理下，使其表面平整；抛光垫在对晶圆表面抛光时，需保证抛光出来的面也是平整的，否则会出现晶圆局部地方抛光垫接触不到，抛光效果适得其反，甚至因为倾斜角度过大，导致超出抛光垫弹性范围，对晶圆表面造成不可逆的伤害；但是由于抛光垫是通过人工安装在固定块上的，人工无法保证准确精度，所以内部亟需有能自主调整抛光垫角度，使抛光垫在接触晶圆表面时，自主调整使抛光垫与晶圆表面持平，这样全部的抛光垫才能与晶圆接触更加紧密；现有技术中采用传动膜传动结构，如专利文献CN113183031A公开所示，利用传动膜具有可变形的特性进行调节，但是采用传动膜传动结构接触面积大，传动磨易损坏造成卡顿。
技术实现思路
[0003]本专利技术的目的在于提供一种自适应调整抛光头以及抛光装置，使抵接凸块与抵接槽出现相对偏斜代替传动膜传动，从而弥补安装偏差，使整个抛光垫与晶圆表面完全贴合。
[0004]为达此目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]自适应调整抛光头，用于弥补安装于抛光垫座上的抛光垫的安装偏差，包括：
[0006]第一固定块；所述第一固定块设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，所述阶梯腔包括同轴设置的大径段和小径段；
[0007]第二固定块，所述第二固定块滑接在所述大径段内，所述第二固定块的尺寸小于所述大径段的尺寸，所述第二固定块背离所述小径段的一侧具有抵接凸块；
[0008]第三固定块，所述第三固定块与所述第一固定块连接以封堵所述大径段的开口，所述第三固定块面向所述大径段的一侧设置有与所述抵接凸块的端面配合的抵接槽，所述抵接凸块能够抵接在所述抵接槽内自由偏转；所述第三固定块背离所述抵接槽的一侧连接有所述抛光垫座。
[0009]作为优选，所述抵接凸块的端面为球弧面，所述抵接槽为圆锥形槽。
[0010]作为优选，所述第二固定块背离抵接凸块的一侧设置有沿轴向的第一进液孔以连接外部供液装置，所述第二固定块的侧部还设置有与所述第一进液孔连通的第一导液孔；所述抛光垫座的端面还设置有若干分液孔，所述第一导液孔连接有贯穿所述第一固定块的第一导管接头的一端，所述第一导管接头的另一端连接所述分液孔。
[0011]作为优选，所述抛光垫座上设置有第二进液孔，所述第二进液孔连接所述第一导管接头，所述抛光垫座内设置有分液通道，所述第二进液孔和若干所述分液孔通过所述分液通道连通，所述第二进液孔与若干所述分液孔设置在所述抛光垫座的相对面。
[0012]作为优选，所述第三固定块的侧部设置有第二导液孔，所述第二导液孔插接有第二导管接头，所述第一导管接头与所述第二导管接头连通，所述第三固定块背离所述抵接槽的端面设置有出液孔，所述出液孔的一端与所述第二导液孔连通，所述出液孔的另一端连通所述第二进液孔。
[0013]抛光装置，包括如上所述的自适应调整抛光头以及连接驱动件的中心轴，所述中心轴穿过所述小径段与所述第二固定块可拆卸连接，所述第二固定块背离所述抵接凸块的端面设置有若干第二插接孔，所述中心轴上设置有与所述第二插接孔相对的第一插接孔，所述第二插接孔的孔的尺寸大于所述第一插接孔的孔的尺寸。
[0014]作为优选，所述第一固定块位于所述小径段的端面设置有若干第三插接孔，所述中心轴上设置有与所述第三插接孔相对的第四插接孔。
[0015]作为优选，所述中心轴轴向贯穿设置有流液通道。
[0016]作为优选，还具有挡水环，所述挡水环包括上遮挡部和侧遮挡部，所述侧遮挡部垂直于所述上遮挡部，所述上遮挡部覆盖于所述抛光垫座的部分上端面并向上延伸至所述自适应调整抛光头的顶部，所述侧遮挡部遮挡所述抛光垫座的侧部。
[0017]作为优选，所述抛光垫座上端面外边缘的最大偏角以及所述抛光垫座的侧面的最大偏角均大于所述第一固定块上端端面外边缘的最大偏角、所述第一固定块上端端面的内边缘的最大偏角、所述大径段上端边缘的最大偏角和所述大径段下端边缘的最大偏角。
[0018]本专利技术的有益效果：
[0019]在进行抛光时，抵接凸块与抵接槽相接触，代替传动膜传动并且不易损坏，当抛光垫安装在抛光垫座时出现偏差后，由于抛光垫的受力不均则会使抵接凸块与抵接槽出现相对偏斜，从而弥补安装偏差，使整个抛光垫与晶圆表面完全贴合。
附图说明
[0020]图1是本专利技术自适应调整抛光头中第一固定块、第二固定块以及第三固定块组合示意图；
[0021]图2是本专利技术自适应调整抛光头中第一固定块、第二固定块以及第三固定块组合剖面图；
[0022]图3是本专利技术自适应调整抛光头中显示第一导液孔和第二导液孔的剖面图；
[0023]图4是本专利技术抛光装置的剖面图。
[0024]图中：
[0025]10、自适应调整抛光头；1、第一固定块；11、第二插接孔；2、第二固定块；21、抵接凸块；22、第一进液孔；23、第一导液孔；24、第三插接孔；3、第三固定块；31、抵接槽；32、第二导液孔；33、出液孔；4、抛光垫座；41、分液孔；42、第二进液孔；43、分液通道；5、第一导管接头；6、第二导管接头；7、中心轴；71、第一插接孔；72、第四插接孔；73、流液通道；74、限位板；20、挡水环；201、上遮挡部；202、侧遮挡部；30、安装板；40、驱动件。
具体实施方式
[0026]下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便
于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部结构。
[0027]在本专利技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0028]在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0029]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“左”、“右”等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.自适应调整抛光头，用于弥补安装于抛光垫座(4)上的抛光垫的安装偏差，其特征在于，包括：第一固定块(1)；所述第一固定块(1)设置有沿着轴向贯穿的阶梯腔，所述阶梯腔包括同轴设置的大径段和小径段；第二固定块(2)，所述第二固定块(2)滑接在所述大径段内，所述第二固定块(2)的尺寸小于所述大径段的尺寸，所述第二固定块(2)背离所述小径段的一侧具有抵接凸块(21)；第三固定块(3)，所述第三固定块(2)与所述第一固定块(1)连接以封堵所述大径段的开口处，所述第三固定块(3)面向所述大径段的一侧设置有与所述抵接凸块(21)的端面配合的抵接槽(31)，所述抵接凸块(21)能够抵接在所述抵接槽(31)内自由偏转；所述第三固定块(3)背离所述抵接槽(31)的一侧连接有所述抛光垫座(4)。2.根据权利要求1所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述抵接凸块(21)的端面为球弧面，所述抵接槽(31)为圆锥形槽。3.根据权利要求1所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述第二固定块(2)背离抵接凸块(21)的一侧设置有沿轴向的第一进液孔(22)以连接外部供液装置，所述第二固定块(2)的侧部还设置有与所述第一进液孔(22)连通的第一导液孔(23)；所述抛光垫座(4)的端面还设置有若干分液孔(41)，所述第一导液孔(23)连接有贯穿所述第一固定块(1)的第一导管接头(5)的一端，所述第一导管接头(5)的另一端连接所述分液孔(41)。4.根据权利要求3所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述抛光垫座(4)上设置有第二进液孔(42)，所述第二进液孔(42)连接所述第一导管接头(5)，所述抛光垫座(4)内设置有分液通道(43)，所述第二进液孔(42)和若干所述分液孔(41)通过所述分液通道(43)连通，所述第二进液孔(42)与若干所述分液孔(41)设置在所述抛光垫座(4)的相对面。5.根据权利要求4所述的自适应调整抛光头，其特征在于，所述第三固定块(3)的侧部...
【专利技术属性】
技术研发人员：万先进，胡孟杰，李俊，尤国振，张怀东，朱松，边逸军，
申请(专利权)人：宁波芯丰精密科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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