彩色光阻剥离液组合物及用于硅氧化膜的剥离液组合物制造技术

本发明专利技术涉及一种用于除去彩色光阻及绝缘膜的剥离液组合物，具体涉及一种剥离液组合物，包括：溶媒，包括含氮原子(N)的第一非质子性极性溶媒及与第一非质子性极性溶媒不同分子量的第二非质子性极性溶媒；乙二醇醚化合物；无机碱或其盐化合物；链型胺化合物；及烷基铵化合物。其在不损伤作为下部膜质的无机绝缘膜及各种金属配线的前提下，不仅可以快速去除彩色光阻，而且，还可以去除阴性及阳性有机绝缘膜。缘膜。缘膜。

【技术实现步骤摘要】
彩色光阻剥离液组合物及用于硅氧化膜的剥离液组合物


[0001]本专利技术涉及一种剥离液组合物，为回收使用在TFT
‑
LCD、OLED工艺等产生的不良基板，所述剥离液组合物可去除彩色光阻、绝缘膜。

技术介绍

[0002]为实现各像素的颜色，TFT
‑
LCD及OLED需要红色、绿色及蓝色图案的滤光片层。
[0003]在上部基板上制备滤光片的工艺如下：以TFT
‑
LCD为例，在TFT结构物上涂布彩色光阻并进行曝光，以通过光聚合反应固化彩色光阻。结束曝光之后，彩色光阻去除不被显影曝光的部分，并经过烧成过程。在此过程中，在滤光片上产生不良的情况下，现有技术中不回收使用不良基板，大部分做废弃处理。因此，用于去除不良滤光片回收使用基板的剥离液组合物的需求逐渐增加。
[0004]关于用于剥离滤光片或有机绝缘膜的剥离液组合物的韩国注册专利10
‑
1488265号，虽然公开包含氢氧化物类化合物、亚烯乙二醇烷基醚类化合物、烷醇胺类化合物、无机盐化合物及余量的水的用于去除彩色光阻的剥离液，但因在高温工艺时的挥发，在长期使用时，存在去除性降低的问题，而且存在无法实现快速去除彩色光阻及有机绝缘膜的效果的问题。

技术实现思路

[0005]专利技术要解决的问题
[0006]本专利技术的目的在于提供一种剥离液组合物，其能够在不损伤下部膜质的同时，可快速、容易去除彩色光阻及有机绝缘膜，且对有机绝缘膜的去除性尤为优异。
[0007]本专利技术的另一目的在于提供一种剥离液组合物，在去除彩色光阻及有机绝缘膜的过程中，不产生对作为硅类下部膜质的氮化硅(SiNx)、氧化硅(SiOx)等的损伤。
[0008]解决问题的方法
[0009]为达到上述目的，根据本专利技术一实施例的剥离液组合物，包括：溶媒，包括含氮原子(N)的第一非质子性极性溶媒及第二非质子性极性溶媒，乙二醇醚化合物，无机碱或其盐化合物，链型胺化合物，及烷基铵化合物；上述第一非质子性极性溶媒和第二非质子性极性溶媒的分子量不同；上述第一非质子性极性溶媒和第二非质子性极性溶媒的重量比为1：1至1：40。
[0010]上述第一非质子性极性溶媒和上述第二非质子性极性溶媒的分子量差异为5至65g/mol。
[0011]上述第一非质子性极性溶媒包括选自N
‑
乙基
‑2‑
吡咯烷酮(N
‑
ethyl
‑2‑
pyrrolidone)、N
‑
甲基
‑2‑
吡咯烷酮(N
‑
Methyl
‑2‑
Pyrrolidone)、N
‑
乙基甲酰胺(N
‑
Ethylformamide)、N
‑
甲基甲酰胺(N
‑
Methylformamide)及吡咯烷酮(pyrrolidone)中的任意一种以上。
[0012]上述第二非质子性极性溶媒的分子量为70至140g/mol。
[0013]上述第二非质子性极性溶媒包括选自二甲基亚砜、二乙基亚砜、二丙基亚砜及环丁砜中的任意一种以上。
[0014]上述第一非质子性极性溶媒为N
‑
乙基
‑2‑
吡咯烷酮。
[0015]在上述剥离液组合物中，相对于上述溶媒100重量份，包含10至100重量份的上述乙二醇醚化合物。
[0016]上述乙二醇醚化合物包括选自乙二醇、丙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚、乙二醇丁基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚、二乙二醇丁基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇丁基醚、二乙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基醚、二丙二醇乙基醚、乙二醇二甲基醚、二丙二醇二甲基醚、三乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、二乙二醇二乙基醚及二乙二醇甲基乙基醚中的任意一种以上。
[0017]另外，在上述剥离液组合物中，相对于上述溶媒100重量份，包含0.001至0.05重量份的上述无机碱或其盐化合物。
[0018]上述无机碱或其盐化合物包括选自乙酸钾、硝酸钾、碳酸钾、焦磷酸钾、油酸钾、苯甲酸钾、月桂酸钾、叔丁醇钾、硫酸钾、山梨酸钾、氨基苯甲酸钾、焦硫酸钾、氰酸钾、硫化钾、二甲苯磺酸钾、二甲苯磺酸钠、氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硫酸钠、乙酸钠、硅酸钠及硅酸钾中的任意一种以上。
[0019]在上述剥离液组合物中，相对于上述溶媒100重量份，包含20至145重量份的上述链型胺化合物及上述烷基铵化合物。
[0020]另外，在上述剥离液组合物中，相对于上述剥离液组合物总重量，包含15至29重量％的上述烷基铵化合物。
[0021]在上述剥离液组合物中，以1：1000至1：20000的重量比包含上述无机碱或其盐化合物和上述烷基铵化合物。
[0022]上述链型胺化合物包括选自氨基乙醇、二乙醇胺、N
‑
甲基乙醇胺、三乙醇胺、乙二醇胺、二乙二醇胺、羟胺、甲基胺、乙基胺、异丙基胺、单异丙基胺、二乙基胺、二异丙基胺、二丁基胺、乙烯二胺、三甲基胺、三乙基胺、三异丙基胺、三丁基胺、单异丙醇胺、氨基乙氧基乙醇、丙氧基乙基胺、异丙氧基丙基胺、甲氧基乙氧基丙基胺、氨基乙基乙二醇、甲氧基乙基胺、甲氧基丙基胺、乙氧基丙基胺、3
‑
甲氧基丙基胺、3
‑
乙氧基丙基胺、n
‑
甲基甲醇胺、单甲醇胺、单乙醇胺、二乙基氨基丙基胺、二2
‑
甲氧基乙基胺、丙二胺、1,3
‑
丙二胺、1,2
‑
丙二胺、二亚乙基三胺、二己烯三胺、三亚乙基四胺、四乙基五胺、氧戊环
‑2‑
基
‑
甲烷胺、(氧戊环
‑2‑
基
‑
甲基)丁烷
‑1‑
胺及甲基氧戊环
‑2‑
基
‑
甲烷胺中的任意一种以上。
[0023]上述烷基铵化合物包括选自氢氧化四甲基铵、氢氧化四乙基铵、氢氧化四丙基铵及氢氧化四丁基铵中的任意一种以上。
[0024]上述剥离液组合物还包括腐蚀抑制剂，相对于上述溶媒100重量份，包含0.2至25重量份的上述腐蚀抑制剂。此时，上述腐蚀抑制剂包括选自甲基苯骈三氮唑、苯并三唑、巯基甲基咪唑、邻苯二酚系化合物及没食子酸烷基酯类化合物中的任意一种以上。
[0025]上述剥离液组合物用于除去彩色光阻及绝缘膜。
[0026]根据本专利技术另一实施例的硅氧化膜用剥离液组合物，包括：乙二醇醚化合物，无机碱或其盐化合物，链型胺化合物，烷基铵化合物，及非质子性溶媒；相对于上述溶媒100重量份，包含0.001至0.05重量份的上述无机碱或其盐化合物。
[0027]专利技术效果
[0028]本专利技术的剥离液组合物，在不损伤作为下部膜质本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种剥离液组合物，其特征在于，包括：溶媒，包括含氮原子的第一非质子性极性溶媒及第二非质子性极性溶媒，乙二醇醚化合物，无机碱或其盐化合物，链型胺化合物，及烷基铵化合物；上述第一非质子性极性溶媒和上述第二非质子性极性溶媒的分子量不同；上述第一非质子性极性溶媒和上述第二非质子性极性溶媒的重量比为1：1至1：40。2.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述第一非质子性极性溶媒和上述第二非质子性极性溶媒的分子量差异为5至65g/mol。3.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述第一非质子性极性溶媒包括选自N
‑
乙基
‑2‑
吡咯烷酮、N
‑
甲基
‑2‑
吡咯烷酮、N
‑
乙基甲酰胺、N
‑
甲基甲酰胺及吡咯烷酮中的任意一种以上。4.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述第二非质子性极性溶媒的分子量为70至140g/mol。5.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述第二非质子性极性溶媒包括选自二甲基亚砜、二乙基亚砜、二丙基亚砜及环丁砜中的任意一种以上。6.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述第一非质子性极性溶媒为N
‑
乙基
‑2‑
吡咯烷酮。7.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，相对于100重量份的上述溶媒，包含10至100重量份的上述乙二醇醚化合物。8.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述乙二醇醚化合物包括选自乙二醇、丙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲基醚、乙二醇乙基醚、乙二醇丁基醚、二乙二醇甲基醚、二乙二醇乙基醚、二乙二醇丁基醚、三乙二醇甲基醚、三乙二醇乙基醚、三乙二醇丁基醚、二乙二醇二甲基醚、二丙二醇甲基醚、二丙二醇乙基醚、乙二醇二甲基醚、二丙二醇二甲基醚、三乙二醇二甲基醚、乙二醇二乙基醚、二乙二醇二乙基醚及二乙二醇甲基乙基醚中的任意一种以上。9.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，相对于100重量份的上述溶媒，包含0.001至0.05重量份的上述无机碱或其盐化合物。10.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，上述无机碱或其盐化合物包括选自乙酸钾、硝酸钾、碳酸钾、焦磷酸钾、油酸钾、苯甲酸钾、月桂酸钾、叔丁醇钾、硫酸钾、山梨酸钾、氨基苯甲酸钾、焦硫酸钾、氰酸钾、硫化钾、二甲苯磺酸钾、二甲苯磺酸钠、氢氧化锂、氢氧化钠、氢氧化钾、碳酸钠、碳酸氢钠、碳酸氢钾、硝酸钠、硫酸钠、乙酸钠、硅酸钠及硅酸钾中的任意一种以上。11.根据权利要求1所述的剥离液组合物，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：金完奎，金相佑，裵命仁，郑泰祐，
申请(专利权)人：株式会社东进世美肯，
类型：发明
国别省市：