磁控真空镀膜机制造技术

本实用新型专利技术涉及磁控真空镀膜技术领域，提出了磁控真空镀膜机，包括真空箱，每个中空管侧边顶端表面均固定安装有限位框，每个限位框内侧均滑动安装有传动板，每个传动板外侧两端表面均固定安装有传动架，且传动架滑动贴合于限位框外侧两端表面，每个限位框外侧顶部两端表面均固定安装有连接板，每个连接板外侧表面均固定安装有导向杆，每个导向杆外侧表面均滑动套接有滑动套筒，每个滑动套筒外侧表面均通过转轴铰接有拉动杆。通过上述技术方案，在保证待镀膜工件镀膜加工时稳定性的同时，减少操作者对其拆装加固所需的劳力消耗，以及带动多组待镀膜工件进行同步且同向转动，对待镀膜工件所需镀膜的位置进行调节，增加镀膜均匀性。增加镀膜均匀性。增加镀膜均匀性。

【技术实现步骤摘要】
磁控真空镀膜机


[0001]本技术涉及磁控真空镀膜
，具体的，涉及磁控真空镀膜机。

技术介绍

[0002]真空镀膜是目前较为前沿的镀膜技术，而真空镀膜中的磁控溅射镀膜法采用通过通电阳极放出电子，并使电子在电场的加速作用下与真空腔内的气体分子碰撞，从而使气体分子电离，而电离的气体分子又在电场的作用下轰击阴极上的金属粒子，使金属粒子电离溅射，并使得电离出来的金属离子沉积于待镀工件表面形成薄膜。
[0003]目前，在使用磁控真空镀膜机对待镀工件表面进行镀膜处理时，无法对多组待镀工件不同的表面进行镀膜位置调节，使得在使用一定镀膜速度进行镀膜处理时，极易导致待镀工件表面的镀膜均匀度不足，并且在对待镀工件进行镀膜前的安装拿取时，整体操作过程较为繁琐，无法快速的对待镀工件进行拆装处理，进而降低镀膜效率。

技术实现思路

[0004]本技术提出磁控真空镀膜机，解决了相关技术中的镀膜效率不足以及无法对多组待镀工件进行镀膜位置同步调节的问题。
[0005]本技术的技术方案如下：磁控真空镀膜机，包括真空箱，所述真空箱侧边通过转轴铰接有密封盖，所述密封盖内侧表面固定粘合有密封条，所述真空箱内侧一端通过密封轴承转动安装有中空管，且中空管的数量为若干组；
[0006]每个所述中空管侧边顶端表面均固定安装有限位框，每个所述限位框内侧均滑动安装有传动板，每个所述传动板外侧两端表面均固定安装有传动架，且传动架滑动贴合于限位框外侧两端表面，每个所述限位框外侧顶部两端表面均固定安装有连接板，每个所述连接板外侧表面均固定安装有导向杆，每个所述导向杆外侧表面均滑动套接有滑动套筒，每个所述滑动套筒外侧表面均通过转轴铰接有拉动杆，且拉动杆侧边顶端表面通过转轴铰接与传动架外侧壁表面；
[0007]每个所述滑动套筒内侧两端表面均固定安装有连接杆，且连接杆侧边顶端贯穿滑动安装于连接板内部，每两组所述连接杆内侧顶端之间固定安装有贴合挡板，每个所述贴合挡板内侧表面均固定粘合有防滑摩擦垫，每个所述传动板侧边中端均固定安装有传动杆，其传动杆贯穿滑动安装于中空管内部，所述真空箱外侧表面活动贴合安装有安装板，且中空管侧边与安装板侧边固定相连接，每个所述安装板另一侧均固定安装有转动管，每个所述安装板内侧两端表面均固定安装有电磁铁，且传动杆外侧滑动贴合于电磁铁内侧表面。
[0008]所述真空箱侧边固定安装有第一安装框，所述第一安装框内侧顶端表面固定安装有伺服电机，所述伺服电机传动轴表面固定套接有传动齿轮，每个所述转动管外侧表面均固定套接有随动齿轮。
[0009]所述传动齿轮外侧与随动齿轮外侧之间啮合有传动链圈，且传动链圈内侧与传动
齿轮和随动齿轮外侧相啮合。
[0010]所述真空箱顶部两端表面均固定安装有真空管，每个所述真空管顶部表面均固定连通有真空泵。
[0011]所述真空箱底部中端表面固定安装有安装框，所述安装框内侧底部表面固定安装有转向电机，所述转向电机传动轴顶部固定安装有遮挡板，且遮挡板位于真空箱内侧底部，所述遮挡板内部侧边开设有排料槽。
[0012]本技术的工作原理及有益效果为：
[0013]1、本技术中，通过转轴将拉动杆两端分别与传动架以及滑动套筒外侧相连接，进而在需要对待镀膜件安装至真空箱内部进行镀膜时，只需将其侧边贴合于传动板左侧表面而持续对待镀膜工件进行右向推动后，即可带动传动板随之在限位框内部进行右向移动，使得传动架可以在限位框外侧随之移动而通过拉动杆的传动作用下，提供给滑动套筒相应的拉动力而使其沿着导向杆外侧进行水平移动，再在连接杆的传动作用下，带动位于待镀膜工件前后两侧的贴合挡板同步水平相向移动，直至内侧贴合于待镀膜工件前后两端表面，对其进行抵紧限位处理后，通过对电磁铁的启动而使其具有吸附磁性，使得随着传动板右向移动而移动的传动杆可以受到电磁铁的吸附而被限位处理，保证贴合挡板不会任意的移动而影响对待镀膜工件的抵紧限位稳定性，在保证待镀膜工件镀膜加工时稳定性的同时，减少操作者对其拆装加固所需的劳力消耗；
[0014]2、本技术中，通过传动链圈将传动齿轮以及随动齿轮相啮合传动作用下，使得在伺服电机运转而带动传动齿轮随之进行转动后，即可带动多组随动齿轮以及转动管同步且同向的进行转动，进而可以带动限位框连同其侧边夹持限位的多组待镀膜工件进行同步且同向转动，对多组待镀膜工件所需镀膜的位置进行调节，使得把需要一次堆积的膜厚，转换到两次或更多次的镀膜操作，以及结合位于真空箱下方的多组镀膜靶位，随之通过改变排料槽的位置，可以使得不同位置的靶位电离出的不同位置的离子只能穿过位于其上方设置有的遮挡板内部排料槽而被镀膜至材料表面，进而可以实现对较厚的膜层进行镀膜处理，并在此过程中通过增加的镀膜次数来调整膜层厚度的不均，避免单次镀膜而导致材料膜层过厚且不易控制镀膜均匀度。
附图说明
[0015]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0016]图1为本技术整体立体结构示意图；
[0017]图2为本技术整体正视剖面结构示意图；
[0018]图3为本技术整体俯视剖面结构示意图；
[0019]图4为本技术安装板侧视剖面结构示意图；
[0020]图5为本技术遮挡板立体结构示意图。
[0021]图中：1、真空箱；2、密封盖；3、密封条；4、中空管；5、限位框；6、传动板；7、传动架；8、连接板；9、导向杆；10、滑动套筒；11、拉动杆；12、连接杆；13、贴合挡板；14、防滑摩擦垫；15、真空管；16、传动杆；17、安装板；18、电磁铁；19、第一安装框；20、转动管；21、伺服电机；22、传动齿轮；23、传动链圈；24、随动齿轮；25、真空泵；26、安装框；27、转向电机；28、遮挡板；29、排料槽。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都涉及本技术保护的范围。
[0023]实施例1，磁控真空镀膜机，包括真空箱1，真空箱1侧边通过转轴铰接有密封盖2,密封盖2内侧表面固定粘合有密封条3，真空箱1内侧一端通过密封轴承转动安装有中空管4，且中空管4的数量为若干组，每个中空管4侧边顶端表面均固定安装有限位框5，每个限位框5内侧均滑动安装有传动板6，每个传动板6外侧两端表面均固定安装有传动架7，且传动架7滑动贴合于限位框5外侧两端表面，每个限位框5外侧顶部两端表面均固定安装有连接板8，每个连接板8外侧表面均固定安装有导向杆9，每个导向杆9外侧表面均滑动套接有滑动套筒10，每个滑动套筒10外侧表面均通过转轴铰接有拉动杆11，且拉动杆11侧边顶端表面通过转轴铰接与传动架7外侧壁表面，每个滑动套筒10内侧两端表面均固定安装有连接杆12，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.磁控真空镀膜机，其特征在于，包括真空箱(1)，所述真空箱(1)侧边通过转轴铰接有密封盖(2)，所述真空箱(1)内侧一端通过密封轴承转动安装有中空管(4)，且中空管(4)的数量为若干组；每个所述中空管(4)侧边顶端表面均固定安装有限位框(5)，每个所述限位框(5)内侧均滑动安装有传动板(6)，每个所述传动板(6)外侧两端表面均固定安装有传动架(7)，且传动架(7)滑动贴合于限位框(5)外侧两端表面，每个所述限位框(5)外侧顶部两端表面均固定安装有连接板(8)，每个所述连接板(8)外侧表面均固定安装有导向杆(9)，每个所述导向杆(9)外侧表面均滑动套接有滑动套筒(10)，每个所述滑动套筒(10)外侧表面均通过转轴铰接有拉动杆(11)，且拉动杆(11)侧边顶端表面通过转轴铰接与传动架(7)外侧壁表面；每个所述滑动套筒(10)内侧两端表面均固定安装有连接杆(12)，且连接杆(12)侧边顶端贯穿滑动安装于连接板(8)内部，每两组所述连接杆(12)内侧顶端之间固定安装有贴合挡板(13)，每个所述传动板(6)侧边中端均固定安装有传动杆(16)，其传动杆(16)贯穿滑动安装于中空管(4)内部，所述真空箱(1)外侧表面活动贴合安装有安装板(17)，且中空管(4)侧边与安装板(17)侧边固定相连接，每个所述安装板(17)另一侧均固定安装有转动管(20)。2.根据权利要求1所述的磁控真空镀膜机，其特征在于，所述真空箱(1)侧边固定安装有第一安装框(19...

【专利技术属性】
技术研发人员：卓龙富，
申请(专利权)人：北京三重镜业大厂有限公司，
类型：新型
国别省市：