一种激光光束方向调整结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种激光光束方向调整结构，包括激光装置、基准底座和出光束主体，所述激光装置的右侧安装有出光束主体，所述出光束主体的下方安装有基准底座，所述出光束主体的右侧安装有固定板，所述固定板的外侧安装有墙体，所述出光束主体的外侧安装有调节装置，所述调节装置安装在基准底座的上方，所述调节装置包括调整固定座、第一固定孔和第一紧固件，所述出光束主体的外侧安装有调整固定座，所述调整固定座的上方设有第一固定孔，所述第一固定孔的内部安装有第一紧固件，所述第一固定孔的两侧设有多个安装孔，所述安装孔的额内部安装有固定柱；本实用新型专利技术可以实现双向同步调整或三方向同步调整，可实现空间360

【技术实现步骤摘要】
一种激光光束方向调整结构


[0001]本实用涉及调整结构
，具体为一种激光光束方向调整结构。

技术介绍

[0002]光刻是现代化大规模集成电路制造技术的核心，而光刻过程中的激光光源是光刻设备的重要组成，现阶段，常用波长13.5nm的极紫外光源(EUVL)作为光刻光源，而为获得上述极紫外光源，可采用高重频、窄脉宽、高功率的长波CO2激光辐照锡液滴靶，诱发锡等离子体，使其辐射13.5nm的极紫外光，即采用主振荡功率放大(MOPA)的技术途径，将主振荡光经多级激光放大器功率放大，得到高功率激光。
[0003]经过检索，中国专利授权公告号CN112382919A，公告日2021年02月19日，公开了一种激光光源及激光光束方向的调整方法，文中提出“主振荡激光器、光路调整器20、处理器40、激光定位器及后级放大器30，”激光光束一般方向调整为某一个单方向调整，当需要某一空间任意一方向时，通过单向调整很难完成所需方向调整，鉴于此，针对上述问题，深入研究，遂有本案产生。

技术实现思路

[0004]本实用的目的在于提供一种激光光束方向调整结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种激光光束方向调整结构，包括激光装置、基准底座和出光束主体，所述激光装置的右侧安装有出光束主体，所述出光束主体的下方安装有基准底座，所述出光束主体的右侧安装有固定板，所述固定板的外侧安装有墙体，所述出光束主体的外侧安装有调节装置，所述调节装置安装在基准底座的上方；
[0006]所述调节装置包括调整固定座、第一固定孔和第一紧固件，所述出光束主体的外侧安装有调整固定座，所述调整固定座的上方设有第一固定孔，所述第一固定孔的内部安装有第一紧固件，所述第一固定孔的两侧设有多个安装孔，所述安装孔的额内部安装有固定柱，所述固定柱的上方安装有调整件，所述调整固定座外壁的两侧安装有第二固定孔，所述第二固定孔的内部安装有第二紧固件。
[0007]优选的，所述激光装置与出光束主体之间为一体化设置，所述出光束主体与基准底座之间为固定连接，所述。
[0008]优选的，所述基准底座与固定板之间为相互垂直设置，所述固定板与墙体之间为固定连接。
[0009]优选的，所述出光束主体与调整固定座之间为固定连接，所述调整固定座的一侧为弧形设置。
[0010]优选的，所述调整固定座与安装孔之间为一体化设置，所述安装孔与固定柱之间为相对应设置。
[0011]优选的，所述固定柱与调整件之间为固定连接，所述调整件与基准底座之间为相
互垂直设置。
[0012]优选的，所述调整固定座与第一固定孔之间为一体化设置，所述第一固定孔与第一紧固件之间为相对应设置。
[0013]优选的，所述第二固定孔与调整固定座之间为一体化设置，所述第二固定孔与第二紧固件之间为相对应设置。
[0014]与现有技术相比，本实用的有益效果是：
[0015]通过设置调整固定座、第一固定孔和第一紧固件，先将出光束主体与调整固定座分别安装在基准底座上，然后将调整件下方的固定柱分别装在安装孔的内部，根据所需方向要求分别调试调整件下方的固定柱，在调试过程中先将第二紧固件和第一紧固件分辨固定在第二紧固件的内部和第一固定孔的内部，再分别松动调整件下方的固定柱配对的第一紧固件和第二紧固件根据光束方向的具体现状依次分别成套的调试调整件和第二紧固件和第一紧固件，出光束主体出光方向达到所需要求后再将其调整件下方的固定柱配对的所有第一紧固件和第二紧固件紧固，可以实现双向同步调整或三方向同步调整，可实现空间360
°
任意方向调整。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0017]图1为本技术立体结构示意图；
[0018]图2为本技术调节装置局部正视结构示意图；
[0019]图3为本技术图1中A处放大结构示意图。
[0020]图中：1、激光装置；2、基准底座；3、出光束主体；4、调节装置；5、固定板；6、墙体；401、调整固定座；402、第一固定孔；403、第一紧固件；404、安装孔；405、固定柱；406、调整件；407、第二固定孔；408、第二紧固件。
具体实施方式
[0021]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0022]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0023]下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
[0024]请参阅图1
‑
3，本实用提供一种激光光束方向调整结构技术方案：一种激光光束方向调整结构，包括激光装置1、基准底座2和出光束主体3，激光装置1的右侧安装有出光束主体3，出光束主体3的下方安装有基准底座2，出光束主体3的右侧安装有固定板5，固定板5的外侧安装有墙体6，出光束主体3的外侧安装有调节装置4，调节装置4安装在基准底座2的上方；
[0025]调节装置4包括调整固定座401、第一固定孔402和第一紧固件403，出光束主体3的外侧安装有调整固定座401，调整固定座401的上方设有第一固定孔402，第一固定孔402的内部安装有第一紧固件403，第一固定孔402的两侧设有多个安装孔404，安装孔404的额内部安装有固定柱405，固定柱405的上方安装有调整件406，调整固定座401外壁的两侧安装有第二固定孔407，第二固定孔407的内部安装有第二紧固件408。
[0026]先将出光束主体3与调整固定座401分别安装在基准底座2上，然后将本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种激光光束方向调整结构，包括激光装置(1)、基准底座(2)和出光束主体(3)，其特征在于：所述激光装置(1)的右侧安装有出光束主体(3)，所述出光束主体(3)的下方安装有基准底座(2)，所述出光束主体(3)的右侧安装有固定板(5)，所述固定板(5)的外侧安装有墙体(6)，所述出光束主体(3)的外侧安装有调节装置(4)，所述调节装置(4)安装在基准底座(2)的上方；所述调节装置(4)包括调整固定座(401)、第一固定孔(402)和第一紧固件(403)，所述出光束主体(3)的外侧安装有调整固定座(401)，所述调整固定座(401)的上方设有第一固定孔(402)，所述第一固定孔(402)的内部安装有第一紧固件(403)，所述第一固定孔(402)的两侧设有多个安装孔(404)，所述安装孔(404)的额内部安装有固定柱(405)，所述固定柱(405)的上方安装有调整件(406)，所述调整固定座(401)外壁的两侧安装有第二固定孔(407)，所述第二固定孔(407)的内部安装有第二紧固件(408)。2.根据权利要求1所述的一种激光光束方向调整结构，其特征在于：所述激光装置(1)与出光束主体(3)之间为一体化设置，所述出光束主体(3)与基准底座(2)之间为固定连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏刚，陈磊，马小民，
申请(专利权)人：武汉创点智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：