一种晶圆载台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，支架组件的上端面开设有安装槽，载台本体安装于安装槽内；载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，支架组件上对应第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，第一螺纹孔内连接有调节螺栓，调节螺栓的一端螺纹连接于第二螺纹孔内。需要调节载台本体的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓来改变载台本体相对于支架的高度，使载台本体各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓的调节，实现对于载台本体水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相对应的水平度上固定，提高工作效率。提高工作效率。提高工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆载台装置


[0001]本技术涉及载台
，尤其涉及一种晶圆载台装置。

技术介绍

[0002]在半导体领域中，通常需要将晶圆放置于载台上，再对晶元进行加工处理，因此为了保证加工精度，对于载台的位置精度要求极高，其中位置精度包括位置、角度和水平度。
[0003]现有技术中的载台设备通常设有相对应的调节机构来调节载台的位置精度，其中，位置、角度精度可以通过视觉设备来精确调节，但是水平度的调节较为困难，载台的水平偏差则会极大影响晶圆的加工精度；通常载台和载台支架为一体式设计，这种结构中支架的水平度是通过可调节的旋转组件来调节载台的水平度，转动调节的方式操作困难，调节时间长，且不方便于固定。
[0004]鉴于此，需要对现有技术中的晶圆载台设备加以改进，以解决载台调平较为困难的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆载台装置，解决以上的技术问题。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，所述支架组件的上端面开设有安装槽，所述载台本体安装于所述安装槽内；
[0008]所述载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，所述支架组件上对应所述第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，所述第一螺纹孔内连接有调节螺栓，所述调节螺栓的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔内。
[0009]可选的，所述第一螺纹孔的至少一侧设有调节孔，所述调节孔内螺纹连接有顶丝，所述顶丝的另一端与所述安装槽的槽底相抵接。
[0010]可选的，所述载台本体的中部开设有放置晶圆盘的容置槽，所述支架组件上对应于所述容置槽的位置开设有镂空槽。
[0011]可选的，所述载台本体的每个边角处分别设有一个所述第一螺纹孔。
[0012]可选的，所述晶圆载台装置还包括驱动机构，所述驱动机构的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件移动。
[0013]可选的，所述驱动机构包括安装板、X轴直线模组和Y轴直线模组，所述X轴直线模组设于所述安装板上；
[0014]所述X轴直线模组的驱动端与所述Y轴直线模组连接，用于驱动所述Y轴直线模组沿X轴方向直线运动；
[0015]所述Y轴直线模组的驱动端与所述支架组件连接，用于驱动所述支架组件沿Y轴反向直线运动。
[0016]可选的，所述晶圆载台装置还包括高度检测机构，所述高度检测机构包括底板，以
及设于所述底板上的支撑板；所述支撑板的一侧连接有用于检测所述载台本体高度的位置传感器。
[0017]可选的，所述位置传感器为接触式传感器。
[0018]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：安装时，将载台本体放置于安装槽内，同时在每个第一螺纹孔内分别拧进相对应的调节螺栓，使调节螺栓的一端螺纹连接于第二螺纹孔内，需要调节载台本体的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓来改变载台本体相对于支架的高度，使载台本体各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓的调节，实现对于载台本体水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相对应的水平度上固定，提高工作效率。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0020]本说明书附图所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。
[0021]图1为本晶圆载台装置的整体结构示意图；
[0022]图2为本晶圆载台装置的主体结构示意图；
[0023]图3为本晶圆载台装置的载台本体和支架组件的结构示意图；
[0024]图4为本晶圆载台装置的载台本体和支架组件的部件分解结构示意图；
[0025]图5为本晶圆载台装置的高度检测机构的结构示意图。
[0026]图示说明：支架组件1、载台本体2、安装槽11、第一螺纹孔21、第二螺纹孔12、调节螺栓22、调节孔23、容置槽24、镂空槽13、驱动机构3、安装板31、X轴直线模组32、Y轴直线模组33、高度检测机构4、底板41、支撑板42、位置传感器43。
具体实施方式
[0027]为使得本技术的技术目的、特征、优点能够更加的明显和易懂，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，下面所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而非全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0028]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。需要说明的是，当一个组件被认为是“连
接”另一个组件，它可以是直接连接到另一个组件或者可能同时存在居中设置的组件。
[0029]下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0030]本技术实施例提供了一种晶圆载台装置，包括支架组件1和载台本体2，所述支架组件1的上端面开设有安装槽11，所述载台本体2安装于所述安装槽11内；
[0031]所述载台本体2的上端面若干个位置开设有第一螺纹孔21，所述支架组件1上对应所述第一螺纹孔21的位置开设有第二螺纹孔12，所述第一螺纹孔21内连接有调节螺栓22，所述调节螺栓22的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔12内。
[0032]其中，调节螺栓22的水平调节过程需要配合水平检测仪来使用，从而检测载台本体2各个位置的高度差异；
[0033]本技术的工作原理为：安装时，将载台本体2放置于安装槽11内，同时在每个第一螺纹孔21内分别拧进相对应的调节螺栓22，使调节螺栓22的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔12内，需要调节载台本体2的水平度时，通过拧动相对应位置的调节螺栓22来改变载台本体2相对于支架的高度，使载台本体2各个位置都处于同一高度，即实现水平度的调节；相较于现有技术中的载台调节设备，本晶圆载台装置能够通过对不同位置的调节螺栓22的调节，实现对于载台本体2水平度的调节，以便于操作，且调节完成后，能够在相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆载台装置，其特征在于，包括支架组件和载台本体，所述支架组件的上端面开设有安装槽，所述载台本体安装于所述安装槽内；所述载台本体的上端面若干个位置分别开设有第一螺纹孔，所述支架组件上对应所述第一螺纹孔的位置开设有第二螺纹孔，所述第一螺纹孔内连接有调节螺栓，所述调节螺栓的一端螺纹连接于所述第二螺纹孔内。2.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述第一螺纹孔的至少一侧设有调节孔，所述调节孔内螺纹连接有顶丝，所述顶丝的另一端与所述安装槽的槽底相抵接。3.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述载台本体的中部开设有放置晶圆盘的容置槽，所述支架组件上对应于所述容置槽的位置开设有镂空槽。4.根据权利要求1所述的晶圆载台装置，其特征在于，所述载台本体的每个边角处分别设有一个所述第一螺纹孔。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：邱国良，宋先玖，肖知平，
申请(专利权)人：东莞市凯格精机股份有限公司，
类型：新型
国别省市：