一种四探针电阻率测试仪制造技术

本实用新型专利技术提供一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：包括底座、垂直导向杆、升降成套机构、步进电机驱动机构、压力检测机构、探头、探针、测试台、控制台，所述垂直导向杆底部与所述底座固定连接，所述升降成套机构输入端与步进电机驱动机构连接，所述步进电机驱动机构与控制台通过电源连接，所述探头与所述升降成套机构连接，所述控制台由显示器、电源开关、调节开关组成，所述测试台设置在所述底座上。本实用新型专利技术优点在于具有自动/手动一体化功能，结构紧凑，操作简便，提高了检测效率。提高了检测效率。提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种四探针电阻率测试仪


[0001]本技术涉及材料电阻率测量
，具体涉及一种四探针电阻率测试装置。

技术介绍

[0002]电阻率是用来表示各种物质电阻特性的物理量，在新型半导体材料、电池材料、介电材料等材料测试和研发中占有重要的地位。通常四探针测试仪是测量半导体材料电阻率以及方块电阻（薄层电阻）的专用仪器，可用于测量棒状、块状半导体材料（包括厚片和薄片）的电阻率以及硅片上的扩散层、离子注入层、反新外延层的方块电阻。仪器具有测量精度高、灵敏度高、稳定性好，测量范围广，结构紧凑的特点，并且测量结果由数字直接显示，使用方便。传统的四探针电阻率测试仪通常是手动形式的，即通过手动旋转齿轮将检测探头按压于材料表面，如果压力过大会造成样品的损坏，而压力过小会造成测量结果的偏差，且手动检测方式劳动强度大，检测效率低。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种四探针电阻率测试仪，解决现有技术中半导体材料电阻率检测效率低下，自动化程度较低的技术问题。
[0004]本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：本技术所述的一种四探针电阻率测试仪，包括底座、垂直导向杆、升降成套机构、步进电机驱动机构、压力检测机构、探头、探针、测试台、控制台，所述垂直导向杆底部与所述底座固定连接，所述升降成套机构输入端与步进电机驱动机构连接，所述步进电机驱动机构与控制台通过电源连接，所述探头与升降成套机构连接，所述控制台由显示器、电源开关、调节开关组成，所述测试台设置在所述底座上面。
[0005]进一步地，所述探头包括钨针四探针探头、镀金合金探头中的一种，所述探头可拆卸更换。
[0006]进一步地，所述压力检测机构和步进电机驱动机构相连，当所述探针和被测样品接触，所述探头将自动以慢速下降一段距离使所述探针与样品接触良好时开始测量。
[0007]进一步地，垂直导向杆设置有手轮，同时能够手动操作，实现手自一体化。
[0008]本技术的有益效果：探头升降具有自动/手动一体化功能，结构紧凑，操作简便，提高了检测效率。设置有压力检测机构，能够自动控制探头行程和压力，当探针和被测样品接触，探头将自动以慢速下降一段距使探针与样品接触良好时开始测量，稳定性好，测试结果准确，样品不易损坏。
附图说明
[0009]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅
是本技术的一些实施例。
[0010]图1是本技术的结构示意图。
[0011]图中，1、底座；2、垂直导向杆；3、升降成套机构；4、步进电机驱动机构；5、压力检测机构；6探头；7、探针；8、测试台；9、控制台；10、显示器；11、电源开关；12、调节开关；13、手轮。
具体实施方式
[0012]如附图1，一种四探针电阻率测试仪，包括底座（1）、垂直导向杆（2）、升降成套机构（3）、步进电机驱动机构（4）、压力检测机构（5）、探头（6）、探针（7）、测试台（8）、控制台（9）。所述垂直导向杆（2）底部与所述底座（1）固定连接，所述升降成套机构（3）输入端与步进电机驱动机构（4）连接，所述步进电机驱动机构（4）与控制台（9）通过电源连接，所述探头（6）与所述升降成套机构（3）连接，所述控制台（9）由显示器（10）、电源开关（11）、调节开关（12）组成，所述测试台（8）设置在所述底座（1）上面。
[0013]进一步地，所述探头（6）包括钨针四探针探头、镀金合金探头中的一种，所述探头可拆卸更换。
[0014]进一步地，所述压力检测机构（5）和步进电机驱动机（4）相连，当所述探针（7）和被测样品接触，所述探头（6）将自动以慢速下降一段距离使所述探针（7）与样品接触良好时开始测量。
[0015]进一步地，垂直导向杆设置有手轮（13），同时能够手动操作，实现手自一体化。
[0016]工作原理：将检测样品放置于测试台（8），打开控制台（9）的电源开关（11），升降成套机构（3）通过步进电机驱动机构（4）带动探头（6）上下移动，当探针（7）和被测样品接触，探头（6）将自动以慢速下降一段距离使探针（7）与样品接触良好时开始测量，测量结果通过控制台（9）的显示器（10）显示，测试完成。
[0017]以上所述的仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本领域的技术人员来说，在不脱离本技术整体构思前提下，还可以作出若干改变和改进，这些也应该视为本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种四探针电阻率测试仪，其特征在于：包括底座、垂直导向杆、升降成套机构、步进电机驱动机构、压力检测机构、探头、探针、测试台、控制台，所述垂直导向杆底部与所述底座固定连接，所述升降成套机构输入端与步进电机驱动机构连接，所述步进电机驱动机构与控制台通过电源连接，所述探头与所述升降成套机构连接，所述控制台由显示器、电源开关、调节开关组成，所述测试台设置在所述底座上。2.根据权利要求1所述的一种四探针电阻率测试仪...

【专利技术属性】
技术研发人员：史金涛，郭杰，方璐，焦丽娜，宋京国，胡威威，王凯，梁晴晴，金红红，郝张科，
申请(专利权)人：泛锐云智科技郑州有限公司，
类型：新型
国别省市：