抗蚀磁力轮制造技术

本发明专利技术是关于一种抗蚀磁力轮，包括轴座、磁铁环、防蚀膜、两密封环及侧盖环，轴座包括基座及自基座延伸出的轴杆，磁铁环套设于轴杆并具有外环面及相对的两侧平面，外环面连接在各侧平面之间，防蚀膜披覆在外环面并且遮蔽部分的各侧平面，各密封环套设轴杆并分别位于磁铁环的两侧，各密封环分别抵接各侧平面上的防蚀膜，侧盖环锁接轴杆并朝基座纵向迫紧各密封环及磁铁环；借此能够有效避免磁铁环在工作环境中受到腐蚀性化学物质的侵蚀。中受到腐蚀性化学物质的侵蚀。中受到腐蚀性化学物质的侵蚀。

【技术实现步骤摘要】
抗蚀磁力轮


[0001]本专利技术是有关于一种磁力轮，尤其是指一种能够保护磁铁环不受到腐蚀性化学物质侵蚀的抗蚀磁力轮。

技术介绍

[0002]齿轮乃是各类制造工业中相当常见的传动件，然而在长时间的接触作用下仍会产生磨损的问题，进而产生有微粒(particle)，使得在电路板或是晶圆等制程中严重影响良率。因此，衍生出了磁力轮（Magnetic Gear）来代替齿轮作动，磁力轮不具有传统齿轮的啮齿，而是利用磁耦合力的相吸及相斥来达到传动的目的。
[0003]一般的磁力轮通常是在金属轴座装上磁铁环。然而，在一些具有酸碱液体、酸碱雾气或是化学蒸气的湿式制程中容易会造成金属产生锈蚀，或是在有酸洗或是化学清洁制程中的电路板和晶圆等产线，长期暴露于工作环境中的磁铁环容易受到酸碱物质或是腐蚀性化学物质的侵蚀，从而导致无法正常运作而需更换，故如何让磁力轮能够有效防蚀并永久运作不需更换乃亟待改善的缺弊。
[0004]有鉴于此，本专利技术人遂针对上述现有技术的缺失，特潜心研究并配合学理的运用，尽力解决上述的问题点，即成为本专利技术人改良的目标。

技术实现思路

[0005]本专利技术的主要目的，在于能够有效避免磁铁环在工作环境中受到腐蚀性化学物质的侵蚀。
[0006]为了达成上述的目的，本专利技术提供一种抗蚀磁力轮，包括一轴座、一磁铁环、一防蚀膜、两密封环及一侧盖环，轴座包括一基座及自基座延伸出的一轴杆，磁铁环套设于轴杆，磁铁环具有一外环面及相对的两侧平面，外环面连接在各侧平面之间，防蚀膜披覆在外环面并且遮蔽各侧平面的至少一部分，各密封环套设轴杆并分别位于磁铁环的两侧，各密封环分别抵接各侧平面上的防蚀膜，侧盖环锁接轴杆并朝基座纵向迫紧各密封环及磁铁环。
[0007]作为本专利技术的另一种实施，该基座及该侧盖环分别相对凹设有一环形槽，各该密封环分别容置于该基座及该侧盖环的环形槽内。
[0008]作为本专利技术的另一种实施，每一该密封环具有一直径，该基座及该侧盖环的环形槽皆具有一宽度，该宽度大于该直径。
[0009]作为本专利技术的另一种实施，该磁铁环具有一厚度，该防蚀膜具有遮蔽各该侧平面的一遮蔽长度，该遮蔽长度和1/2的该宽度的总和大于该厚度。
[0010]作为本专利技术的另一种实施，每一该密封环具有一直径，该基座及该侧盖环的环形槽皆具有一深度，该直径大于该深度。
[0011]作为本专利技术的另一种实施，该侧盖环设有一内螺纹，该轴杆设有一外螺纹，该内螺纹螺接该外螺纹而将该侧盖环锁固于该轴杆。
[0012]作为本专利技术的另一种实施，该内螺纹及该外螺纹的表面皆涂布有一螺纹密封剂。
[0013]作为本专利技术的另一种实施，该基座及侧盖环的外缘分别设有相对的两夹持平面。
[0014]作为本专利技术的另一种实施，该轴座具有一轴孔，该轴孔纵向贯穿该基座和该轴杆。
[0015]作为本专利技术的另一种实施，该基座设有一定位孔，该定位孔自该基座的外缘贯穿至该轴孔。
[0016]本专利技术还具有以下功效：借由贯穿基座至轴孔的定位孔，可供定位件穿入以迫紧转动轴而固定于轴座上。通过内螺纹及外螺纹的表面上涂布有螺纹密封剂，使得螺接后能够完全密封以避免腐蚀性化学物质自螺纹处渗入。借由基座及侧盖环外缘上的夹持平面，可通过工具夹固以方便施力锁紧。通过各密封环容置于各环形槽内，使得各密封环不会直接裸露在外而受到腐蚀性化学物质的侵蚀。
附图说明
[0017]图1为本专利技术的立体外观图。
[0018]图2为本专利技术的立体分解图。
[0019]图3为本专利技术的剖视图。
[0020]附图中的符号说明：10:轴座；11:基座；12:轴杆；13:轴孔；14:定位孔；15:外螺纹；16、52:夹持平面；17、53:环形槽；20:磁铁环；21:外环面；22:侧平面；30:防蚀膜；40:密封环；50:侧盖环；51:内螺纹；A:螺纹密封剂；d:深度；D:直径；l:遮蔽长度；t:厚度；w:宽度。
具体实施方式
[0021]有关本专利技术的详细说明及
技术实现思路
，将配合图式说明如下，然而所附图式仅作为说明用途，并非用于局限本专利技术。
[0022]本专利技术提供一种抗蚀磁力轮，请参照图1至图3所示，其主要包括一轴座10、一磁铁环20、一防蚀膜30、两密封环40及一侧盖环50。
[0023]于本实施例中，轴座10为塑料件，但本专利技术不以此为限，例如轴座10也可以为耐腐蚀的金属件或其他耐腐蚀的材料所制成。轴座10包括一基座11及一轴杆12，轴杆12是自基座11的一侧面纵向延伸而出。具体而言，基座11和轴杆12皆呈圆柱状并具有相同的轴心，且轴杆12的直径小于基座11的直径。轴座10具有一轴孔13，轴孔13是纵向贯穿基座11和轴杆12，以供轴座10可套接于一转动轴(图未示出)上。基座11还设有一定位孔14，定位孔14是自基座11的外缘贯穿至轴孔13，并且用以供一定位件(图未示出)穿入以迫紧转动轴而固定于轴座10上。于本实施例中，定位孔14为螺孔且定位件为螺栓，但本专利技术不以此为限，例如定位件也可以为插销。另外，轴孔13也可以为非圆形孔，使得轴座10不需借由定位件和定位孔14便可以和转动轴形成紧密配合而不会打滑。
[0024]磁铁环20为一环形的磁铁，且本专利技术不对于磁铁的磁性作限制，设计者可自行因应不同需求来作调整。磁铁环20是套设于轴杆12上。磁铁环20具有一外环面21及相对的两侧平面22，且外环面21是连接在两侧平面22之间。
[0025]防蚀膜30是披覆在外环面21并且遮蔽各侧平面22的至少一部分。于本实施例中，防蚀膜30可以为通过有机涂层、无机涂层、金属涂层、表面硬化处理、阴极处理或阳极处理等所形成的保护层，但本专利技术不对此作限制，只要能够有效防止腐蚀性化学物质的侵蚀即可，设计者也可对应不同工作环境的需求来调整防蚀膜30的成分及厚度等。
[0026]各密封环40是套设在轴杆12上并分别位于磁铁环20的左右两侧，且各密封环40分别抵接各侧平面22上的防蚀膜30。于本实施例中，密封环40为O型环，但本专利技术不以此为限。
[0027]侧盖环50是锁接在轴杆12，并且朝着基座11纵向迫紧各密封环40及磁铁环20，使得各密封环40紧密夹设在各侧平面22的防蚀膜30上。于本实施例中，侧盖环50为塑料件，但本专利技术不以此为限，例如侧盖环50也可以为耐腐蚀的金属件或其他耐腐蚀的材料所制成，且侧盖环50较佳地和轴座10对应为相同材质以方便生产制造及组装配置。侧盖环50的内缘设有一内螺纹51，轴杆12的末端设有一外螺纹15，内螺纹51是螺接外螺纹15而将侧盖环50锁固在轴杆12上。较佳地，在内螺纹51及外螺纹15的表面上皆涂布有一螺纹密封剂A，使得内螺纹51和外螺纹15在螺接后通过固化的螺纹密封剂A完全密封，从而避免腐蚀性化学物质自螺纹处渗入。基座11及侧盖环50的外缘上分别设有相对的两夹持平面16、52，使得在将侧盖环50锁固于轴杆12上时，能够通过工具(如：钳子)夹固在各夹持平面16、52上以方便施力锁紧。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种抗蚀磁力轮，其特征在于，包括：一轴座，包括一基座及自该基座延伸出的一轴杆；一磁铁环，套设于该轴杆，该磁铁环具有一外环面及相对的两侧平面，该外环面连接在各该侧平面之间；一防蚀膜，披覆在该外环面并且遮蔽各该侧平面的至少一部分；两密封环，套设该轴杆并分别位于该磁铁环的两侧，各该密封环分别抵接各该侧平面上的该防蚀膜；及一侧盖环，锁接该轴杆并朝该基座纵向迫紧各该密封环及该磁铁环。2.根据权利要求1所述的抗蚀磁力轮，其特征在于，该基座及该侧盖环分别相对凹设有一环形槽，各该密封环分别容置于该基座及该侧盖环的环形槽内。3.根据权利要求2所述的抗蚀磁力轮，其特征在于，每一该密封环具有一直径，该基座及该侧盖环的环形槽皆具有一宽度，该宽度大于该直径。4.根据权利要求3所述的抗蚀磁力轮，其特征在于，该磁铁环具有一厚度，该防蚀膜具有遮蔽各该...

【专利技术属性】
技术研发人员：巫坤星，吕理榕，锺添达，吴宁，
申请(专利权)人：扬博科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：