空中搬送车制造技术

空中搬送车(1)具备第一支承部(50)、第二支承部(40)以及连杆机构(70)。第一支承部(50)具有第一缓冲部(58)，在俯视时在主体部的宽度方向的一方与带(9)连接。第二支承部(40)具有第二缓冲部(48)，在主体部的宽度方向的另一方与带(9)连接。连杆机构(70)连结第一支承部(50)和第二支承部(40)，使第一支承部(50)与基座部(10A)之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部(40)与基座部(10A)之间的第二距离彼此接近。连杆机构(70)具有能够实现基座部(10A)相对于第一支承部(50)及第二支承部(40)在行驶方向上的相对移动的第三缓冲部(71、72、75、76)和能够实现其宽度方向上的相对移动的第四缓冲部(73、77)中的至少一者。77)中的至少一者。77)中的至少一者。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】空中搬送车


[0001]本专利技术的一个方面涉及空中搬送车。

技术介绍

[0002]公知有一种空中搬送车，该空中搬送车具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且该升降部通过相对于所述主体部卷绕及放出多个吊持部件，从而进行升降。例如，在专利文献1中公开有一种空中搬送车，其中，升降部具备：基座部，该基座部供把持部设置；和多个缓冲机构，该多个缓冲机构具有借助缓冲部从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的支承部，并且供吊持部件安装，这多个缓冲机构由连杆机构连结。在该空中搬送车中，连杆机构以使互相连结的多个缓冲机构中的支承部与基座部之间的各距离彼此相互接近的方式动作，因此，能够减少向物品传递的振动且抑制物品的晃动。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：国际公开第2018/079146号公报

技术实现思路

[0006]上述以往的空中搬送车虽然能够减少向物品传递的振动且抑制物品的晃动，但随着搬送的物品的多样化，要求更进一步的振动的减少。
[0007]因此，本专利技术的一个方面的目的在于提供一种能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品晃动的空中搬送车。
[0008]本专利技术的一个方面的空中搬送车具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且利用吊持部件相对于主体部升降，在该空中搬送车中，升降部具备：基座部，该基座部供把持部设置；第一支承部，该第一支承部具有从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第一缓冲部，在从铅垂方向观察的俯视时在与主体部的行驶方向正交的宽度方向的一方与吊持部件连接；第二支承部，该第二支承部具有从铅垂方向下方将基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第二缓冲部，在宽度方向的另一方与吊持部件连接；以及连杆机构，该连杆机构连结第一支承部和第二支承部，并且，以使第一支承部与基座部之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部与基座部之间的铅垂方向上的第二距离彼此接近的方式动作，连杆机构具有第三缓冲部和第四缓冲部中的至少一者，该第三缓冲部能够实现基座部相对于第一支承部及第二支承部在行驶方向上的相对移动，该第四缓冲部能够实现基座部相对于第一支承部及第二支承部在宽度方向上的相对移动。
[0009]在该结构的空中搬送车中，设有以使第一支承部与基座部之间的铅垂方向上的第一距离和第二支承部与基座部之间的铅垂方向上的第二距离彼此接近的方式动作的连杆机构，因此，能够减少升降装置的左右方向上的倾斜，抑制物品的晃动。另外，在第一支承部
及第二支承部设有使得能够相对于第一支承部及第二支承部进行基座部的铅垂方向上的移动的缓冲部(第一缓冲部及第二缓冲部)，因此，能够减少经由升降部向物品传递的铅垂方向的振动。而且，在连杆机构设有使得能够相对于第一支承部及第二支承部进行基座部的水平方向上的移动的缓冲部(第三缓冲部及第四缓冲部中的至少一者)，因此，能够减少经由升降部向物品传递的水平方向的振动。其结果，能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品的晃动。
[0010]在本专利技术的一个方面的空中搬送车中，也可以是，连杆机构具有第三缓冲部。在该结构中，能够减少经由升降部向物品传递的前后方向的振动。
[0011]在本专利技术的一个方面的空中搬送车中，也可以是，连杆机构具有第三缓冲部及第四缓冲部这两者。在该结构中，能够减少经由升降部向物品传递的前后方向及左右方向这两者的振动。
[0012]在本专利技术的一个方面的空中搬送车中，也可以是，第三缓冲部或第四缓冲部包括弹性部件而形成。能够减少经由升降部向物品传递的水平方向的振动。在该结构中，能够以简单的结构高效地减少振动。
[0013]专利技术效果
[0014]根据本专利技术的一个方面，能够谋求向物品传递的振动的进一步减少且抑制物品的晃动。
附图说明
[0015]图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图。
[0016]图2是从前方向观察升降装置的侧视图。
[0017]图3是从斜上方观察升降装置的立体图。
[0018]图4是从斜上方观察去除了基座部的状态的升降装置的立体图。
[0019]图5的(A)及图5的(B)是放大地表示第二支承部及连接机构的一部分的立体图。
[0020]图6的(A)及图6的(B)是放大地表示第一支承部及连接机构的一部分的立体图。
[0021]图7是放大地表示第二支承部及连杆机构的一部分的立体图。
[0022]图8是从斜上方观察去除了基座部的状态的变形例的升降装置的立体图。
具体实施方式
[0023]以下，参照附图对一个实施方式进行详细说明。此外，在附图的说明中，对相同要素标注相同的附图标记并省略重复说明。
[0024]图1是表示一个实施方式的空中搬送车的主视图，图2是从前方向观察升降装置的侧视图。在图1及图2中，省略了连杆机构70(参照图3)的图示。图1所示的空中搬送车1沿着设于无尘室的顶棚等比地面高的位置的行驶轨道(轨道)2行驶。空中搬送车1在例如保管设备与规定的加载部之间搬送作为物品的FOUP(前开式晶圆传送盒：Front Opening Unified Pod)90。在FOUP90中收容例如多张半导体晶圆等。FOUP90具有保持于空中搬送车1的凸缘98。
[0025]在以下的说明中，为了便于说明，将图1中的左右方向(X轴方向)设为空中搬送车1的行驶方向(以下，也称为“前后方向”)。将图1中的上下方向(Z轴方向)设为空中搬送车1的
上下方向(以下，也称为“铅垂方向”)。将图1中的进深方向(Y轴方向)设为空中搬送车1的宽度方向(以下，也称为“左右方向”)。X轴、Y轴及Z轴互相正交。
[0026]如图1所示，空中搬送车1具有行驶驱动部3、水平驱动部(主体部)5、旋转驱动部(主体部)6、升降驱动部(主体部)7、升降装置(升降部)10、保持装置(把持部)11、第一支承部50(参照图3及图4)、第二支承部40(参照图3及图4)和连杆机构70(参照图3及图4)。
[0027]在空中搬送车1上，以覆盖水平驱动部5、旋转驱动部6、升降驱动部7、升降装置10以及保持装置11的方式在前后方向上设有一对罩8、8。一对罩8、8在升降装置10上升到上升端的状态下在保持装置11的下方形成收容FOUP90的空间。落下防止机构8A防止在升降装置10上升到上升端的状态下保持于保持装置11的FOUP90落下。晃动抑制机构8B抑制在行驶时保持于保持装置11的FOUP90在空中搬送车1的前后方向(行驶方向)和左右方向上晃动。
[0028]行驶驱动部3使空中搬送车1沿行驶轨道2移动。行驶驱动部3配置于行驶轨道2内。行驶驱动部3驱动在行驶轨道2行驶的滚轮(未图示)。在行驶驱动部3的下部借助轴3A设有水平驱动部5。水平驱动部5使旋转驱动部6、升降驱动部7以及升降装置10在水平面内沿与行驶轨道2的延伸方向正交的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种空中搬送车，其具备：主体部，该主体部能够沿着轨道行驶；和升降部，该升降部具有把持物品的把持部，并且利用吊持部件相对于所述主体部升降，在该空中搬送车中，所述升降部具备：基座部，该基座部供所述把持部设置；第一支承部，该第一支承部具有从铅垂方向下方将所述基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第一缓冲部，在从铅垂方向观察的俯视时在与所述主体部的行驶方向正交的宽度方向的一方与所述吊持部件连接；第二支承部，该第二支承部具有从铅垂方向下方将所述基座部以能够在铅垂方向上移动的方式支承的第二缓冲部，在所述主体部的所述宽度方向的另一方与所述吊持部件连接；以及连杆机构，该连杆机构连结所述第一支承部和所述第二支承部，并且，以使所述第一支承部与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：小林诚，
申请(专利权)人：村田机械株式会社，
类型：发明
国别省市：